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本实用新型公开一种过渡舱及真空蒸镀设备，涉及真空蒸镀技术领域，以有效地除去过渡舱内壁上的杂质颗粒，降低基板蒸镀的不良率。所述过渡舱包括舱体以及设置在舱体内的充气管，还包括固定于所述舱体的侧壁的电动机，所述电动机与所述充气管的一端连接，所述电...该专利属于鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司;京东方科技集团股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司;京东方科技集团股份有限公司授权不得商用。