ＭＥＭＳ振子及其制造方法技术

本发明专利技术的课题是通过防止ＭＥＭＳ结构体部分的侧壁状的蚀刻残留物来提供可靠性高的ＭＥＭＳ振子及其制造方法。作为解决手段，本发明专利技术的ＭＥＭＳ振子包括：基板（１０）；固定电极（１２），其形成于基板（１０）上；以及可动电极（１４），其与固定电极（１２）对置配置，通过作用于该可动电极（１４）与固定电极（１２）之间的缝隙（２８）上的静电引力或静电斥力进行驱动，可动电极（１４）在与固定电极（１２）对置的可动电极（１４）的支撑梁（２４）的内侧面具有倾斜面（４０）。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种ＭＥＭＳ振子，所述ＭＥＭＳ振子包括：基板；固定电极，其形成于所述基板上；以及可动电极，其与所述固定电极对置配置，通过作用于该可动电极与所述固定电极之间的缝隙上的静电引力或静电斥力进行驱动，所述可动电极在与所述固定电极对置的所述可动电极的支撑梁的内侧面具有倾斜面。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：稻叶正吾，佐藤彰，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]