接合装置及接合方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种接合装置(裸片接合机)及接合方法，其修正拾取用相机和安装用相机之间的姿势偏移，安装位置上的定位精度高。在本发明专利技术中，利用在从吸附保持裸片的吸附器的中心位置偏置的位置上具有基准标记的接合头来吸附保持裸片并将裸片在安装位置上接合，在吸附保持的位置及安装位置上利用各自的拍摄机构来拍摄基准标记，基于各自的拍摄结果来检测各自的拍摄机构相对于接合头的位置偏移和旋转角偏移，基于各自的检测结果而在上述接合头相对于上述安装位置的第三位置偏移和第三旋转角偏移中至少修正第三旋转角偏移。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及接合装置及接合方法，尤其涉及能够在接合裸片的安装位置上提高定位精度的接合装置及接合方法。
技术介绍
在将裸片(Die；半导体芯片)搭载在布线衬底或引线框架等的衬底上来组装封装体的工序的一部分中具有如下的接合工序，其从晶圆(wafer)吸附裸片，并将裸片直接载置到衬底上或临时载置到中间载台上，并利用接合头进行安装。作为这样的接合装置而具有专利文件1。在专利文件1中公开了如下技术：为了防止因接合头的重量化所导致的定位精度的降低，而不在接合头上设置引起重量化的接合头的旋转轴，并通过精准载台(precision-stage；中间载台)上的切片(裸片)的旋转来修正接合载台上的衬底的旋转方向上的位置(角度)偏移。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2000-252303号公报另一方面，根据当前的封装体的小型及薄型化、裸片的薄型化带来的chip on chip(层叠芯片)的层叠技术的发展，对于裸片的接合而需要更严格的μm级的定位。因此，存在仅如专利文件1那样地通过接合载台上的衬底的旋转偏移的修正无法得到充分的定位精度，如下的姿势偏移会对裸片向安装位置的定位精度带来影响成为课题，该姿势偏移是拾取裸片时对由位置和旋转角规定的裸片的姿势进行拍摄的拾取用相机和接合裸片时拍摄安装位置的安装用相机之间的相对于接合头的姿势偏移。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述课题而研发的，提供一种接合装置及接合方法，其修正拾取用相机和安装用相机间的姿势偏移，安装位置上的定位精度高。本专利技术为实现上述目的，提供一种接合装置，具有：拾取拍摄机构，其具有第一拍摄视野；载置位置拍摄机构，其具有能够拍摄裸片的载置位置的第二拍摄视野；裸片移送工具，其能够拾取第一拍摄视野内的裸片并将裸片载置在第二拍摄视野内的载置位置上，并在当拾取裸片时能够在第一拍摄视野内拍摄到且当将裸片载置在载置位置上时能够在第二拍摄视野内拍摄到的位置上具有基准标记；能够在第一拍摄视野内检测到基准标记的第一检测机构；能够在第二拍摄视野内检测到基准标记的第二检测机构；和修正机构，其能够基于第一检测机构和第二检测机构的结果，来修正裸片移送工具所保持的裸片的载置场所。这里，裸片移送工具除了包括接合裸片的接合头以外，还包含从晶圆拾取裸片的拾取头、在中间载台与其他任意场所之间移动裸片的头机构。另外，拾取拍摄机构包含从晶圆拾取裸片的情况下的拍摄机构、拾取载置在中间载台上的裸片时的拍摄机构、从保持工具拾取其他裸片的情况下的拍摄机构等，简要来说包含能够在拾取裸片时进行拍摄的拍摄机构。另外，载置位置拍摄机构包括将裸片载置在中间载台上的情况下的拍摄机构、将裸片载置在衬底上的情况下的拍摄机构等的将裸片载置在移送裸片的对象部分上时进行拍摄的拍摄机构。另外，载置裸片除了包括将裸片置于对象场所的情况以外，还包括临时压接或者正式压接等的接合行为的任意情况。另外，修正机构不限于仅基于裸片移送工具的修正，只要是能够对裸片移送工具所保持的裸片的载置场所进行修正的修正机构即可，如下所述，作为修正方法，也可以通过修正裸片移送工具的位置及/或角度来修正裸片的载置场所，也可以通过修正中间载台的位置及/
或角度来修正裸片的载置场所，除此以外，简要来说只要是能够修正裸片的载置场所的修正机构即可。另外，在本专利技术中可以为，第一检测机构或者第二检测机构能够检测当移送工具在从裸片的拾取位置向裸片的载置位置移动的移动方向上或者在与移动方向正交的方向上平面移动时得到的基准标记的轨迹。而且，在本专利技术中可以为，基准标记是经由具有设在移送工具上的2个棱镜的光学系统而能够由拾取拍摄机构或者载置位置拍摄机构拍摄到的基准标记。另外，在本专利技术中可以为，修正机构能够使中间载台旋转来进行修正，该中间载台能够在与载置位置相关的载置面平行的面内旋转。而且，在本专利技术中可以为，具有拾取机构，其能够翻转裸片，并且能够在与具有载置位置的载置面平行的面内旋转，修正机构使拾取机构旋转来进行修正。另外，本专利技术提供一种接合方法，具有：检测由拾取拍摄机构拍摄到的、裸片移送工具所具有的基准标记的第一检测步骤；检测由载置位置拍摄机构拍摄到的基准标记的第二检测步骤；和基于第一检测步骤和第二检测步骤的检测结果来修正裸片移送工具所保持的裸片的载置场所的修正步骤。而且，在本专利技术中可以为，第一检测步骤或者第二检测步骤是基于当裸片移送工具在从裸片的拾取位置向裸片的载置位置移动的移动方向上或者在与移动方向正交的方向上平面移动时得到的所述基准标记的轨迹来进行检测的步骤。另外，在本专利技术中可以为，第一检测步骤或者第二检测步骤是经由具有设在移送工具上的2个棱镜的光学系统来拍摄基准标记的步骤。而且，在本专利技术中可以为，修正步骤是基于第一检测步骤及第二检测步骤中得到的结果而使中间载台旋转来进行修正的步骤，该中间
载台能够在与载置面平行的面内旋转。另外，在本专利技术中可以为，修正步骤是使拾取机构旋转来进行修正的步骤，该拾取机构能够翻转裸片，并能够在与具有载置位置的载置面平行的面内旋转。专利技术的效果根据本专利技术，能够提供一种接合装置及接合方法，其修正拾取用相机和安装用相机之间的姿势偏移，安装位置上的定位精度高。附图说明图1是适合于本专利技术的裸片接合机的第一实施例的主要部分的概略侧视图。图2是表示从晶圆拾取裸片的拾取头的一实施例的概略图。图3(a)～图3(c)是示意表示第一实施例的接合头的构造的图。图4表示相机的姿势偏移的检测处理流程。图5(a)是表示安装用相机的姿势偏移的检测结果的图，图5(b)是表示中间载台相机相对于接合头的姿势偏移的检测结果的图。图6(a)是表示利用安装用相机来拍摄输送到贴附载台上的由虚线所示的衬底P、或对于已安装裸片为新的裸片D安装位置时的图，图6(b)是表示利用中间载台相机来拍摄载置在中间载台上的裸片D时的图。图7是适合于本专利技术的裸片接合机的第二实施例的主要部的概略侧视图。图8(a)和图8(b)是用于说明本专利技术和现有技术的不同的图。附图标记说明11：供给载台相机12：供给载台13：拾取头21：中间载台相机21c：中间载台相机的拍摄视野的中心位置22：中间载台23：接合头23C：吸附器23cp：吸附器的中心位置23j：吸附器中心轴23m：标记部23o；光学系统23p1、23p2：棱镜23s：光学系统支承部23K：相机姿势偏移检测部23H：接合头的主体25：旋转驱动装置31：安装用相机31c：安装用相机的拍摄视野的中心位置32：贴附载台34：加热装置41：下方视景相机100、200：裸片接合机D：裸片(半导体芯片)P：衬底M、M1、M2、Mα、Mβ：基准标记W：晶圆Δθba：安装用相机相对于接合头的旋转角偏移Δθbc：中间载台相机相对于接合头的旋转角偏移具体实施方式以下使用附图等来说明本专利技术的一个实施方式。此外，以下的说明用于说明本专利技术的一个实施方式，不限制本专利技术的范围。因此，对于本领域技术人员来说，能够采用将这些各要素或者全部要素置换成
与其等同的要素的实施方式，这些实施方式也包含于本申请专利技术的范围。此外，在本说明书中，在各图的说明中，对于具有通用功能的构成要素标注相同的附图标记，尽量避免重复的说明。图1是适合于本专利技术的接合装置即裸片接合机(die bo本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种接合装置，其特征在于，具有：拾取拍摄机构，其具有第一拍摄视野；载置位置拍摄机构，其具有能够拍摄裸片的载置位置的第二拍摄视野；裸片移送工具，其能够拾取所述第一拍摄视野内的裸片并将所述裸片载置在所述第二拍摄视野内的载置位置上，并在当拾取裸片时能够在所述第一拍摄视野内拍摄到且当将所述裸片载置在载置位置上时能够在所述第二拍摄视野内拍摄到的位置上具有基准标记；能够在所述第一拍摄视野内检测到所述基准标记的第一检测机构；能够在所述第二拍摄视野内检测到所述基准标记的第二检测机构；和修正机构，其能够基于所述第一检测机构和所述第二检测机构的结果，来修正所述裸片移送工具所保持的裸片的载置场所。

【技术特征摘要】
2015.03.11 JP 2015-0481781.一种接合装置，其特征在于，具有：拾取拍摄机构，其具有第一拍摄视野；载置位置拍摄机构，其具有能够拍摄裸片的载置位置的第二拍摄视野；裸片移送工具，其能够拾取所述第一拍摄视野内的裸片并将所述裸片载置在所述第二拍摄视野内的载置位置上，并在当拾取裸片时能够在所述第一拍摄视野内拍摄到且当将所述裸片载置在载置位置上时能够在所述第二拍摄视野内拍摄到的位置上具有基准标记；能够在所述第一拍摄视野内检测到所述基准标记的第一检测机构；能够在所述第二拍摄视野内检测到所述基准标记的第二检测机构；和修正机构，其能够基于所述第一检测机构和所述第二检测机构的结果，来修正所述裸片移送工具所保持的裸片的载置场所。2.如权利要求1所述的接合装置，其特征在于，所述第一检测机构或者所述第二检测机构能够检测当所述移送工具在从裸片的拾取位置向裸片的载置位置移动的移动方向上或者在与所述移动方向正交的方向上平面移动时得到的所述基准标记的轨迹。3.如权利要求1所述的接合装置，其特征在于，所述基准标记是经由具有设在所述移送工具上的2个棱镜的光学系统而能够利用所述拾取拍摄机构或者载置位置拍摄机构拍摄到的基准标记。4.如权利要求2所述的接合装置，其特征在于，所述基准标记是经由具有设在所述移送工具上的2个棱镜的光学系统而能够利用所述拾取拍摄机构或者载置位置拍摄机构拍摄到的基准标记。5.如权利要求1～4中任一项所述的接合装置，其特征在于，所述修正机构能够使中间载台旋转来进行修正，该中间载台能够在与所述载置位置相关的载置面平...

【专利技术属性】
技术研发人员：牧浩，坂本秀章，山本启太，
申请(专利权)人：捷进科技有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP