【技术实现步骤摘要】
201610082402
【技术保护点】
一种层叠体的剥离装置，对于包括第1基板、第2基板、以及将所述第1基板和所述第2基板粘合起来的粘接层的层叠体，自所述粘接层剥离所述第1基板，其中，该层叠体的剥离装置包括：驱动部，其用于使所述第1基板和所述第2基板中的一者挠性变形；以及滑动部，其用于使所述第1基板和所述第2基板沿与所述第1基板或所述第2基板平行的方向相对滑动。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：宇津木洋，伊藤泰则，滝内圭，坊田祐辅，
申请(专利权)人：旭硝子株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP
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