层叠体的剥离装置和剥离方法及电子器件的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及层叠体的剥离装置和剥离方法及电子器件的制造方法。层叠体的剥离装置使具有第1基板和第2基板且以能够剥离的方式粘合所述第1基板和所述第2基板而成的层叠体在所述第1基板与所述第2基板之间的界面自一端侧朝向另一端侧依次剥离，包括：支承部，用于支承所述层叠体的所述第1基板；挠性板，利用其吸附面吸附所述层叠体的所述第2基板；以及多个可动体，该多个可动体安装于所述挠性板的与所述吸附面相反的一侧的面，并且通过使多个可动体独立地相对于所述支承部移动来使所述挠性板自一端侧朝向另一端侧挠性变形，从而使所述层叠体在所述界面依次剥离，所述多个可动体以单个为单位以及以多个为单位借助多根连结构件安装于所述挠性板。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及层叠体的剥离装置和剥离方法及电子器件的制造方法。
技术介绍
随着显示面板、太阳能电池、薄膜二次电池等电子器件的薄型化、轻型化，期望应用于这些电子器件的玻璃板、树脂板、金属板等基板(第1基板)的薄板化。然而，若基板的厚度变薄，则基板的处理性恶化，因此，难以在基板的表面形成电子器件用的功能层(薄膜晶体管(TFT：Thin Film Transistor)和滤色器(CF：Color Filter))。因此，提案有如下一种电子器件的制造方法：在基板的背面粘贴玻璃制的加强板(第2基板)从而构成利用加强板加强基板而成的层叠体，并在层叠体的状态下在基板的暴露面形成功能层。在该制造方法中，基板的处理性提高，因此能够在基板的暴露面良好地形成功能层。而且，加强板在形成功能层后自基板剥离。专利文献1所公开的加强板的剥离方法通过自位于矩形的层叠体的对角线上的两个角部中的一个角部朝向另一个角部地使加强板或基板或者它们双方向互相分开的方向依次挠性变形来进行。此时，为了使剥离顺利进行，在层叠体的一个角部制作剥离开始部。剥离开始部是通过将剥离刀自层叠体的端面向基板和加强板之间的界面内插入预定量而制作的。专利文献1的剥离装置包括载物台、挠性板、多个吸盘、多个驱动装置(可动体)、以及控制装置等。采用专利文献1的剥离装置，利用载物台吸附保持基板，利用挠性板吸附保持加强板。多个驱动装置的杆借助多个吸盘连结于挠性板。并且，控制装置对多个驱动装置的杆相对于载物台的位置以每
个杆为单位进行控制。具体而言，在利用载物台平坦地支承着基板的状态下，对多个驱动装置的杆的位置进行控制，使加强板自剥离开始部依次挠性变形。由此，能够自基板剥离加强板。专利文献1：日本特许第5155454号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题在专利文献1的剥离装置中，多个驱动装置等间隔地以棋盘格状设于挠性板。即，专利文献1的剥离装置是将多个驱动装置的各杆的动力经由吸盘直接传递至挠性板的构造，因此存在驱动装置的台数增加，装置结构复杂化这样的问题。本专利技术是鉴于这样的问题而做出的，其目的在于，提供能够削减可动体的台数地对第1基板与第2基板之间进行剥离的层叠体的剥离装置和剥离方法及电子器件的制造方法。用于解决问题的方案为了达到所述目的，本专利技术提供一种层叠体的剥离装置，使具有第1基板和第2基板且以能够剥离的方式粘合所述第1基板和所述第2基板而成的层叠体在所述第1基板与所述第2基板之间的界面自一端侧朝向另一端侧依次剥离，其特征在于，该层叠体的剥离装置包括：支承部，其用于支承所述层叠体的所述第1基板；挠性板，其利用其吸附面吸附所述层叠体的所述第2基板；以及多个可动体，该多个可动体安装于所述挠性板的与所述吸附面相反的一侧的面，并且通过使多个可动体独立地相对于所述支承部移动来使所述挠性板自一端侧朝向另一端侧挠性变形，从而使所述层叠体在所述界面依次剥离，所述多个可动体以单个为单位以及以多个为单位借助多根连结构件安装于所述挠性板。为了达到所述目的，本专利技术提供一种层叠体的剥离方法，使具有第1基板和第2基板且以能够剥离的方式粘合所述第1基板和所述第2基板而成的层叠体在所述第1基板与所述第2基板之间的界面自一端侧朝向另一端侧依次剥离，其特征在于，该层叠体的剥离方法包括：支承工序，利用支承部支承所述层叠体的所述第1基板；吸附工序，利用挠性板的吸附面吸附所述层叠体的所述第2基板；以及剥离工序，利用多个可动体并借助多根连结构件使所述挠性板挠性变形而使所述层叠体的所述第2基板自一端侧朝向另一端侧依次挠性变形，从而使所述层叠体在所述界面依次剥离。为了达到所述目的，本专利技术提供一种电子器件的制造方法，该电子器件的制造方法具有：功能层形成工序，对于将第1基板和第2基板以能够剥离的方式粘贴而成的层叠体，在所述第1基板的暴露面形成功能层；以及分离工序，自形成有所述功能层的所述第1基板分离所述第2基板，其特征在于，所述分离工序具有：支承工序，利用支承部支承所述层叠体的所述第1基板；吸附工序，利用挠性板的吸附面吸附所述层叠体的所述第2基板；以及剥离工序，利用多个可动体并借助多根连结构件使所述挠性板挠性变形而使所述层叠体的所述第2基板自一端侧朝向另一端侧依次挠性变形，从而将所述第2基板自所述第1基板依次剥离。采用本专利技术，在剥离工序中，可动体的动力经由连结构件传递至挠性板而使挠性板挠性变形。即，以往的可动体通过在一点向挠性板传递动力而使挠性板挠性变形，但在本专利技术中，由于使连结构件介于可动体与挠性板之间，因此能够使可动体的动力以线或面传递至挠性板。由此，能够利用削减了可动体的台数后的剥离装置来剥离第1基板和第2基板。在本专利技术的一技术方案中，优选的是，所述连结构件构成为纵长状，所述连结构件的长轴沿着作为所述界面的已剥离部分与未剥离部分之间的交界线的剥离前线配置，且所述连结构件沿着所述界面的剥离行进方向隔开间
隔地配置有多根。采用所述本专利技术的一技术方案，由于连结构件的长轴和剥离前线相符，因此能够顺利地对第1基板与第2基板之间进行剥离。在本专利技术的另一技术方案中，优选的是，所述连结构件的长度分别构成为与所述剥离前线的长度相对应，所述可动体配置在将所述连结构件在长度方向上等分割的位置。采用所述本专利技术的另一技术方案，由于能够在连结构件的长度方向上均匀地传递可动体的动力，因此能够进一步顺利地对第1基板与第2基板之间进行剥离。在本专利技术的又一技术方案中，优选的是，所述连结构件借助缓冲构件安装于所述挠性板。采用所述本专利技术的又一技术方案，即使因支承部和挠性板的平坦度的偏差而使支承部与挠性板之间的间隔产生了偏差，缓冲构件也能吸收该偏差，因此能够将连结构件可靠地安装于挠性板。另外，由于缓冲构件也吸收连结构件的直线度的偏差，因此能够将连结构件可靠地安装于挠性板。专利技术的效果采用本专利技术的层叠体的剥离装置和剥离方法及电子器件的制造方法，能够削减可动体的台数地对第1基板与第2基板之间进行剥离。附图说明图1是表示向电子器件的制造工序供给的层叠体的一例子的主要部位放大侧视图。图2是表示在LCD的制造工序的中途制作的层叠体的一例子的主要部位放大侧视图。图3的(A)～图3的(E)是表示利用剥离开始部制作装置进行的剥离开始部制作方法的说明图。图4是利用剥离开始部制作方法制作了剥离开始部的层叠体的俯视图。图5是表示实施方式的剥离装置的结构的纵剖视图。图6是表示多根连结构件相对于剥离单元的配置位置的、挠性板的俯视图。图7的(A)～图7的(C)是表示剥离单元的结构的说明图。图8是在界面剥离层叠体的剥离装置的纵剖视图。图9是表示缓冲构件相对于连结构件的安装构造的纵剖视图。图10的(A)和图10的(B)是表示缓冲构件82的动作的缓冲构件的纵剖视图。图11的(A)～图11的(C)是按时间顺序表示将通过剥离开始部制作方法制作了剥离开始部的层叠体的加强板剥离的剥离方法的说明图。图12的(A)～图12的(C)是接着图11的(A)～图11的(C)按时间顺序表示将层叠体的加强板剥离的剥离方法的说明图。图13的(A)和图13的(B)是图11的(B)和图11的(C)的主要部位放大立体图。具体实施方式以下，根据附图说明本专利技术的实施方式。以下，说明在电子器件的制造工序(本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种层叠体的剥离装置，使具有第1基板和第2基板且以能够剥离的方式粘合所述第1基板和所述第2基板而成的层叠体在所述第1基板与所述第2基板之间的界面自一端侧朝向另一端侧依次剥离，其中，该层叠体的剥离装置包括：支承部，其用于支承所述层叠体的所述第1基板；挠性板，其利用其吸附面吸附所述层叠体的所述第2基板；以及多个可动体，该多个可动体安装于所述挠性板的与所述吸附面相反的一侧的面，并且通过使多个可动体独立地相对于所述支承部移动来使所述挠性板自一端侧朝向另一端侧挠性变形，从而使所述层叠体在所述界面依次剥离，所述多个可动体以单个为单位以及以多个为单位借助多根连结构件安装于所述挠性板。

【技术特征摘要】
2015.02.23 JP 2015-032742;2015.05.15 JP 2015-099741.一种层叠体的剥离装置，使具有第1基板和第2基板且以能够剥离的方式粘合所述第1基板和所述第2基板而成的层叠体在所述第1基板与所述第2基板之间的界面自一端侧朝向另一端侧依次剥离，其中，该层叠体的剥离装置包括：支承部，其用于支承所述层叠体的所述第1基板；挠性板，其利用其吸附面吸附所述层叠体的所述第2基板；以及多个可动体，该多个可动体安装于所述挠性板的与所述吸附面相反的一侧的面，并且通过使多个可动体独立地相对于所述支承部移动来使所述挠性板自一端侧朝向另一端侧挠性变形，从而使所述层叠体在所述界面依次剥离，所述多个可动体以单个为单位以及以多个为单位借助多根连结构件安装于所述挠性板。2.根据权利要求1所述的层叠体的剥离装置，其中，所述连结构件构成为纵长状，所述连结构件的长轴沿着作为所述界面的已剥离部分与未剥离部分之间的交界线的剥离前线配置，且所述连结构件沿着所述界面的剥离行进方向隔开间隔地配置有多根。3.根据权利要求2所述的层叠体的剥离装置，其中，所述连结构件的长度分别构成为与所述剥离前线的长度相对应，所述可动体配置在将所述连结构...

【专利技术属性】
技术研发人员：宇津木洋，伊藤泰则，滝内圭，
申请(专利权)人：旭硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP