层叠体的剥离装置和剥离方法及电子器件的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及层叠体的剥离装置和剥离方法及电子器件的制造方法。一种层叠体的剥离装置，使具有第1基板和第2基板且以能剥离的方式粘合第1基板和第2基板而成的层叠体在第1基板与第2基板之间的界面自一端侧朝向另一端侧依次剥离，包括：支承部，支承层叠体的第1基板；挠性板，利用其吸附面真空吸附层叠体的第2基板；可动体，借助连结构件固定于挠性板的与吸附面相反的一侧的面，并且通过使可动体独立地相对于支承部移动来使挠性板挠性变形，使层叠体在界面依次剥离，连结构件以贯穿于挠性板具有的贯通孔的方式配置，在由贯通孔形成于挠性板的空间部与吸附于挠性板的所述第2基板间配置有遮蔽构件，挠性板对空间部的真空吸引力被遮蔽构件阻断。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及层叠体的剥离装置和剥离方法及电子器件的制造方法。
技术介绍
随着显示面板、太阳能电池、薄膜二次电池等电子器件的薄型化、轻型化，期望应用于这些电子器件的玻璃板、树脂板、金属板等基板(第1基板)的薄板化。然而，若基板的厚度变薄，则基板的处理性恶化，因此，难以在基板的表面形成电子器件用的功能层(薄膜晶体管(TFT：Thin Film Transistor)、滤色器(CF：Color Filter))。因此，提案有如下一种电子器件的制造方法：在基板的背面粘贴玻璃制的加强板(第2基板)从而构成利用加强板加强基板而成的层叠体，并在层叠体的状态下在基板的暴露面形成功能层。在该制造方法中，基板的处理性提高，因此能够在基板的暴露面良好地形成功能层。而且，加强板在形成功能层后自基板剥离。专利文献1所公开的加强板的剥离方法通过自位于矩形的层叠体的对角线上的两个角部中的一个角部朝向另一个角部地使加强板或基板或者它们双方向互相分开的方向依次挠性变形来进行。此时，为了使剥离顺利进行，在层叠体的一个角部制作剥离开始部。剥离开始部是通过将剥离刀自层叠体的端面向基板和加强板之间的界面内插入预定量而制作的。专利文献1的剥离装置包括载物台、挠性板、多个吸盘(连结构件)、多个驱动装置(可动体)、以及控制装置等。采用专利文献1的剥离装置，利用载物台吸附保持基板，利用挠性板吸附保持加强板。多个驱动装置的杆借助多个吸盘连结于挠性板。并且，控制装置对多个驱动装置的杆相对于载物台
的位置以每个杆为单位进行控制。具体而言，在利用载物台平坦地支承基板的状态下，对多个驱动装置的杆的位置进行控制，使加强板自剥离开始部依次挠性变形。由此，能够自基板剥离加强板。专利文献1：日本特许第5155454号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题在专利文献1的剥离装置中，将所述吸盘(连结构件)固定于挠性板的与靠层叠体的一侧相反的一侧的面，并将驱动装置的杆的顶端部借助接头安装于该吸盘。在这样的安装形态中，存在如下问题，即，在向挠性板固定吸盘时，驱动装置的杆和接头成为障碍，从而不能将吸盘容易地固定于挠性板。因此，为了改善吸盘相对于挠性板的固定作业，研究有以下的方案。图16是表示用于将吸盘100固定于挠性板102的以往的第1形态的主要部位放大剖视图。图16所示的挠性板102主要包括：挠曲板104，其决定挠性板102的挠性；以及橡胶板108，其粘接于挠曲板104的表面并真空吸附层叠体106。在橡胶板108和挠曲板104上设有为了供吸盘100贯穿而配置的贯通孔110、112。在第1形态中，将吸盘100自挠性板102的层叠体侧(A)嵌合并固定于贯通孔110、112。由此，能够易于将吸盘100固定于挠性板102。也就是说，由于将吸盘100自挠性板102的层叠体侧(A)固定于挠性板102，因此，在向挠性板102固定吸盘100时，驱动装置的杆和接头不会成为障碍。然而，在第1形态中，在将层叠体106真空吸附于挠性板102的橡胶板108时，在橡胶板108的吸引作用下，贯通孔110、112的空间部114被吸盘100和层叠体106闭塞而成为真空。因此，如图17所示，存在如下情况，即，层叠体106的位于空间部114的一部分106A被吸入到空间部114内，从而局部变形而产生裂纹。图18是表示用于将吸盘100固定于挠性板102的以往的第2形态的主要部位放大剖视图。在图18所示的第2形态中，为了不使层叠体106的一部分106A被吸入到空间部114内，将水平对准用的橡胶块116配置于空间部114。然而，在第2形态中，橡胶块116不会跟随挠性板102的挠性变形而变形。因此，在剥离时，层叠体106的与橡胶块116相接触的局部106A不会相对于其他部分发生变形，即，从变形的其他部分看，层叠体106发生局部变形，因此有时会产生裂纹。图19是表示用于将吸盘100固定于挠性板102的以往的第3形态的主要部位放大剖视图。在图19所示的第3形态中，为了防止空间部114成为真空，在挠曲板104设有与空间部114相连通的通气孔118，使空间部114经由通气孔118向大气开放。当在挠曲板104设有与空间部114相连通的通气孔118时，由于空间部114与大气相连通，因此能够解决第1形态的问题。然而，由于橡胶板108与层叠体106之间的真空被破坏，因此存在不能吸附层叠体106这样的问题。如以上所示，在以往的第1形态～第3形态中，虽然能够改善吸盘100相对于挠性板102的固定作业，但存在层叠体106的局部106A破损的问题和不能吸附层叠体106的问题。此外，在图16～图19中，附图标记120是介于挠曲板104与橡胶板108之间的挠曲板，该挠曲板120经由双面粘接带122粘接于挠曲板104。另外，橡胶板108经由双面粘接带124粘接于挠曲板120。并且，附图标记126是设于挠性板102的吸引用的贯通孔，该贯通孔126与沿着橡胶板108的外周形成的框状的吸引用槽128相连通。即，通过经由贯通孔126吸引吸引用槽128内的空气，从而将层叠体106真空吸附于橡胶板108。本专利技术是鉴于这样的问题而做出的，其目的在于，提供层叠体的剥离装
置和剥离方法及电子器件的制造方法，能够在改善连结构件相对于挠性板的固定作业性的同时防止层叠体的破损，并且能够维持挠性板对基板的吸附保持。用于解决问题的方案为了达到所述目的，本专利技术提供一种层叠体的剥离装置，使具有第1基板和第2基板且以能够剥离的方式粘合所述第1基板和所述第2基板而成的层叠体在所述第1基板与所述第2基板之间的界面自一端侧朝向另一端侧依次剥离，其特征在于，该层叠体的剥离装置包括：支承部，其用于支承所述层叠体的所述第1基板；挠性板，其利用其吸附面真空吸附所述层叠体的所述第2基板；以及可动体，其借助连结构件固定于所述挠性板的与所述吸附面相反的一侧的面，并且，通过使可动体独立地相对于所述支承部移动来使所述挠性板挠性变形，从而使所述层叠体在所述界面依次剥离，所述连结构件以贯穿于所述挠性板所具有的贯通孔中的方式配置，在由所述贯通孔形成于所述挠性板的空间部与吸附于所述挠性板的所述第2基板之间配置有遮蔽构件，所述挠性板对所述空间部的真空吸引力被遮蔽构件阻断。为了达到所述目的，本专利技术提供一种层叠体的剥离方法，使具有第1基板和第2基板且以能够剥离的方式粘合所述第1基板和所述第2基板而成的层叠体在所述第1基板与所述第2基板之间的界面自一端侧朝向另一端侧依次剥离，其特征在于，该层叠体的剥离方法包括：支承工序，利用支承部支承所述层叠体的所述第1基板；吸附工序，利用挠性板的吸附面吸附所述层叠体的所述第2基板；以及剥离工序，利用多个可动体并借助连结构件使所述挠性板挠性变形而使所述层叠体的所述第2基板自一端侧朝向另一端侧依次挠性变形，从而使所述层叠体在所述界面依次剥离。所述连结构件以贯穿于所述挠性板所具有的贯通孔中的方式配置，在由所述贯通孔形成于所述挠性板的空间部与吸附于所述挠性板的所述第2基板之间配置有遮蔽构件，在所
述剥离工序中，所述挠性板对所述空间部的真空吸引力被遮蔽构件阻断。为了达到所述目的，本专利技术提供一种电子器件的制造方法，该电子器件的制造方法具有：功能层形成工序，对于将第本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种层叠体的剥离装置，使具有第1基板和第2基板且以能够剥离的方式粘合所述第1基板和所述第2基板而成的层叠体在所述第1基板与所述第2基板之间的界面自一端侧朝向另一端侧依次剥离，其中，该层叠体的剥离装置包括：支承部，其用于支承所述层叠体的所述第1基板；挠性板，其利用其吸附面真空吸附所述层叠体的所述第2基板；以及可动体，其借助连结构件固定于所述挠性板的与所述吸附面相反的一侧的面，并且，通过使可动体独立地相对于所述支承部移动来使所述挠性板挠性变形，从而使所述层叠体在所述界面依次剥离，所述连结构件以贯穿于所述挠性板所具有的贯通孔中的方式配置，在由所述贯通孔形成于所述挠性板的空间部与吸附于所述挠性板的所述第2基板之间配置有遮蔽构件，所述挠性板对所述空间部的真空吸引力被遮蔽构件阻断。

【技术特征摘要】
2015.02.23 JP 2015-032743;2015.05.15 JP 2015-099741.一种层叠体的剥离装置，使具有第1基板和第2基板且以能够剥离的方式粘合所述第1基板和所述第2基板而成的层叠体在所述第1基板与所述第2基板之间的界面自一端侧朝向另一端侧依次剥离，其中，该层叠体的剥离装置包括：支承部，其用于支承所述层叠体的所述第1基板；挠性板，其利用其吸附面真空吸附所述层叠体的所述第2基板；以及可动体，其借助连结构件固定于所述挠性板的与所述吸附面相反的一侧的面，并且，通过使可动体独立地相对于所述支承部移动来使所述挠性板挠性变形，从而使所述层叠体在所述界面依次剥离，所述连结构件以贯穿于所述挠性板所具有的贯通孔中的方式配置，在由所述贯通孔形成于所述挠性板的空间部与吸附于所述挠性板的所述第2基板之间配置有遮蔽构件，所述挠性板对所述空间部的真空吸引力被遮蔽构件阻断。2.根据权利要求1所述的层叠体的剥离装置，其中，所述遮蔽构件为树脂制的片材，其贴合于所述挠性板。3.根据权利要求1或2所述的层叠体的剥离装置，其中，所述空间部经由设于所述挠性板和所述连结构件中的至少一者的通气孔与大气相连通。4.一种层叠体的剥离方法，使具有第1基板和第2基板且以能够剥离的方式粘合所述第1基板和所述第2基板而成的层叠体在所述第1基板与所述第2基板之间的界面自一端侧朝向另...

【专利技术属性】
技术研发人员：伊藤泰则，宇津木洋，滝内圭，
申请(专利权)人：旭硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP