过渡舱及真空蒸镀设备制造技术

本实用新型专利技术公开一种过渡舱及真空蒸镀设备，涉及真空蒸镀技术领域，以有效地除去过渡舱内壁上的杂质颗粒，降低基板蒸镀的不良率。所述过渡舱包括舱体以及设置在舱体内的充气管，还包括固定于所述舱体的侧壁的电动机，所述电动机与所述充气管的一端连接，所述电动机驱动所述充气管绕自身轴向旋转。所述真空蒸镀设备包括上述技术方案所提的过渡舱。本实用新型专利技术提供的过渡舱及真空蒸镀设备用于显示基板的制造。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术公开一种过渡舱及真空蒸镀设备，涉及真空蒸镀
，以有效地除去过渡舱内壁上的杂质颗粒，降低基板蒸镀的不良率。所述过渡舱包括舱体以及设置在舱体内的充气管，还包括固定于所述舱体的侧壁的电动机，所述电动机与所述充气管的一端连接，所述电动机驱动所述充气管绕自身轴向旋转。所述真空蒸镀设备包括上述技术方案所提的过渡舱。本技术提供的过渡舱及真空蒸镀设备用于显示基板的制造。【专利说明】过渡舱及真空蒸镀设备
本技术涉及真空蒸镀
，尤其涉及一种过渡舱及真空蒸镀设备。
技术介绍
在真空蒸镀设备的过渡舱(1adlack)的舱体中通常设有充气管，该充气管用于对过渡舱的舱体进行充气(vent)或吹扫(purge)。现有技术的充气管通常为圆筒状，其一端或两端通过进气管与充气设备连通，且充气管的整个筒壁上设置有多个气孔。在对过渡舱的舱体进行充气时，充气设备通过进气管向充气管内通入氮气等气体，这些气体通过气孔进入舱体内；在对上述舱体进行吹扫时，充气设备通过进气管向充气管内通入氮气等气体，这些气体通过气孔形成气流，吹扫舱体的内壁，除去内壁上附着的杂质颗粒(particle)。然而，由于部分杂质颗粒与过渡舱的舱体的内壁的粘结十分紧密，致使上述吹扫过程无法有效地除去上述杂质颗粒，而这些没有除去的杂质颗粒进入真空蒸镀室内，导致基板蒸镀的不良率升高。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种过渡舱及真空蒸镀设备，以有效地除去过渡舱内壁上的杂质颗粒，降低基板蒸镀的不良率。为了实现上述目的，本技术提供如下技术方案:第一方面，一种过渡舱，包括舱体以及设置在所述舱体内的充气管，该过渡舱还包括固定于所述舱体的侧壁的电动机，所述电动机与所述充气管的一端连接，所述电动机驱动所述充气管绕自身轴向旋转。此外，所述过渡舱还包括进气管，所述进气管的一端通过旋转接头与所述舱体内的所述充气管连通;所述进气管的另一端穿过所述舱体的侧壁，与舱体之外的充气设备连通。充气管的气孔的具体设置方式如下:所述充气管的筒壁包括两个半圆筒状的区域，其中一个半圆筒状的区域内设有多个第一气孔。关于该第一气孔的形状，其在内筒壁处的孔径小于在外筒壁处的孔径。具体地，所述第一气孔的形状可为圆台，根据该圆台所确定的圆锥的锥角的范围为120°?140°，优选为130。ο所述充气管的两端分别设置有第二气孔，所述第二气孔分布在所述充气管的筒壁的整个周向上。关于该第二气孔的形状，其在内筒壁处的孔径小于在外筒壁处的孔径。具体地，所述第二气孔的形状可为圆台，且根据该圆台所确定的圆锥的锥角的范围为110°?130°，优选为120°。优选地，过渡舱还包括控制元件，所述控制元件与所述电动机连接，用于启动或停止所述电动机、以及控制所述电动机的转速。在本技术提供的过渡舱中，充气管与设置在舱体的侧壁上的电动机连接，电动机驱动充气管绕自身轴向旋转。从而，在对舱体的内壁进行清理时，在旋转的充气管的作用下，上述气流以与内壁之间存在一定的倾斜角度的方向对舱体的内壁进行吹扫。而现有技术中充气管不旋转，从充气管喷出的气流的流向垂直指向过渡舱的舱体内壁，从而杂质颗粒的受力方向垂直指向舱体侧壁，导致杂质颗粒与舱体内壁粘合的更牢固而更难以除去。因此，与现有技术相比，本技术能够更有效地除去过渡舱的侧壁上的杂质颗粒。第二方面，本技术还提供了一种真空蒸镀设备，包括上述任一项技术方案所述的过渡舱。相对于现有技术，本技术所提供的真空蒸镀设备与上述技术方案所提供的过渡舱所具有的有益效果相同，此处不再赘述。【附图说明】此处所说明的附图用来提供对本技术的进一步理解，构成本技术的一部分，本技术的示意性实施例及其说明用于解释本技术，并不构成对本技术的不当限定。在附图中:图1为本技术实施例所提供的过渡舱的剖面示意图。附图标记:10-舱体， 20-充气管，21-第一气孔，22-第二气孔，30-电动机 40-进气管。【具体实施方式】为了进一步说明本技术实施例提供的过渡舱及真空蒸镀设备，下面结合说明书附图进行详细描述。本技术实施例提供一种用于真空蒸镀设备中的过渡舱，具体地，真空蒸镀设备用于显示基板的制作，其能够在真空环境中将材料加热并镀到玻璃基板上形成功能层(即真空蒸镀)。进而通过图案化工艺等后续工艺对形成的功能层进行蚀刻，即可在玻璃基板上形成需要的部件，以实现显示功能。由于上述真空蒸镀必须在真空蒸镀室中进行，因此，为避免在取放玻璃基板的过程中破坏真空蒸镀室内的真空环境，真空蒸镀设备通常还包括过渡舱，该过渡舱包括舱体10，舱体10的一端通过第一密封阀门(未图示)与真空蒸镀室连通，另一端通过第二密封阀门(未图示)与外界环境连通，并且，舱体10还与真空栗连通，真空栗用于抽出或排放舱体10中的空气。在需要向真空蒸镀室送入工具或待加工的玻璃基板等时，将第一密封阀门关闭；接着将第二密封阀门打开，将玻璃基板或工具送入;而后将第二的密封阀门关闭，启动与过渡舱连通的真空栗，将过渡舱内的气体抽出，使过渡舱的舱体10内变为真空;然后打开第一密封阀门，将玻璃基板或工具等送入真空蒸镀室;最后关闭第一密封阀门。在需要取出工具或加工完毕的玻璃基板等时，参照上述过程逆向进行。从而在玻璃基板等出入真空蒸镀室时，通过过渡舱的设置确保真空蒸镀室保持真空环境。如图1所示，过渡舱的舱体10内设有充气管20，充气管20上设有气孔，该充气管20与真空蒸镀室之外的充气设备连通，能够实现如下两个作用:作用一，避免玻璃基板冷却过快导致玻璃基板上已形成的膜层脱落。具体地，在将蒸镀完毕的玻璃基板等从真空蒸镀室取出的情况下，在该玻璃基板从真空蒸镀室进入过渡舱后，需要关闭第一密封阀门并向舱体10内通入气体，以使舱体10内与外界气压平衡，同时对过渡舱内的玻璃基板进行冷却。与直接将气体充入过渡舱内相比，气体通过充气管20上的气孔进入过渡舱内需要的时间较长，从而使过渡舱内的气压与大气压平衡的时间较长，这降低了玻璃基板通过热传导向周围气体释放热量的速度，进而降低了玻璃基板的冷却速度，避免玻璃基板上的膜层脱落。作用二，清理过渡舱以减少由过渡舱进入真空蒸镀室的杂质颗粒。由于过渡舱与真空蒸镀室及外界大气连通，因此，过渡舱的内壁上经常附着各类杂质颗粒，因此需要经常对过渡舱进行清理，防止杂质颗粒进入真空蒸镀室造成玻璃基板镀膜不良。为此，可向充气管20内通入具有一定压强的气体，该气体通过气孔从充气管20喷出，对过渡舱的内壁进行吹扫，使过渡舱内壁上的杂质颗粒脱落，进而将其除去。并且，在本技术实施例中，过渡舱配设有电动机30，该电动机30连接充气管20的一端，且电动机30的转轴平行于充气管20的中轴线，该电动机30驱动充气管20绕自身轴向旋转。因此，在对本技术实施例提供的过渡舱进行清理时，在旋转的充气管20的作用下，从充气管20中喷出的气流的流向与舱体10的侧壁之间存在一定的倾斜角度，因此气流对杂质颗粒的作用力可分解为垂直于舱体10的侧壁的第一分量和平行于舱体10的侧壁的第二分量，在该第二分量的作用下，侧壁上的杂质颗粒更容易从过渡舱的侧壁上脱落。而在现有技术中，充气管20不旋转，因而从充气管20流出的气流的流向正对过渡舱的侧壁，本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种过渡舱，包括舱体以及设置在所述舱体内的充气管，该过渡舱的特征在于，还包括固定于所述舱体的侧壁的电动机，所述电动机与所述充气管的一端连接，所述电动机驱动所述充气管绕自身轴向旋转。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：苏清双，
申请(专利权)人：鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：内蒙古;15