研磨部件外形的调整方法技术

本发明专利技术提供一种研磨部件外形的调整方法，在所述调整方法中，通过对所述研磨部件各个区域进行不同条件下的调整，可以使得所述研磨部件的表面一直保持平整，从而提高了所述研磨部件整体的研磨均匀性；减少了所述研磨部件沟槽内研磨副产物的残留，避免了对研磨晶片的划伤；使得所述研磨部件不同区域的研磨去除速率一致，提高了所述研磨部件不同区域的研磨均匀性；延长了所述研磨部件的使用寿命，节约了研磨成本。

【技术实现步骤摘要】
201510028558

【技术保护点】
一种研磨部件外形的调整方法，其特征在于：包括以下步骤：1)提供研磨部件和用于调整所述研磨部件外形的研磨调整装置，所述研磨调整装置包括一调整圆盘；2)将所述调整圆盘置于所述研磨部件上并做摆动，所述调整圆盘的摆动轨迹由多个摆动区域构成；所述调整圆盘在一个所述摆动区域内的摆动时长、摆动速度和所受压力与所述调整圆盘在另一个所述摆动区域内的摆动时长、摆动速度和所受压力之间至少有一个互不相等。

【技术特征摘要】
1.一种研磨部件外形的调整方法，其特征在于：包括以下步骤：1)提供研磨部件和用于调整所述研磨部件外形的研磨调整装置，所述研磨调整装置包括一调整圆盘；2)将所述调整圆盘置于所述研磨部件上并做摆动，所述调整圆盘的摆动轨迹由多个摆动区域构成；所述调整圆盘在一个所述摆动区域内的摆动时长、摆动速度和所受压力与所述调整圆盘在另一个所述摆动区域内的摆动时长、摆动速度和所受压力之间至少有一个互不相等。2.根据权利要求1所述的研磨部件外形的调整方法，其特征在于：所述调整圆盘的摆动轨迹自所述研磨部件的中心延伸至所述研磨部件的边缘附近，由三个所述摆动区域构成，所述三个摆动区域自所述研磨部件的中心至所述研磨部件的边缘附近依次为第一摆动区域、第二摆动区域和第三摆动区域。3.根据权利要求2所述的研磨部件外形的调整方法，其特征在于：所述第一摆动区域的长度占所述调整圆盘摆动轨迹总长度的25％～30％；所述第二摆动区域的长度占所述调整圆盘摆动轨迹总长度的45％～55％；所述第三摆动区域的长度占所述调整圆盘摆动轨迹总长度的15％～25％。4.根据权利要求3所述的研磨部件外形的调整方法，其特征在于：所述第一摆动区域的长度为1.7～1.9英寸；所述第二摆动区域的长度为2.5～3.5英寸；所述第三摆动区域的长度为1.3～1.4英寸。5.根据权利要求2所述的研磨部件外形的调整方法，其特征在于：所述调整圆盘在所述研磨部件上摆动的方法包括以下步骤：21)所述调整圆盘在第一压力下，以第一摆动速度在所述第一摆动区域内摆动，所述调整圆盘在所述第一摆动区域内摆动的时长为第一时长；22)调节所述调整圆盘的所受压力及摆动速度，使得所述调整圆盘在第二压力下，以第二摆动速度在所述第二摆动区域内摆动，所述调整圆盘在所述第二摆动区域内摆动的时长为第二时长；23)调节所述调整圆盘的所受压力及摆动速度，使得所述调整圆盘在第三压力下，以第三摆动速度在所述第三摆动区域内摆动，所述调整圆盘在所述第三摆动区域内摆动的时长为第三时长；24)重复步骤21)～步骤23)直至整个调整过程完成。6.根据权利要求5所述的研磨部件外形的调整方法，其特征在于：在步骤23)和24)之间，还包括一调节所述调整圆盘的所受压力及摆动速度，使得所述调整圆盘在第四压力下，以第四摆动速度在第四摆动区域摆动的步骤，所述第四摆动区域为整个所述摆动轨迹，所述调整圆盘在所述第四摆动区域摆动的时长为第四时长。7.根据权利要求2所述的研磨部件外形的调整方法，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐强，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造上海有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31