【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及信息处理方法、信息处理装置以及信息处理系统。
技术介绍
1、在基板处理系统中，使用多个边缘设备，在具有多个边缘设备的多种腔室中，执行各种工序。
2、不限于基板处理系统，在电气设备、电子设备、汽车、医药、化学制品、食品等的各种生产管理系统中，执行使用多个边缘设备的工序。
3、专利文献1:国际公开第2018/173121号
4、专利文献2:国际公开第2019/163823号
技术实现思路
1、本公开是鉴于这种情况而完成的，提供一种能够高效地创建并管理应用于设置在系统内的各种边缘设备的模型的信息处理方法、信息处理装置以及信息处理系统。
2、本专利技术的一个方式的信息处理方法包含：获取由多个第一学习模型处理的数据的特征量的工序；基于获取到的特征量，在输入了由上述第一学习模型处理的数据的特征量的情况下，进行输出与推断结果相关的信息的第二学习模型的学习的工序；以及向学习后的第二学习模型输入获取到的数据的特征量，并输出基于从上述第二学习模型得到的信息的推断结果的工序。
3、根据本公开，能够高效地创建并管理设置于系统的各种边缘设备的推理模型。
【技术保护点】
1.一种信息处理方法，包含：
2.根据权利要求1所述的信息处理方法，其中，
3.根据权利要求2所述的信息处理方法，其中，
4.根据权利要求2所述的信息处理方法，其中，
5.根据权利要求2所述的信息处理方法，其中，
6.根据权利要求2所述的信息处理方法，其中，
7.根据权利要求1～权利要求6中任一项所述的信息处理方法，其中，
8.根据权利要求1～权利要求7中任一项所述的信息处理方法，其中，
9.一种信息处理装置，具备：
10.一种信息处理系统，包含：
11.根据权利要求10所述的信息处理系统，其中，
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种信息处理方法，包含：
2.根据权利要求1所述的信息处理方法，其中，
3.根据权利要求2所述的信息处理方法，其中，
4.根据权利要求2所述的信息处理方法，其中，
5.根据权利要求2所述的信息处理方法，其中，
6.根据权利要求2所述的信息处理方法，...
【专利技术属性】
技术研发人员：齐藤友贵哉，片冈勇树，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：
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