干式蚀刻用腔内部件的制造方法技术

本发明专利技术提供一种干式蚀刻用腔内部件的制造方法，通过能够简便地实施的热喷涂法，能够在干式蚀刻用腔内部件上形成气孔率小且耐腐蚀性高的热喷涂涂层。利用由等离子体热喷涂在使用于干式蚀刻用腔内的部件上形成氧化钇涂层的方法解决上述技术课题。使用氢气以及氩气作为工作气体、将氩气的流量设为60～75升/分、以氩气/氢气的流量的体积比为6～8的方式向等离子体热喷涂机供给氩气以及氢气、使氩气相对于氢气的流量增加，由此使等离子体射流的速度上升且使等离子体射流的温度降低，对该等离子体射流投入作为原料粉末的粒径为10～20μm的氧化钇微粉末，向所述部件的表面热喷涂含有熔融的氧化钇微粉末的等离子体射流。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种干式蚀刻用腔内部件的制造方法，通过等离子体热喷涂在使用于干式蚀刻用腔内的部件上形成氧化钇涂层，其特征在于，使用氢气及氩气作为工作气体；将氩气的流量设为60～75升/分、以氩气/氢气的流量的体积比为6～8的方式向等离子体热喷涂机供给氩气以及氢气、使氩气相对于氢气的流量增加，由此使等离子体射流的速度上升且使等离子体射流的温度降低；对该等离子体射流投入作为原料粉末的粒径为10～20μm的氧化钇微粉末；通过向所述部件的表面热喷涂含有熔融的氧化钇微粉末的等离子体射流而形成氧化钇涂层。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：峪田宜明，曾珍素，佐古纱雅香，
申请(专利权)人：仓敷博林固机工株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP