涂布装置及涂布方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种涂布装置及涂布方法，抑制在输送至喷嘴的涂布液中含有异物及气体成分而将涂布液良好地涂布于基板上。涂布装置是将涂布液涂布于基板上，包括：蓄积部，蓄积涂布液；喷嘴，向基板喷出涂布液；配管，使涂布液从蓄积部流通至喷嘴；泵，插设于配管而将涂布液输送至喷嘴；过滤器，插设于蓄积部与泵之间的配管而去除从蓄积部供给的涂布液中存在的异物；以及第1脱气部，插设于过滤器与泵之间的配管而从已穿过过滤器的涂布液中去除气泡。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种涂布装置及涂布方法，将涂布液，特别是高粘度溶液，涂布于液晶显示装置用玻璃基板、半导体晶片、等离子显示面板(plasmadisplaypanel，PDP)用玻璃基板、光掩模(photomask)用玻璃基板、彩色滤光片用基板、记录磁盘用基板、太阳能电池用基板、电子纸(electronicpaper)用基板等精密电子装置用基板(以下，简称作“基板”)上。
技术介绍
以前，在所述精密电子装置用基板的制造步骤中，是使用将涂布液涂布于基板的表面上的涂布装置。例如在专利文献1所述的涂布装置中，是将蓄积于蓄积槽中的涂布液经由过滤器(filter)输送至泵(pump)，利用过滤器将涂布液中存在的颗粒(particle)、杂质、凝胶(是涂布液中的分散质粒子的胶体(colloid)，是失去流动性而成为固体状的物质)等异物加以去除(过滤处理)。并且，利用泵将已穿过过滤器的涂布液输送至狭缝喷嘴。由此，从狭缝喷嘴的喷出口将涂布液向基板的表面喷出，而涂布于基板的表面上。由此，在基板的表面上形成涂布液的膜。[现有技术文献][专利文献][专利文献1]日本专利特开2015-66482号公报
技术实现思路
[专利技术所要解决的问题]然而，当涂布液穿过过滤器时，会产生过滤器成为阻力而使过滤器入口的压力与过滤器出口的压力之间产生差的所谓过滤器压力损失。所述过滤器压力损失的值伴随着涂布液的粘度上升而升高。因此，为了使高粘度的涂布液从狭缝喷嘴的喷出口以所需的流量喷出，需要以高于使低粘度的涂布液喷出时的压力将涂布液输送至过滤器。其结果使得空气等气体成分容易溶解于涂布液中，这成为所谓“起泡”的主要因素。如果产生所述“起泡”，则难以从狭缝喷嘴的喷出口均匀地喷出涂布液，从而存在使涂布膜的均匀性下降的情况。本专利技术是鉴于所述问题而完成，目的在于提供一种涂布装置及涂布方法，可抑制输送至喷嘴的涂布液中含有异物及气体成分而将涂布液良好地涂布于基板上。[解决问题的技术手段]本专利技术的一形态是一种涂布装置，将涂布液涂布于基板上，所述涂布装置包括：蓄积部，蓄积涂布液；喷嘴，向基板喷出涂布液；配管，使涂布液从蓄积部流通至喷嘴；泵，插设于配管而将涂布液输送至喷嘴；过滤器，插设于蓄积部与泵之间的配管而去除从蓄积部供给的涂布液中存在的异物；以及第1脱气部，插设于过滤器与泵之间的配管而从已穿过过滤器的涂布液中去除气泡。并且，本专利技术的另一形态是一种涂布方法，包括如下步骤：使从蓄积部供给的涂布液穿过过滤器而去除涂布液中存在的异物；从已穿过过滤器的涂布液中去除气泡；以及将经过滤器去除气泡的涂布液输送至喷嘴，并将涂布液从喷嘴喷出并涂布于基板上。[专利技术的效果]如以上所述，根据本专利技术，从已穿过过滤器的涂布液中去除气泡之后，利用泵将所述涂布液输送至喷嘴，因此可抑制输送至喷嘴的涂布液中含有异物及气体成分。其结果为，可将涂布液良好地涂布于基板上。附图说明图1是表示本专利技术的涂布装置的第1实施方式的立体图。图2A是狭缝喷嘴的立体图。图2B是表示图2A所示的狭缝喷嘴的内部的流路的图。图3是表示将涂布液供给至图2A所示的狭缝喷嘴的供给机构的构成的图。图4是表示用于对图1所示的涂布装置的供给机构进行控制的电气构成的框图。图5是示意性地表示图1所示的涂布装置中的供给机构的动作的图。图6是示意性地表示本专利技术的涂布装置的第2实施方式中的供给机构的动作的图。图7是示意性地表示本专利技术的涂布装置的第3实施方式中的供给机构的动作的图。图8是示意性地表示本专利技术的涂布装置的第4实施方式中的供给机构的动作的图。附图标记：1：涂布装置2：狭缝喷嘴3：基板4：平台5：涂布处理部8：控制部9：供给机构21：喷嘴主体22：供给口23：喷出口24：排出口31：(基板3的)表面41：保持面51：喷嘴支撑体51a：固定构件51b：升降机构52：导轨53：狭缝喷嘴移动部54：线性马达54a：定子54b：动子55：线性编码器55a：刻度部55b：检测部81：CPU82：ROM83：RAM84：固定磁盘91：供给储槽(蓄积部)92、92a、92b：缓冲储槽(第1脱气部)93、93a、93b：捕集储槽(第2脱气部)94：送液泵95：供给配管系统96：压缩空气供给源97：过滤器98：排放储槽99：真空泵111～114：送液用阀121：三通阀122、123：手动阀124～127：供给用阀131～133：减压用阀210：流路211、212：喷嘴构件213、214：侧板911：腔室921：搅拌器922：搅拌器驱动马达951～958：配管AR1：喷嘴调整区具体实施方式图1是表示本专利技术的涂布装置的第1实施方式的立体图。再者，在图1及后续的各图中为了使它们的方向关系明确，适当地标注有将Z方向设为垂直方向，将XY平面设为水平面的XYZ正交坐标系。并且，为了容易理解，根据需要将各部的尺寸或数量加以夸张或简化而描述。涂布装置1是使用狭缝喷嘴2将涂布液涂布于基板3的表面上的被称作狭缝涂布机(slitcoater)的涂布装置。涂布装置1可使用抗蚀液(resistliquid)、彩色滤光片用液、包含聚酰亚胺、硅、纳米金属油墨、导电性材料的浆料(slurry)等各种涂布液作为其涂布液。并且，关于成为涂布对象的基板3，也可以应用矩形玻璃基板、半导体基板、薄膜液晶用柔性基板、光掩模用基板、彩色滤光片用基板、太阳能电池用基板、有机电致发光(electroluminescence，EL)用基板等各种基板。涂布装置1特别适合将高粘度的液体用作涂布液。再者，本说明书中的所谓“高粘度”，是指0.5[Pa·s]～30[Pa·s]，以下对将高粘度的涂布液涂布于矩形的玻璃基板(以下，称作“基板3”)上的涂布装置1进行说明。并且，在本说明书中，所谓“基板3的表面31”，是指基板3的两主面之中涂布了涂布液一侧的主面。涂布装置1包括：平台4，能够以水平姿态吸附保持基板3；涂布处理部5，在保持于平台4上的基板3上使用狭缝喷嘴2来实施涂布处理；喷嘴洗涤装置(省略图示)，在涂布处理之前对狭缝喷嘴2实施洗涤处理；预分配(predispense)装置(省略图示)，在涂布处理之前对狭缝喷嘴2实施预分配处理；以及控制部8，对所述各部进行控制。狭缝喷嘴2包含沿X方向延伸的长条状的开口部即喷出口。并且，狭缝喷嘴2能够从喷出口向保持于平台4上的基板3的表面31喷出涂布液。再者，关于狭缝喷嘴2的构成将在后文中详细说明。平台4包含具有大致长方体的形状的花岗岩等石材，在其上表面(+Z侧)之中-Y侧，包含加工成大致水平的平坦面而保持基板3的保持面41。在保持面41上分散地形成有未图示的多个真空吸附口。通过利用这些真空吸附口吸附基板3，而在涂布处理时使基板3以大致水平状态保持于规定的位置上。再者，基板3的保持形态并不限定于此，例如还可以构成为以机械方式保持基板3。并且，在平台4上在比保持面41所占的区域更靠+Y侧的位置，设置有喷嘴调整区AR1，在喷嘴调整区AR1中，在+Y侧配置有喷嘴洗涤装置，在-Y侧配置有预分配装置。在本实施方式的涂布装置1中，在涂布处理部5上设置有使狭缝喷嘴2沿Y方向移动的移动机构，使狭缝喷嘴2在保持面41的上方与喷嘴调整区AR1的上方之间进行往返移动。并且，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种涂布装置，将涂布液涂布于基板上，所述涂布装置的特征在于包括：蓄积部，蓄积所述涂布液；喷嘴，向所述基板喷出所述涂布液；配管，使所述涂布液从所述蓄积部流通至所述喷嘴；泵，插设于所述配管而将所述涂布液输送至所述喷嘴；过滤器，插设于所述蓄积部与所述泵之间的所述配管而去除从所述蓄积部供给的所述涂布液中存在的异物；以及第1脱气部，插设于所述过滤器与所述泵之间的所述配管而从已穿过所述过滤器的所述涂布液中去除气泡。

【技术特征摘要】
2015.07.28 JP 2015-1486731.一种涂布装置，将涂布液涂布于基板上，所述涂布装置的特征在于包括：蓄积部，蓄积所述涂布液；喷嘴，向所述基板喷出所述涂布液；配管，使所述涂布液从所述蓄积部流通至所述喷嘴；泵，插设于所述配管而将所述涂布液输送至所述喷嘴；过滤器，插设于所述蓄积部与所述泵之间的所述配管而去除从所述蓄积部供给的所述涂布液中存在的异物；以及第1脱气部，插设于所述过滤器与所述泵之间的所述配管而从已穿过所述过滤器的所述涂布液中去除气泡。2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于还包括：第2脱气部，插设于所述第1脱气部与所述泵之间的所述配管上；其中，所述第1脱气部对已穿过所述过滤器的所述涂布液进行搅拌而去除气泡，所述第2脱气部将从所述第1脱气部送来的所述涂布液加以静置而去除比由所述第1脱气部去除的气泡更小的气泡。3.根据权利要求2所述的涂布装置，其特征在于还包括：送液控制机构，对从所述第1脱气部向所述第2脱气部的所述涂布液的液体输送进行控制，并对从所述第2脱气部向所述泵的液体输送进行控制；其中，所述第2脱气部并列设置有多个，所述送液控制机构包括：多个输入侧阀，插设于每一所述第2脱气部的输入侧的所述配管；多个输出侧阀，插设于每一所述第2脱气部的输出侧的所述配管；以及切换控制部，通过对所述多个输入侧阀及所述多个输出侧阀的开闭进行切换而从所述多个第2脱气部中已完成气泡去除的所述第2脱气部输送所述涂布液，并且在剩下的所述第2脱气部中进行气泡的去除。4.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于：所述第1脱气部在对已穿过所述过滤器的所述涂布液进行搅拌而去除气泡之后...

【专利技术属性】
技术研发人员：时枝大佐，
申请(专利权)人：株式会社思可林集团，
类型：发明
国别省市：日本;JP