OLED蒸镀设备和OLED器件的有机发光层制备工艺制造技术

本发明专利技术公开了一种OLED蒸镀设备和OLED器件的有机发光层制备工艺，其OLED蒸镀设备包括蒸镀工艺室；蒸镀工艺室内设置有蒸镀腔和基台；蒸镀腔与基台相对设置，且能够相对移动；基台，用于固定基板；蒸镀腔，用于放置蒸镀材料；蒸镀腔朝向基板方向的侧壁设置有开口；开口的尺寸小于或等于120μm。其通过将蒸镀腔的开口的尺寸设计为小于或等于120μm，实现了有机发光材料的点打印式蒸镀，不需要再采用掩模板，因而也就避免了由于掩模板的变形导致所制备的有机发光层发生混色的现象，最终有效解决了采用传统的蒸镀工艺制备基板尺寸较大的OLED器件的有机发光层时，容易导致有机发光层发生混色从而影响OLED器件的性能的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及显示装置制备领域，特别是涉及一种蒸镀设备和OLED器件的有机发光层制备工艺。
技术介绍
目前，OLED(有机发光二极管又称有机电致发光显示，OrganicLight-EmittingDiode)器件中的有机发光层进行制备时，通常采用真空蒸镀技术。即以FMM(Fine-Metal-Mask，高精细金属掩模板)为主，在真空环境下将有机材料(如：R，G，B三基色有机发光材料)蒸镀到基板上。当所制备的OLED器件的基板尺寸较大时，其采用的掩模板的尺寸相应也要增大。而尺寸过大的掩模板由于自身重力的增大以及受热膨胀等原因，很容易发生变形，从而影响掩模板与基板的对位精度，导致所制备的有机发光层发生混色的现象，最终影响了OLED器件的性能。
技术实现思路
基于此，有必要针对采用传统的蒸镀工艺制备基板尺寸较大的OLED器件的有机发光层时，容易导致有机发光层发生混色从而影响OLED器件的性能的问题，提供一种蒸镀设备和OLED器件的有机发光层制备工艺。为实现本专利技术目的提供的一种蒸镀设备，包括蒸镀工艺室；所述蒸镀工艺室内设置有蒸镀腔和基台；所述蒸镀腔与所述基台相对设置，且能够相对移动；所述基台，用于固定基板；所述蒸镀腔，用于放置蒸镀材料；所述蒸镀腔朝向所述基板方向的侧壁设置有开口；所述开口的尺寸为微米量级。在其中一个实施例中，所述开口的尺寸小于或等于120μm。在其中一个实施例中，所述开口的个数为多个。在其中一个实施例中，多个所述开口呈行列式排布。在其中一个实施例中，所述开口的形状和大小完全相同。在其中一个实施例中，所述蒸镀腔的个数为多个；且多个所述蒸镀腔依次排列设置在所述蒸镀工艺室内。在其中一个实施例中，所述基台固定安装在所述蒸镀工艺室的顶端；所述蒸镀腔安装在所述蒸镀工艺室的底部，并可沿所述蒸镀工艺室的底部滑动。在其中一个实施例中，所述蒸镀腔固定安装在所述蒸镀工艺室的底部；所述基台安装在所述蒸镀工艺室的顶部，并可沿所述蒸镀工艺室的顶部滑动。在其中一个实施例中，还包括材料储备室；所述材料储备室的一侧与所述蒸镀工艺室的一侧连接并连通；且所述蒸镀腔能够在所述材料储备室与所述蒸镀工艺室之间自由移动；所述材料储备室，用于储备所述蒸镀材料。相应的，本专利技术还提供了一种OLED器件的有机发光层制备工艺，采用上述任一种蒸镀设备，其包括如下步骤：将待蒸镀基板安装至所述蒸镀设备的基台上，并将蒸镀材料放置于所述蒸镀设备的蒸镀腔中；对所述蒸镀腔进行加热至预设温度后，移动所述基台或所述蒸镀腔，将所述蒸镀腔的开口对准所述待蒸镀基板的蒸镀位置后进行所述蒸镀材料的蒸镀。上述蒸镀设备的有益效果：其通过在蒸镀设备的蒸镀工艺室内设置能够相对移动的蒸镀腔和基台，并将蒸镀腔朝向基台方向的侧壁上所设置的开口的尺寸设计为微米量级，从而当对固定安装在基台上的基板进行有机发光材料的蒸镀时，只需将开口对准基板的蒸镀位置即可进行有机发光层的蒸镀。其实现了有机发光材料的点打印式蒸镀，不需要再采用掩模板，因而也就避免了由于掩模板的变形导致所制备的有机发光层发生混色的现象，提高了所制备的OLED器件的性能。最终有效解决了采用传统的蒸镀工艺制备基板尺寸较大的OLED器件的有机发光层时，容易导致有机发光层发生混色从而影响OLED器件的性能的问题。附图说明图1为本专利技术的蒸镀设备的实施例一的剖面结构示意图；图2为本专利技术的蒸镀设备的实施例二中的蒸镀腔的俯视图；图3为本专利技术的蒸镀设备的实施例三的剖面结构示意图；图4为本专利技术的蒸镀设备的实施例四的剖面结构示意图；图5为本专利技术的OLED器件的有机发光层制备工艺的一具体实施例的流程图；图6为采用本专利技术的蒸镀设备进行OLED器件的有机发光层制备过程中蒸镀材料添加时，蒸镀腔的状态示意图；图7为采用本专利技术的蒸镀设备进行OLED器件的有机发光层制备过程中进行蒸镀腔的加热时，蒸镀腔的状态示意图；图8为采用本专利技术的蒸镀设备进行OLED器件的有机发光层制备过程中进行蒸镀材料的蒸镀时，蒸镀腔的状态示意图。具体实施方式为使本专利技术技术方案更加清楚，以下结合附图及具体实施例对本专利技术作进一步详细说明。参见图1，作为本专利技术的蒸镀设备100的实施例一，其包括蒸镀工艺室110。其中，蒸镀工艺室110内设置有蒸镀腔111和基台112。蒸镀腔111，用于放置蒸镀材料300。基台112则用于固定放置基板200。并且，蒸镀腔111与基台112相对设置，并能够相对移动。同时，在蒸镀腔111朝向基板200方向的侧壁还设置有开口1110，该开口1110的尺寸为微米量级。由此，当进行OLED器件基板200上的有机发光层的制备时，只需通过移动蒸镀腔111或基台112，将设置为微米量级的开口1110对准基板200需要蒸镀的位置即可。也就是说，其通过将用于放置蒸镀材料300的蒸镀腔111与用于固定基板200的基台112设置为相对移动的状态，并将蒸镀腔111朝向基台112侧壁上的开口1110尺寸设置为微米量级，即，将蒸镀腔111的开口1110缩小为非常小的尺寸，如接近于或小于掩模板上的掩模孔的尺寸。从而采用蒸镀工艺进行OLED器件基板200上的有机发光层的制备时，只需将蒸镀腔111的开口1110对准基板200的蒸镀位置即可。其不需要再在基板200上粘贴掩模板，因而也就避免了由于掩模板变形导致有机发光层发生混色的现象，最终有效解决了采用传统的蒸镀工艺制备基板200尺寸较大的OLED器件的有机发光层时，容易导致有机发光层发生混色从而影响OLED器件的性能的问题。其中，应当说明的是，蒸镀腔111可通过采用坩埚来实现。并且，蒸镀腔111朝向基台112方向的侧壁上所开设的开口1110的尺寸应小于或等于120μm(微米)。优选的，开口1110的尺寸大于或等于40μm—120μm。即，该开口1110的大小接近或小于高精细金属掩模板上的掩膜孔的大小。从而使得直接通过蒸镀腔111的开口1110进行有机发光层的蒸镀时，仍然能够保证所蒸镀的有机发光层的性能。并且，优选的，该开口1110的大小应为一个像素点的大小，而通常一个像素点的大小为40μm。即，开口1110的大小优选为40μm。进一步的，参见图2，为了有效提高有机发光层的蒸镀效率，节省蒸镀时间，作为本专利技术的蒸镀设备100的实施例二，其在蒸镀腔111的侧壁上开设的开口1110的个数可为多个。从而当进本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种蒸镀设备，其特征在于，包括蒸镀工艺室；所述蒸镀工艺室内设置有蒸镀腔和基台；所述蒸镀腔与所述基台相对设置，且能够相对移动；所述基台，用于固定基板；所述蒸镀腔，用于放置蒸镀材料；所述蒸镀腔朝向所述基板方向的侧壁设置有开口；所述开口的尺寸为微米量级。

【技术特征摘要】
1.一种蒸镀设备，其特征在于，包括蒸镀工艺室；
所述蒸镀工艺室内设置有蒸镀腔和基台；
所述蒸镀腔与所述基台相对设置，且能够相对移动；
所述基台，用于固定基板；所述蒸镀腔，用于放置蒸镀材料；
所述蒸镀腔朝向所述基板方向的侧壁设置有开口；
所述开口的尺寸为微米量级。
2.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述开口的尺寸小于或
等于120μm。
3.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述开口的个数为多个。
4.根据权利要求3所述的蒸镀设备，其特征在于，多个所述开口呈行列式
排布。
5.根据权利要求3所述的蒸镀设备，其特征在于，所述开口的形状和大小
完全相同。
6.根据权利要求1所述的蒸镀设备，其特征在于，所述蒸镀腔的个数为多
个；且多个所述蒸镀腔依次排列设置在所述蒸镀工艺室内。
7.根据权利要求1至6任一项所述的蒸镀设备，其特征在于，所述基台固
定安装在所述蒸镀工艺室的顶端；
所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：党鹏乐，张秀玉，丁立薇，张小宝，姜海斌，朱晖，
申请(专利权)人：昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32