下载微型机器和其制造方法的技术资料

文档序号:1323563

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本发明公开一种用于具有高Q值和高频带的高频滤波器的微型机器(20)。在微型机器(20)中包括:设置在基片(4)上的输入电极(7b)、输出电极(7a)和支持电极(7c);以及带状振动电极(15),在穿过支持电极(7c)将振动电极(15)的两端...
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