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本发明公开了一种OLED蒸镀设备和OLED器件的有机发光层制备工艺,其OLED蒸镀设备包括蒸镀工艺室;蒸镀工艺室内设置有蒸镀腔和基台;蒸镀腔与基台相对设置,且能够相对移动;基台,用于固定基板;蒸镀腔,用于放置蒸镀材料;蒸镀腔朝向基板方向的侧...该专利属于昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司授权不得商用。
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