一种金属蒸镀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及蒸镀技术领域，特别涉及一种金属蒸镀装置。该金属蒸镀装置包括蒸镀腔体和至少一个坩埚，还包括填料腔体、填料机构、安装于蒸镀腔室内的第一滑轨、安装于填料腔室内的第二滑轨和储料机构；填料腔室与蒸镀腔室之间通过连通通道连接；填料机构包括基座和蒸镀材料取放装置，基座可沿第一滑轨的延伸方向和第二滑轨的延伸方向滑动以调节蒸镀材料取放装置的位置，蒸镀材料取放装置用于从储料机构中取得储存的蒸镀材料、且将从储料机构中取得的蒸镀材料填充到坩埚中。该金属蒸镀装置能够连续生产、节约生产时间、提高生产效率和蒸镀质量。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】本技术涉及蒸镀
，特别涉及一种金属蒸镀装置。该金属蒸镀装置包括蒸镀腔体和至少一个坩埚，还包括填料腔体、填料机构、安装于蒸镀腔室内的第一滑轨、安装于填料腔室内的第二滑轨和储料机构；填料腔室与蒸镀腔室之间通过连通通道连接；填料机构包括基座和蒸镀材料取放装置，基座可沿第一滑轨的延伸方向和第二滑轨的延伸方向滑动以调节蒸镀材料取放装置的位置，蒸镀材料取放装置用于从储料机构中取得储存的蒸镀材料、且将从储料机构中取得的蒸镀材料填充到坩埚中。该金属蒸镀装置能够连续生产、节约生产时间、提高生产效率和蒸镀质量。【专利说明】一种金属蒸镀装置
本技术涉及蒸镀
，特别涉及一种金属蒸镀装置。
技术介绍
目前，在一般的金属蒸镀装置中，随着蒸镀过程的进行，坩祸中的蒸镀材料会逐渐减少，直至材料使用完成，此时必须将蒸镀过程停止，将蒸镀腔室打开，进行人为的蒸镀材料填充动作。众所周知，金属蒸镀装置由大气状态恢复至可以进行金属材料蒸镀的真空状态需要较长的时间，造成生产中断、浪费生产时间的问题。同时，蒸镀腔室的多次开关会使得蒸镀腔室内部吸附的水分、氧气等影响金属蒸镀成膜品质的其他杂质气体增多，影响蒸镀质量，尤其是蒸镀镁、银等活性较高的金属材料时，要求水氧含量要尽可能的少。因此，提供一种能够连续生产、节约生产时间、提高生产效率和蒸镀质量的金属蒸镀装置成为蒸镀行业急需解决的技术问题。
技术实现思路
本技术提供了一种金属蒸镀装置，该金属蒸镀装置能够连续生产、节约生产时间，进而提高生产效率和蒸镀质量。为达到上述目的，本技术提供以下技术方案:—种金属蒸镀装置，包括具有蒸镀腔室的蒸镀腔体和安装于所述蒸镀腔室的至少一个樹祸;还包括:具有填料腔室的填料腔体，所述填料腔室与蒸镀腔室之间通过连通通道连接；安装于所述蒸镀腔室内的第一滑轨；安装于所述填料腔室内的第二滑轨和储料机构，所述储料机构用于储存蒸镀材料；填料机构，所述填料机构包括基座和安装于所述基座的蒸镀材料取放装置，所述基座可沿所述第一滑轨的延伸方向和所述第二滑轨的延伸方向滑动以调节所述蒸镀材料取放装置的位置，所述蒸镀材料取放装置用于从所述储料机构中取得储存的蒸镀材料、且将从所述储料机构中取得的所述蒸镀材料填充到所述坩祸中。上述金属蒸镀装置在蒸镀过程中，坩祸中的蒸镀材料减少到预定数量后，通过填料机构将储料机构中储存的蒸镀材料转移到坩祸中，并且在通过填料机构向坩祸中添加蒸镀材料的过程中，可使蒸镀持续进行，直至储料机构中储存的蒸镀材料以及坩祸中的蒸镀材料用尽，因此，该金属蒸镀装置能够进行连续蒸镀。上述金属蒸镀装置在增设的填料腔室中设有储存蒸镀材料的储料机构，填料腔室和蒸镀腔室通过连通通道连接，通过第一滑轨和第二滑轨使填料机构在蒸镀腔室和填料腔室之间往复移动，以便通过填料机构的蒸镀材料取放装置将储料机构中储存的蒸镀材料转移到坩祸中；由于储料机构一次能够储存较多的蒸镀材料，因此，储料机构中储存的蒸镀材料可供坩祸在蒸镀过程多次使用，使金属蒸镀装置能够进行连续蒸镀，不会因为坩祸中蒸镀材料的用尽而中断生产，同时，由于能够连续蒸镀，减少了蒸镀腔室的开关次数，进而减少了对蒸镀腔室多次抽真空所浪费的时间，还可减少蒸镀腔室内部吸附的水分、氧气等影响金属蒸镀成膜品质的其他杂质气体，使蒸镀质量提高。因此，上述金属蒸镀装置够连续生产、节约生产时间、提高生产效率和蒸镀质量。优选地，所述连通通道为可开闭的连通通道，当所述连通通道处于开启状态时，所述填料腔室与蒸镀腔室之间连通，并且当所述连通通道处于闭合状态时，所述填料腔室与蒸镀腔室之间相互隔离。由于上述金属蒸镀装置在填料腔室与蒸镀腔室之间连接有可开闭的连通通道，因此，在金属蒸镀装置进行蒸镀的过程中，可使填料腔室与蒸镀腔室之间的连通通道处于闭合状态，一方面可以将蒸镀腔室中的蒸镀金属保留在蒸镀腔室中，防止蒸镀金属进入填料腔室，另一方面还可以将填料腔室内的水分、氧气等影响金属蒸镀成膜品质的其他杂质气体隔离在蒸镀腔室外，因此，该金属蒸镀装置还能节约蒸镀金属、改善蒸镀腔室的蒸镀环境，进而降低生产成本、提高生产效率和蒸镀质量。同时，由于在填料腔室与蒸镀腔室之间连接有可开闭的连通通道，可以在储料机构需要补充蒸镀材料的时候，关闭填料腔室与蒸镀腔室之间的连通通道，在不影响蒸镀生产的同时，还可以为储料机构补充蒸镀材料，此时，储料机构中的蒸镀材料可以随时得到补充，进而坩祸中的蒸镀材料也会得到源源不断地供给，因此，该金属蒸镀装置可以实现真正的连续生产，进一步减少蒸镀腔室的开关次数、减少对蒸镀腔室抽真空所浪费的时间，进而节约生产时间、提高生产效率和蒸镀质量。优选地，所述蒸镀材料取放装置包括连接臂，所述连接臂的一端安装于所述基座，且另一端设有用于取放蒸镀材料的取放料斗。优选地，所述连接臂为伸缩臂。优选地，所述连接臂的一端通过第一转轴安装于所述基座，且所述连接臂可相对于所述基座绕所述第一转轴的轴心线旋转、以使所述连接臂的另一端在水平面内位置可调。优选地，所述取放料斗具有可开闭的底板，当所述底板处于开启状态时，所述取放料斗中的蒸镀材料在重力的作用下自动卸载；当所述底板处于关闭状态时，所述取放料斗用作保存蒸镀材料的容器。优选地，所述储料机构包括储料盘，所述储料盘形成有多个储料槽。优选地，在所述填料腔室内安装有第二转轴，所述储料盘可相对于所述第二转轴的轴心线转动地安装于所述第二转轴，多个所述储料槽沿所述第二转轴的轴心线周向分布;所述填料腔室内形成所述填料机构的取料工位；当所述填料机构处于取料工位时，所述储料盘中的任意一个所述储料槽均可旋转至与所述取放料斗沿竖直方向对齐的位置，且当每一个所述储料槽旋转至与所述取放料斗沿竖直方向对齐时，所述储料槽位于所述取放料斗的上方、且将所述储料槽中的蒸镀材料转移到所述取放料斗中。优选地，在每一个储料槽的底部设置有卸放蒸镀材料的卸料开口，且所述储料槽上设有用于开闭所述卸料开口的封闭机构。优选地，在所述第二转轴上安装有与所述第二转轴相对固定的底盘;所述底盘上设置有卸料通孔，当所述填料机构处于取料工位时，所述卸料通孔与取放料斗的上部进料口沿竖直方向对齐，且当每一个所述储料槽旋转至与所述取放料斗沿竖直方向对齐时，所述储料槽位于所述取放料斗的上方、且所述储料槽中的蒸镀材料通过所述卸料通孔转移到所述取放料斗中。优选地，多个所述储料槽为由动密封配合在所述底盘上的两个环形挡板以及固定连接在两个环形挡板之间的多个隔板构成的多个储料槽。优选地，在所述填料腔体上设置有与所述储料机构位置相对应的手动填料开口和用于开闭所述手动填料开口的手动填料门。优选地，还包括与所述蒸镀腔室连通的第一抽真空装置和与所述填料腔室连通的第二抽真空装置。优选地，所述连通通道通过控制机构的控制进行开合状态的转换。优选地，所述控制机构为大型阀门。【附图说明】图1为本技术一种实施例提供的金属蒸镀装置的结构示意图；图2为本技术一种实施例提供的金属蒸镀装置的储料机构和填料机构的工作原理示意图；图3为本技术一种实施例提供的金属蒸镀装置的填料机构将蒸镀材料添加到坩祸中的工作原理示意图。【具体实施方式】下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种金属蒸镀装置，包括具有蒸镀腔室的蒸镀腔体和安装于所述蒸镀腔室的至少一个坩埚；其特征在于，还包括：具有填料腔室的填料腔体，所述填料腔室与蒸镀腔室之间通过连通通道连接；安装于所述蒸镀腔室内的第一滑轨；安装于所述填料腔室内的第二滑轨和储料机构，所述储料机构用于储存蒸镀材料；填料机构，所述填料机构包括基座和安装于所述基座的蒸镀材料取放装置，所述基座可沿所述第一滑轨的延伸方向和所述第二滑轨的延伸方向滑动以调节所述蒸镀材料取放装置的位置，所述蒸镀材料取放装置用于从所述储料机构中取得储存的蒸镀材料、且将从所述储料机构中取得的所述蒸镀材料填充到所述坩埚中。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：姚固，邹清华，王玉，曾苏伟，
申请(专利权)人：合肥鑫晟光电科技有限公司，京东方科技集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34