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本发明提供一种干式蚀刻用腔内部件的制造方法，通过能够简便地实施的热喷涂法，能够在干式蚀刻用腔内部件上形成气孔率小且耐腐蚀性高的热喷涂涂层。利用由等离子体热喷涂在使用于干式蚀刻用腔内的部件上形成氧化钇涂层的方法解决上述技术课题。使用氢气以及氩...
该专利属于仓敷博林固机工株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过仓敷博林固机工株式会社授权不得商用。

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