涂布装置及涂布方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种涂布装置及涂布方法，通过所述涂布装置及涂布方法进行混合时，能够使容易凝集的两种液不发生凝集地混合，并将其涂布于基板而形成薄膜。该涂布装置(1)包括：管道(7a)，供给涂布液(a)；管道(7b)，供给涂布液(b)；混合装置(4)，对来自管道(7a)和管道(7b)的涂布液(a)和涂布液(b)进行混合；过滤装置(5)，对在混合装置(4)生成的混合涂布液(c)进行过滤；接口管(3)，其中形成有用于排出被混合和过滤的混合涂布液(c)的狭缝，通过从狭缝排出混合涂布液(c)来将混合涂布液(c)涂布在基板(W)上，从而在基板(W)上形成薄膜。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种涂布装置，其通过从形成在接口管上的狭缝排出涂布液来将涂布液涂布在基板上，尤其，涉及将两种涂布液混合而进行涂布的涂布装置。
技术介绍
包括液晶面板、有机EL面板、以及与这些面板组合使用的触控面板等显示装置，在制造过程中，在具有显示功能的基板上形成多个薄膜。作为形成这些薄膜的主要方法之一有光刻法，该方法将含有薄膜形成成分的涂布液涂布在玻璃基板或者薄膜等基板上，然后进行干燥、曝光、显影。作为用于涂布形成所述薄膜的涂布液的涂布装置，已知的有被称之为狭缝喷嘴涂布机的涂布装置(参照如专利文献1)，该涂布装置包括接口管，在所述接口管上形成有用于排出涂布液的狭缝。该涂布装置包括用于储存涂布液的储箱和用于将所述储箱内的涂布液供给至接口管的狭缝的泵。接口管的狭缝在基板的宽度方向上较长地狭缝，例如，可通过使接口管相对于放置在工作台上的基板水平移动的同时从狭缝排出涂布液，由此在基板表面上形成涂布液的薄膜(涂膜)。利用所述涂布装置能够形成各种薄膜，但是如某种导电膜一样，对于在室温下与空气接触时立刻开始凝集并干燥的液来说，需要对供液管采取措施，例如，需要对空气泄漏采取措施。但是，关于用于形成导电膜的涂布液为二液混合形式的涂布液，存在只要一混合就开始凝集的涂布液。在这种情况下，采取提高管道气密性的措施完全失去意义，因此需要采取新的措施，即，在开始涂布之前混合二夜。但是，所谓在要开始涂布之前混合二液，则需要在具有狭缝的接口
管附近设置搅拌部。这意味着二液的混合和搅拌时间不充分，有可能无法充分地搅拌和混合。另一方面，当利用具有充分的混合时间的搅拌槽时，例如即使在接口管附近设置所述搅拌槽时，但是由于搅拌时间变长而开始凝集的可能性增加。因此，需要提供一种包括搅拌装置的涂布装置，该搅拌装置能够应对二液混合型的涂布液，且即使在接口管附近设置搅拌部时也能够使二液的搅拌和混合充分进行。现有技术文献专利文献专利文献1：特开2000-157906号公报
技术实现思路
本专利技术需要解决的课题本专利技术的目的在于提供一种涂布装置，即使使用二液混合型的涂布液，尤其是使用混合后的凝集快速的涂布液也不会发生凝集而能够稳定地进行涂布。为解决课题的技术方案本专利技术的涂布装置，其特征在于，在所述涂布装置中，通过具有狭缝形状排出口的接口管，将通过涂布液供给装置被供给的涂布液涂布在薄片状基板表面上，从而在所述基板上形成薄膜，通过所述涂布液供给装置被供给的所述涂布液由两种不同的液组成，所述涂布装置包括：混合装置，混合和搅拌由所述两种不同的液组成的涂布液；过滤装置，对从所述混合装置被供给的混合涂布液进行过滤；涂布液供给泵，将由所述过滤装置过滤的所述混合涂布液向所述接口管供给。根据本专利技术的涂布装置，即使在涂布之前对由两种不同的液组成的涂布液进行混合和搅拌后进行涂布时，也能够在开始涂布之前进行混合和搅拌后，再经过过滤装置和涂布液供给泵，并通过具有狭缝的接口管，对基板进行涂布。另外，本专利技术的涂布液供给装置，其特征在于，具有送液装置和分别用于两种不同的液的各自储存装置和管道，两种不同的液的管道分别连接在混合装置，且所述两种不同的液同时
被输送到所述混合装置中。通过该结构，两种不同的液能够同时输送到混合装置中，无需事先进行混合。另外，本专利技术的混合装置，其特征在于，所述混合装置包括两个螺杆，所述两个螺杆螺旋方向不同而外径和螺距相同，所述两个螺杆的安装间隔小于各螺杆半径的合计值，所述两个螺杆具有共同的外装部，由此对所述两种不同的液进行混合和搅拌的同时向所述过滤装置输送。通过如此设置混合装置，能够有效地混合和搅拌两种不同液的同时对其进行输送。另外，本专利技术的另一实施方式的混合装置，其特征在于，所述混合装置包括两个螺杆，所述两个螺杆螺旋方向不同而外径和螺距相同，所述两个螺杆的安装间隔大于各螺杆半径的合计值，所述两个螺杆具有共同的外装部，所述两个螺杆分别具有连接在各自的驱动装置的驱动轴，由此对所述两种不同的液进行混合和搅拌的同时向所述过滤装置输送。通过使混合装置的螺杆如此进行旋转，即使被进行混合的两种不同的液粘性高时，也能够对液进行混合和搅拌的同时有效地将该液输送到下一个装置中。另外，本专利技术的涂布方法，其特征在于，对从不同的储存装置经由不同的供给路径被供给的不同的两种液，通过在内部具有搅拌机构的混合装置进行混合和搅拌，对通过所述混合装置进行混合和搅拌而形成的混合涂布液，通过过滤装置进行过滤后，通过液供给泵向涂布装置供给，并通过涂布装置的具有狭缝的接口管向薄片状的基板涂布所述混合涂布液。根据本专利技术的涂布方法，即使将通过混合和搅拌两种不同的液来形成的混合涂布液进行涂布时，也能够有效地混合和搅拌所述两种不同的液，而且，通过过滤装置过滤所形成的所述混合涂布液后将其供给到涂布装置，并经由涂布装置的接口管涂布在薄片状的基板上，由此，能够去除混合时可能形成的气泡或者异物，从而能够在所述薄片
状基板上形成高品质的涂膜。专利技术的效果根据本专利技术的涂布装置和涂布方法，即使在基板上涂布通过混合和搅拌两种不同的液来形成的涂布液，也能够有效地混合和搅拌两种不同的液，而且，能够去除混合和搅拌时可能产生的气泡或者异物等，从而能够在基板上形成高品质的涂布膜。附图说明图1是表示本专利技术的涂布装置的实施方式的概略图。图2是用于说明本专利技术的混合装置的结构的概略剖视图。图3是用于说明本专利技术的另一实施方式的混合装置的结构的概略剖视图。图4是使用于本专利技术的涂布装置的涂布液供给泵的概略剖视图。图5是表示本专利技术的涂布装置的应用例的概略结构图。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。图1是表示本专利技术的涂布装置的一个实施方式的概略图。涂布装置1包括：工作台2，放置玻璃等薄片状基板W，并通过真空吸附等来对基板进行固定；接口管3，在其内部形成有狭缝；驱动装置，使接口管3相对于工作台2上的基板W自由独立地进行水平移动(X方向移动)和垂直移动(Z方向移动)。另外，所述涂布装置1作为供液部还包括：储箱9a和储箱9b，所述储箱9a储存涂布液a，所述储箱9b储存涂布液b；管道7a和管道7b(包含从储箱9a和储箱9b至混合装置4的管道)，分别供给由储箱9a和储箱9b分别供给的两种不同的涂布液a和涂布液b；混合装置4，混合和搅拌涂布液a和涂布液b，从而形成混合涂布液c；管道7c(包括从混合装置4到接口管3的管道)，从混合装置4输送混合涂布液c；过滤装置5，对从混合装置4输送的混合涂布液c进行过滤；以及送液装置，由将通过过滤装置5过滤的混合涂布液c供给到接口管3的泵8等构成。在本实施方式中，对于从储箱9a和储箱9b到混合装置4的送液装置并没有特别规定。因此，可通过对储箱9a和储箱9b施压来压送，或者可设置未图示的泵，并经由所述泵来送液。另外，只要没有特别的需要，在实施例的说明中，将两种不同的涂布液a和涂布液b以1比1的比例进行混合的情况作为前提来进行说明。在涂布装置1中，通过泵8将在混合装置4中形成并在过滤装置5中被过滤的混合涂布液c供给到接口管3，并通过驱动装置使接口管3垂直下降，以使接口管3的前端部和薄片状的基板W之间的平行的缝隙达到预定的值，然后通过将接口管3水平移动的同时从狭缝排出混合涂布液c，在通过未本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种涂布装置，其特征在于，在所述涂布装置中，通过具有狭缝形状排出口的接口管，将通过涂布液供给装置被供给的涂布液涂布在薄片状基板表面上，从而在所述基板上形成薄膜，通过所述涂布液供给装置被供给的所述涂布液由两种不同的液组成，所述涂布装置包括：混合装置，混合和搅拌由所述两种不同的液组成的涂布液；过滤装置，对从所述混合装置被供给的混合涂布液进行过滤；涂布液供给泵，将由所述过滤装置过滤的所述混合涂布液向所述接口管供给。

【技术特征摘要】
2015.04.01 JP 2015-0749241.一种涂布装置，其特征在于，在所述涂布装置中，通过具有狭缝形状排出口的接口管，将通过涂布液供给装置被供给的涂布液涂布在薄片状基板表面上，从而在所述基板上形成薄膜，通过所述涂布液供给装置被供给的所述涂布液由两种不同的液组成，所述涂布装置包括：混合装置，混合和搅拌由所述两种不同的液组成的涂布液；过滤装置，对从所述混合装置被供给的混合涂布液进行过滤；涂布液供给泵，将由所述过滤装置过滤的所述混合涂布液向所述接口管供给。2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述涂布液供给装置具有送液装置和分别用于所述两种不同的液的各自储存装置和管道，所述两种不同的液的管道分别连接在所述混合装置，且所述两种不同的液同时被输送到所述混合装置中。3.根据权利要求1或2所述的涂布装置，其特征在于，所述混合装置包括两...

【专利技术属性】
技术研发人员：奥田大辅，池森一博，
申请(专利权)人：东丽工程株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP