【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种用于铜层/钛层的蚀刻溶液组合物,包括:重量百分比为5%到20%的过硫酸盐;重量百分比为0.01%到2%的氟化合物;重量百分比为0.001%到3%的氯化合物;重量百分比为1%到10%的无机酸、该无机酸的盐或其混合物;重量百分比为0.3%到5%的环胺化合物;重量百分比为1%到10%的有机酸、该有机酸的盐或其混合物;重量百分比为0.1%到5%的对甲苯磺酸;以及形成所述组合物的余量的水。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:尹暎晋,刘仁浩,金童基,
申请(专利权)人:东友精细化工有限公司,
类型:发明
国别省市:
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