夹持装置、基板输入输出装置以及基板处理装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种夹持装置、基板输入输出装置以及基板处理装置。本发明专利技术的夹持装置(100)包括：夹持构件(81)，在对设置于基板收纳容器(C)的正面的盖体(68)进行开闭时，该夹持构件(81)能够从上方与该基板收纳容器接触而将所述基板收纳容器固定于预定位置；驱动机构(86、87)，其用于驱动所述夹持构件；壳体(85)，其用于覆盖该驱动机构；排气室(90)，其具有与该壳体连通的吸入口(91)，并设于该壳体的附近；风扇(94)，其设置于该排气室内。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及夹持装置、基板输入输出装置以及基板处理装置。
技术介绍
以往以来，在制造半导体的半导体制造装置中，公知有一种盖体开闭装置，该盖体开闭装置包括：载置台，以FOUP(前开式晶圆传送盒：Front Opening Unified Pod)的盖体的前表面朝向由开闭门进行开闭的输送口的方式载置FOUP，以防止FOUP的输送区域的微粒经由FOUP的盖体混入基板输送区域；气体喷出口，其设置于与FOUP相对的相对面部；进退机构，其使载置到载置台的FOUP相对于相对面部相对地进退(例如，参照日本国特开2012－204645号公报)。在该日本国特开2012－204645号公报所记载的盖体开闭装置中，通过在从气体喷出口到FOUP盖体的距离为5mm以下时向盖体供给吹扫气体，在盖体和相对面部之间流动的吹扫气体的流速变高，能够容易地去除盖体的微粒。另外，公知有一种输送装置，输送装置具有接地要素，以使得即使在收纳有带电的晶圆的情况下晶圆也不会被存在于内部的微粒污染(例如，参照日本国特开2014－67744号公报)。该日本国特开2014－67744号公报所记载的输送装置构成为，包括：保持台，其具有用于对被输送体进行定位的第1定位用销，用于对收纳到被输送体的被处理体进行交接；臂部，其为了将被输送体载置于保持台而把持被输送体；支承部件，其用于对载置到保持台的被输送体进行固定，第1定位用销、臂部以及支承部件中的至少一者具有接地要素。根据该盖体开闭装置以及输送装置，在将收纳到FOUP或被输送体的基板向基板输送区域内输入时，能够在防止微粒混入基板输送区域内的方面获
得恒定的效果。
技术实现思路
本专利技术的一技术方案的夹持装置包括：夹持构件，在对设置于基板收纳容器的正面的盖进行开闭时，该夹持构件能够从上方夹持该基板收纳容器而将所述基板收纳容器固定于预定位置；驱动机构，其用于驱动所述夹持构件；壳体，其用于覆盖该驱动机构；排气室，其具有与该壳体连通的吸入口，且设于该壳体的附近；风扇，其设置于该排气室内。上述的内容仅是用于说明，在任何方式方面都不意在限制。除了上述说明的形态、实施例以及特征之外，追加的形态、实施例以及特征通过参照附图以及以下的详细说明而变得清楚。附图说明图1是本专利技术的实施方式的基板处理装置的一个例子的概略结构图。图2是本专利技术的实施方式的基板处理装置的一个例子的概略俯视图。图3是本专利技术的实施方式的承载件输送区域的一个例子的概略立体图。图4是承载件的一个例子的概略结构图。图5是表示搭载有本专利技术的实施方式的夹持装置的一个例子的FIMS部附近的结构的立体图。图6是表示搭载有本专利技术的实施方式的夹持装置的一个例子的FIMS部附近的结构的主视图。图7是表示本专利技术的实施方式的夹持装置的夹持机构部的一个例子的内部结构的图。图8是表示壳体的一个例子的结构的主视图。图9是表示本专利技术的实施方式的夹持装置的一个例子的整体结构的正面立体图。图10是表示将夹持罩去除后的状态下的本专利技术的实施方式的夹持装置的一个例子的图。图11是表示形成于排气室的局部排气吸入口的一个例子的图。图12是表示第1排气室的一个例子的侧剖视图的图。图13是表示本专利技术的实施方式的夹持装置的下表面的立体图。图14是本专利技术的实施方式的夹持装置的一个例子的整体立体图。图15是表示本专利技术的实施方式的夹持装置的一个例子的第1排气室和第2排气室的内部结构的立体图。图16是表示本专利技术的实施方式的夹持装置的一个例子的排气室的内部结构的分解立体图。图17是用于说明本专利技术的实施方式的夹持装置的一个例子的排气室的气体的流动的图。图18是表示本专利技术的实施例的夹持装置的微粒测定点的图。图19是表示本实施例的夹持装置的测定结果的图。具体实施方式在以下的详细说明中，参照形成说明书的一部分的附图。详细说明、附图以及权利要求所记载的说明性的实施例的意图并不在于限制。在不脱离在此所示的本专利技术的思想或范围的情况下，可使用其他实施例，另外，也可进行其他变形。近年来，出于抑制半导体制造工厂的投资、谋求降低成本的观点考虑，将洁净室内实际上进行基板处理的区域的清洁度保持得较高，但存在输送FOUP等基板收纳容器的区域的清洁度降低、在FOUP、FIMS(前开接口机械标准：Front-opening Interface Mechanical Standard)等的输送装置侧确保清洁度的要求。为了响应这样的要求，优选的是实现如下构造：在将FOUP等基板收纳
容器输入基板输送区域(基板处理区域)之际防止附着到基板收纳容器的盖等的微粒的混入，并且使对基板收纳容器的盖进行开闭之际在机械机构处产生的微粒也不飞散。因此，本专利技术的目的在于提供如下夹持装置、使用该夹持装置的基板输入输出装置以及基板处理装置：在用于固定从FOUP等基板收纳容器取出基板而向基板输送区域输入之际所需的基板收纳容器的夹持机械中，能够减少微粒的飞散。本专利技术的技术方案1的夹持装置包括：夹持构件，在对设置于基板收纳容器的正面的盖进行开闭时，该夹持构件能够从上方夹持该基板收纳容器而将所述基板收纳容器固定于预定位置；驱动机构，其用于驱动所述夹持构件；壳体，其用于覆盖该驱动机构；排气室，其具有与该壳体连通的吸入口，邻近该壳体地设置；风扇，其设置于该排气室内。技术方案2是根据技术方案1所述的夹持装置，其中，在所述壳体内设置有选择性地配置在所述驱动机构的附近的局部排气管道。技术方案3是根据技术方案2所述的夹持装置，其中，所述局部排气管道与所述吸入口连通。技术方案4是根据技术方案2或3所述的夹持装置，其中，所述壳体和所述排气室邻接，所述局部排气管道的排出口与所述吸入口直接连结。技术方案5是根据技术方案4所述的夹持装置，其中，所述排气室邻接地设置于所述壳体的两侧面，在所述壳体的两侧设置有所述风扇。技术方案6是根据技术方案5所述的夹持装置，其中，邻接地设置于所述壳体的两侧面的所述排气室彼此连通。技术方案7是根据技术方案2～6中任一项所述的夹持装置，其中，所述壳体包括：可动部，其与所述夹持构件连结，能够与所述夹持构件一起上下运动；固定部，其用于收容所述驱动机构的至少一部分以及所述局部排气管道。技术方案8是根据技术方案7所述的夹持装置，其中，所述驱动机构具有产生驱动力的驱动力产生部和在该驱动力的作用下运动的运动部，所述可动
部用于收容所述运动部的至少一部分，所述固定部用于收容所述驱动力产生部。技术方案9是根据技术方案7或8所述的夹持装置，其中，所述可动部以插入所述固定部的底部的开口的方式设置，在该开口的周围的至少一部分形成有与所述可动部的侧面平行的壁。技术方案10是根据技术方案1～9中任一项所述的夹持装置，其中，该夹持装置还具有罩构件，该罩构件具有与所述排气室连续的一体的形状，用于覆盖所述壳体。技术方案11是根据技术方案1～10中任一项所述的夹持装置，其中，所述风扇是多叶片风扇。技术方案12是根据技术方案1～11中任一项所述的夹持装置，其中，在所述排气室内还设置有清洁过滤器，能够将从所述吸入口吸入的气体经由该清洁过滤器向能够固定所述基板收纳容器的所述预定位置供给。技术方案13是根据技术方案12所述的夹持装置，其中，所述清洁过滤器设置于所述排气室的底面。技术方案1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种夹持装置，其中，该夹持装置包括：夹持构件，在对设置于基板收纳容器的正面的盖体进行开闭时，该夹持构件能够从上方与该基板收纳容器接触而将所述基板收纳容器固定于预定位置；驱动机构，其用于驱动所述夹持构件；壳体，其用于覆盖该驱动机构；排气室，其具有与该壳体连通的吸入口，且设于该壳体的附近；风扇，其设置于该排气室内。

【技术特征摘要】
2015.03.20 JP 2015-0581601.一种夹持装置，其中，该夹持装置包括：夹持构件，在对设置于基板收纳容器的正面的盖体进行开闭时，该夹持构件能够从上方与该基板收纳容器接触而将所述基板收纳容器固定于预定位置；驱动机构，其用于驱动所述夹持构件；壳体，其用于覆盖该驱动机构；排气室，其具有与该壳体连通的吸入口，且设于该壳体的附近；风扇，其设置于该排气室内。2.根据权利要求1所述的夹持装置，其中，在所述壳体内设置有选择性地配置于所述驱动机构的附近的局部排气管道。3.根据权利要求2所述的夹持装置，其中，所述局部排气管道与所述吸入口连通。4.根据权利要求2所述的夹持装置，其中，所述壳体和所述排气室邻接，所述局部排气管道的排出口与所述吸入口直接连结。5.根据权利要求4所述的夹持装置，其中，所述排气室邻接地设置于所述壳体的两侧面，在所述壳体的两侧设置有所述风扇。6.根据权利要求5所述的夹持装置，其中，邻接地设置于所述壳体的两侧面的所述排气室彼此连通。7.根据权利要求2所述的夹持装置，其中，所述壳体包括：可动部，其与所述夹持构件连结，能够与所述夹持构件一起上下运动；固定部，其用于收容所述驱动机构的至少一部分以及所述局
\t部排气管道。8.根据权利要求7所述的夹持装置，其中，所述驱动机构具有产生驱动力的驱动力产生部和在该驱动力的作用下运动的运动部，所述可动部用于收容所述运动部的至少一部分，所述固定部用于收容所述驱动力产生部。9.根据权利要求7所述的夹持装置，其中，所述可动部以插入所述固定部的底部的开口的方式设置，在该开口的周围的至少一部分形成有与所述可动部的侧面平行的壁。10.根据权利要求1所述的夹持装置，其中，该夹持装置还具有罩构件，该罩构件具有与所述排气室连续的一体的形状，用于覆盖所述壳体。1...

【专利技术属性】
技术研发人员：小原美鹤，井上久司，潮永圭史，小林正寿，马场则夫，菊池浩，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP