一种线性蒸发源、蒸发源系统及蒸镀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种线性蒸发源、蒸发源系统及蒸镀装置，涉及显示技术领域，以在采用线性蒸发源蒸镀工艺制作有机电致发光显示器的发光层时，提高其在线源方向上的膜厚均一性。该线性蒸发源包括用于蒸发蒸镀材料的加热装置，加热装置的喷嘴安装面上设有线性喷嘴组，线性喷嘴组包括沿线源方向设在喷嘴安装面的多个喷嘴；加热装置中设有能够使加热装置的加热温度均一的温度补偿板。而蒸发源系统包括上述提到的线性蒸发源。本实用新型专利技术提供的线性蒸发源用于蒸镀装置中。

【技术实现步骤摘要】
201620286974

【技术保护点】
一种线性蒸发源，其特征在于，包括用于蒸发蒸镀材料的加热装置，所述加热装置的喷嘴安装面上设有线性喷嘴组，所述线性喷嘴组包括沿线源方向设在喷嘴安装面的多个喷嘴；所述加热装置中设有能够使所述加热装置的加热温度均一的温度补偿板。

【技术特征摘要】
1.一种线性蒸发源，其特征在于，包括用于蒸发蒸镀材料的加热装置，
所述加热装置的喷嘴安装面上设有线性喷嘴组，所述线性喷嘴组包括沿线源
方向设在喷嘴安装面的多个喷嘴；所述加热装置中设有能够使所述加热装置
的加热温度均一的温度补偿板。
2.根据权利要求1所述的线性蒸发源，其特征在于，所述加热装置的加
热部位于温度补偿板内，所述加热部具多个加热位置，各所述加热位置的加
热温度不同，所述温度补偿板与加热温度高的加热位置对应的部分厚度较薄，
所述温度补偿板与加热温度低的加热位置对应的部分厚度较厚。
3.根据权利要求1或2所述的线性蒸发源，其特征在于，所述温度补偿
单元为分体式结构或一体式结构。
4.根据权利要求3所述的线性蒸发源，其特征在于，所述温度补偿板包
括多个温度补偿单元，多个温度补偿单元沿着线源方向排列。
5.根据权利要求1或2所述的线性蒸发源，其特征在于，从所述线性喷
嘴组的中心向所述线性喷嘴组...

【专利技术属性】
技术研发人员：张金中，
申请(专利权)人：鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：内蒙古;15