阵列基板及其制造方法、触控面板、触控显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及显示技术领域，公开了一种阵列基板、触控面板、触控显示装置及阵列基板的制造方法。阵列基板包括衬底基板以及在衬底基板前侧依次设置的平坦层、第一钝化层、公共电极层、金属层、第二钝化层以及像素电极层，所述公共电极层包括交叉设置的第一电极和第二电极，所述第一电极和第二电极在交叉处绝缘设置。在本发明专利技术实施例中，平坦层与公共电极层之间设置有第一钝化层，当在公共电极层表面溅射形成金属层时，第一钝化层可以防止金属直接溅射到平坦层上，进而防止平坦层受到冲击并释放杂质，保障了工艺腔室的清洁性，在提高触控显示装置灵敏度的同时，又提高了触控显示装置的产品品质。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示
，尤其涉及一种阵列基板、触控面板、触控显示装置及阵列基板的制造方法。
技术介绍
随着显示技术的飞速发展，触控面板(Touch Screen Panel)已经逐渐遍及人们的生活中。目前，触控面板按照工作原理可以分为：电阻式、电容式、红外线式以及表面声波式。其中，电容式触控面板由于能够实现真正的多点控制和高灵敏度而成被业内广泛应用。电容触摸屏按组成结构可分为：外挂式触摸屏、覆盖表面式触摸屏以及内嵌式触摸屏。其中，外挂式触摸屏是将触摸屏与显示屏分开生产，然后贴合到一起成为具有触摸功能的液晶显示屏，外挂式触摸屏存在制作成本高、光透过率较低、组模较厚等确定。而内嵌式触摸屏将触摸屏的触控电机内嵌在液晶显示屏内部，可以减薄模组整体的厚度，又可以大大降低触摸屏的制作成本。因此，内嵌式触摸屏受到各大面板厂家青睐。以触摸屏内嵌于ADS(Advanced Super Dimension Switch，高级超维场转换，简称ADS)模式显示屏的其中一个具体应用为例。其中，ADS模式的显示屏通过网状的第一电极层与板状的第二电极层之间形成多维电场，使液晶盒内所有取向液晶分子都能够产生旋本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种阵列基板，其特征在于，包括衬底基板以及在衬底基板前侧依次设置的平坦层、第一钝化层、公共电极层、金属层、第二钝化层以及像素电极层，所述公共电极层包括交叉设置的第一电极和第二电极，所述第一电极和第二电极在交叉处绝缘设置。

【技术特征摘要】
1.一种阵列基板，其特征在于，包括衬底基板以及在衬底基板前侧依次设置的平坦层、第一钝化层、公共电极层、金属层、第二钝化层以及像素电极层，所述公共电极层包括交叉设置的第一电极和第二电极，所述第一电极和第二电极在交叉处绝缘设置。2.如权利要求1所述的阵列基板，其特征在于，所述衬底基板与所述平坦层之间设置有薄膜晶体管，所述第二钝化层具有第一过孔，所述公共电极具有第二过孔，所述第一钝化层具有第三过孔，所述平坦层具有第四过孔，所述像素电极层通过第一过孔、第二过孔、第三过孔以及第四过孔与薄膜晶体管的源极或者漏极连接。3.如权利要求2所述的阵列基板，其特征在于，所述第一钝化层与所述第二钝化层材质相同。4.如权利要求3所述的阵列基板，其特征在于，所述第一钝化层包括氮化硅或者二氧化硅。5.如权利要求2所述的阵列基板，其特征在于，所述第一过孔与所述第三过孔位置相...

【专利技术属性】
技术研发人员：王珍，孙建，秦文文，乔赟，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，
类型：发明
国别省市：北京;11