下载接合装置及接合方法的技术资料

文档序号:13768104

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本发明提供一种接合装置(裸片接合机)及接合方法,其修正拾取用相机和安装用相机之间的姿势偏移,安装位置上的定位精度高。在本发明中,利用在从吸附保持裸片的吸附器的中心位置偏置的位置上具有基准标记的接合头来吸附保持裸片并将裸片在安装位置上接合,在...
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