柔性基板的固化装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供的柔性基板的固化装置，其包括密封腔室、进气口、出气口和抽真空装置，其中，在密封腔室内设置有支架，用于承载柔性基板。在密封腔室内且位于支架的周围设置有红外加热体，用以向柔性基板辐射热量。进气口用于向密封腔室内输入惰性气体。出气口用于排出密封腔室内的惰性气体。抽真空装置用于通过控制惰性气体的输入和排出时间，而置换出在密封腔室内挥发形成的溶剂挥发物。本实用新型专利技术提供的柔性基板的固化装置，通过置换出溶剂挥发物，减少了溶剂凝结在腔室壁的可能性，减少了溶剂分解成为固体颗粒物数量，从而可以减少设备的维护频次，提高设备的使用效率，进而可以提高产能。

【技术实现步骤摘要】
201620238926

【技术保护点】
一种柔性基板的固化装置，包括密封腔室、进气口和出气口，在所述密封腔室内设置有支架，用于承载所述柔性基板；在所述密封腔室内且位于所述支架的周围设置有红外加热体，用以向所述柔性基板辐射热量；所述进气口用于向所述密封腔室内输入惰性气体；所述出气口用于排出所述密封腔室内的所述惰性气体，其特征在于，还包括抽真空装置，所述抽真空装置用于通过控制所述惰性气体的输入和排出时间，而置换出在所述密封腔室内挥发形成的溶剂挥发物。

【技术特征摘要】
1.一种柔性基板的固化装置，包括密封腔室、进气口和出气口，
在所述密封腔室内设置有支架，用于承载所述柔性基板；在所述密封
腔室内且位于所述支架的周围设置有红外加热体，用以向所述柔性基
板辐射热量；所述进气口用于向所述密封腔室内输入惰性气体；所述
出气口用于排出所述密封腔室内的所述惰性气体，其特征在于，还包
括抽真空装置，所述抽真空装置用于通过控制所述惰性气体的输入和
排出时间，而置换出在所述密封腔室内挥发形成的溶剂挥发物。
2.根据权利要求1所述的柔性基板的固化装置，其特征在于，
所述抽真空装置包括第一真空阀、第二真空阀和真空泵，其中，
所述第一真空阀安装在所述出气口处，用以开启或封闭所述出
气口；
所述第二真空阀安装在所述进气口处，用以开启或封闭所述进
气口；
所述真空泵与所述出气口连接，用以通过所述出气口抽取所述
密封腔室内的惰性气体。
3.根据权利要求2所述的柔性基板的固化装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：王和金，谢明哲，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11