微型机器和其制造方法技术

本发明专利技术公开一种用于具有高Ｑ值和高频带的高频滤波器的微型机器（２０）。在微型机器（２０）中包括：设置在基片（４）上的输入电极（７ｂ）、输出电极（７ａ）和支持电极（７ｃ）；以及带状振动电极（１５），在穿过支持电极（７ｃ）将振动电极（１５）的两端部分支撑在输入电极（７ｂ）和基片（４）上的状态下，通过穿过间隙部分（Ａ）将梁（振动部分）１６铺设在输出电极（７ａ）的上部形成振动电极（１５），其中在从端部至梁（１６）的整个表面范围上，振动电极（１５）的两端部分被完全地固定于所述输入电极（７ｂ）和支持电极（７ｃ）。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种微型机器及其制造方法，具体地说，本专利技术涉及一种微型机器，其中一振动电极设置成跨过输出电极，在输出电极和振动电极之间存在一定空间，以及涉及这种机器的制造方法。
技术介绍
随着在基片上的显微制造技术的进步，微型机器技术正在引起人们的注意，该技术形成微型结构、电极、半导体电路等，用于控制在诸如硅基片、玻璃基片等基片上的微型结构的驱动。其中一种微型机器是在无线电通讯中用作高频滤波器的微型振动器。如图11所示，微型振动器100通过将振动电极103设置在被配置于基片101上的输出电极102a的上方而形成，在输出电极102a和振动电极103之间形成空间A。振动电极103的一端与由和输出电极102a相同的导电层所形成的输入电极102b相连。当向输入电极102b施加特定频率的电压时，设置在输出电极102a上方、具有输出电极102a和振动电极103之间所形成空间A的振动电极103的梁(振动部分)103a振动，从而，由输出电极102a和梁(振动部分)103a之间空间A所形成的电容量改变，并从输出电极102a输出。与使用表面声波和薄膜弹性波的高频滤波器相比，包括由此形成的微型振动器本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微型机器包括：设置在基片上的一输入电极和一输出电极；通过将振动部分铺设在所述输出电极的上，在所述输出电极和所述振动电极之间设置一空间部分，所述振动电极的两端部分支撑在所述输入电极和所述基片上所形成的振动电极；其特 征在于，从每个端部的边缘至所述振动部分的所述振动电极的每个端部部分的整个表面完全固定在所述输入电极和所述基片上。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：多田正裕，木下隆，谷口武士，池田浩一，
申请(专利权)人：索尼株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]