本实用新型专利技术公开了一种直写式光刻设备中的高精密重载扫描台，包括安装底座和扫描台面，所述扫描台面两侧分别设置有纵滑块，所述安装底座上设置有与纵滑块一一对应的纵滑轨，所述扫描台面的底面为倾斜面，扫描台面的底面上设置有若干斜滑轨，安装底座的上平面上设置有若干横滑轨，扫描台面和安装底座之间设置有一个楔形滑块，该楔形滑块的上端面上设置有与各个斜滑轨相配合的斜滑槽，楔形滑块的底面设置有与各个横滑轨相配合的横滑槽，所述安装底座上还设置有一套连接楔形滑块的驱动装置，该驱动装置驱动楔形滑块沿横滑轨来回滑动，楔形滑块通过与斜滑轨滑动配合的斜滑槽带动扫描台面沿纵滑轨上下滑动，实现了扫描台面可升降的技术效果。
【技术实现步骤摘要】
本技术属于光刻
，涉及一种直写式光刻设备中的高精密重载扫描台O
技术介绍
在常规的直写式曝光设备中，扫描台不具备升降功能，在曝光不同厚度的PCB板时，需要制作不同厚度的精密垫板，将垫板垫在扫描台面上，以满足这样即浪费制作成本，也浪费操作时间。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题是:提供一种直写式光刻设备中的高精密重载扫描台，该扫描台的扫描台面可升降。本技术进一步要解决的技术问题是:提供一种直写式光刻设备中的高精密重载扫描台，该扫描台在原驱动力不变的情况下，提高扫描台面的额定载重量。本技术更进一步要解决的技术问题是:提供一种直写式光刻设备中的高精密重载扫描台，该扫描台能够提高调节升降高度的精度。为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是:直写式光刻设备中的高精密重载扫描台，包括安装底座和设置在安装底座上的扫描台面，所述扫描台面相对的两侧分别竖向设置有至少一个纵滑块，所述安装底座上竖向设置有与纵滑块一一对应的纵滑轨，所述纵滑块上下滑动连接在纵滑轨上，所述扫描台面的底面为倾斜的平面，扫描台面的底面上沿从高到低的方向设置有若干斜滑轨，所述安装底座的上平面上设置有与斜滑轨平行的若干横滑轨，所述扫描台面和安装底座之间设置有一个上端面与扫描台面的底面平行的楔形滑块，该楔形滑块的上端面上设置有与各个斜滑轨相配合的斜滑槽，楔形滑块的底面设置有与各个横滑轨相配合的横滑槽，所述安装底座上还设置有一套驱动装置，该驱动装置与楔形滑块相连接，驱动楔形滑块沿横滑轨来回滑动。所述斜滑轨与水平面的夹角在20度到45度之间。所述驱动装置包括平行于横滑轨的丝杠，固定连接在楔形滑块上且与丝杠相旋接的滚珠螺母，以及连接丝杠一端的伺服电机，所述伺服电机固定安装在安装底座上。所述楔形滑块上设置有一平行于横滑轨的通孔，所述丝杠穿过通孔，旋接在丝杠上的滚珠螺母固定连接在通孔的一端。所述扫描台面为矩形，扫描台面相对的两侧分别竖向设置有两个纵滑块，且位于同一侧的两个纵滑块分别固定安装在该侧的横向两端。所述纵滑块上设置有与纵滑轨相配合的卡槽。所述楔形滑块包括一个上端面与扫描台面的底面平行的斜块，斜块的上端面上固定连接有若干与斜滑轨一一对应的斜滑块，所述斜滑槽设置在斜滑块的上端面上；斜块的底面固定连接有若干与横滑轨一一对应的横滑块，所述横滑槽设置在横滑块的底面上。本技术的有益效果是:通过驱动装置10驱动楔形滑块7沿横滑轨6来回滑动，楔形滑块7通过与斜滑轨5滑动配合的斜滑槽8带动扫描台面沿纵滑轨4上下滑动，实现了扫描台面2可升降的技术效果；通过楔形滑块7将扫描台面2传递下来的力分解成一个横向力和一个纵向力，从而减小了驱动装置10受到的力，反之，在原驱动力不变的情况下，提高了扫描台面的额定载重量；通过将斜滑轨5与水平面的夹角设置成小于45度，根据勾股定理，楔形滑块7横向滑移距离大于扫描台面2的纵向滑移距离，从而提高扫描台面2的调节升降高度的精度。【附图说明】图1是本技术的结构示意图；图2是图1中的A-A剖视图；图3是图1中的B-B剖视图；图4是图1中的7号件立体结构示意视图。图1?图4中:1、安装底座，2、扫描台面，3、纵滑块，4、纵滑轨，5、斜滑轨，6、横滑轨，7、楔形滑块，8、斜滑槽，9、横滑槽，10、驱动装置，11、丝杠，12、滚珠螺母，13、伺服电机，14、通孔，15、卡槽，16、斜块，17、斜滑块，18、横滑块。【具体实施方式】 下面结合附图，详细描述本技术的具体实施方案。如图1所示的直写式光刻设备中的高精密重载扫描台，包括安装底座I和设置在安装底座I上的扫描台面2，其特征在于，所述扫描台面2相对的两侧分别竖向设置有至少一个纵滑块3，所述安装底座I上竖向设置有与纵滑块3 —一对应的纵滑轨4，所述纵滑块3上下滑动连接在纵滑轨4上，所述扫描台面2的底面为倾斜的平面，扫描台面2的底面上沿从高到低的方向设置有若干斜滑轨5，所述安装底座I的上平面上设置有与斜滑轨5平行的若干横滑轨6，所述扫描台面2和安装底座I之间设置有一个上端面与扫描台面2的底面平行的楔形滑块7，该楔形滑块7的上端面上设置有与各个斜滑轨5相配合的斜滑槽8，楔形滑块7的底面设置有与各个横滑轨6相配合的横滑槽9，所述安装底座I上还设置有一套驱动装置10，该驱动装置10与楔形滑块7相连接，驱动楔形滑块7沿横滑轨6来回滑动。驱动装置10驱动楔形滑块7沿横滑轨6来回滑动，楔形滑块7通过与斜滑轨5滑动配合的斜滑槽8带动扫描台面沿纵滑轨4上下滑动，实现了扫描台面2可升降的技术效果，同时，楔形滑块7将扫描台面2传递下来的力分解成一个横向力和一个纵向力，从而减小了驱动装置10受到的力，相对来说，在原驱动力不变的情况下，提高了扫描台面的额定载重量。所述斜滑轨5与水平面的夹角在20度到45度之间。根据勾股定理，当斜滑轨5与水平面的夹角小于45度时，楔形滑块7横向滑移距离大于扫描台面2的纵向滑移距离，从而提尚扫描台面2的调节升降尚度的精度。所述驱动装置10包括平行于横滑轨6的丝杠11，固定连接在楔形滑块7上且与丝杠11相旋接的滚珠螺母12，以及连接丝杠11 一端的伺服电机13，所述伺服电机13固定安装在安装底座I上。丝杠11和滚珠螺母12的传动方式精度高，噪音当前第1页1 2 本文档来自技高网...
【技术保护点】
直写式光刻设备中的高精密重载扫描台，包括安装底座(1)和设置在安装底座(1)上的扫描台面(2)，其特征在于，所述扫描台面(2)相对的两侧分别竖向设置有至少一个纵滑块(3)，所述安装底座(1)上竖向设置有与纵滑块(3)一一对应的纵滑轨(4)，所述纵滑块(3)上下滑动连接在纵滑轨(4)上，所述扫描台面(2)的底面为倾斜的平面，扫描台面(2)的底面上沿从高到低的方向设置有若干斜滑轨(5)，所述安装底座(1)的上平面上设置有与斜滑轨(5)平行的若干横滑轨(6)，所述扫描台面(2)和安装底座(1)之间设置有一个上端面与扫描台面(2)的底面平行的楔形滑块(7)，该楔形滑块(7)的上端面上设置有与各个斜滑轨(5)相配合的斜滑槽(8)，楔形滑块(7)的底面设置有与各个横滑轨(6)相配合的横滑槽(9)，所述安装底座(1)上还设置有一套驱动装置(10)，该驱动装置(10)与楔形滑块(7)相连接，驱动楔形滑块(7)沿横滑轨(6)来回滑动。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：王友车，张国龙，朱亮，薛业保，吴斌，成超，
申请(专利权)人：苏州微影光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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