一种机床双单向切割多晶硅棒的方法技术

本发明专利技术公开了一种机床双单向切割多晶硅棒的方法，涉及硅棒切割技术领域；步骤包括：更换新钢线，装硅棒，设定第一刀参数，设定第一刀运行方向，更换砂浆，设定第二刀运行参数和设定第二刀运行方向等，方法简单，容易操作，节约材料，节省成本，提高了工作效率，使现代工艺得到优化。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及硅棒切割
，特别是涉及一种机床双单向切割多晶硅棒的方法。
技术介绍
日本NTC-442DM切片机的切割方式一般分为3种，即双向切割、单向切割和反比例切割，其中反比例切割主要应用于二极管单晶圆棒切割，目前很少使用，常用的是前两种方式，双向切割即钢线运行方式为按照工艺设定的周期往复运行完成切割，新线使用为逐渐递进，此方式普遍应用于单晶切割。单向切割即钢线朝同一方向，在一定的线速下运行完成切割，一搬为每卷钢线切割一刀硅棒，主要应用于多晶切割和有特定要求的单晶切割。由于目前行业内多晶生产的现状，成品的多晶硅棒一般长度较短，切割硅片时要求使用单向切割工艺，每卷钢线只能切割一刀多晶硅棒，即新线切割一刀硅棒后就要更换，在此工艺下，加工多晶硅片时的钢线成本要高出单晶硅片近一倍，成本较高，工作效率也不高。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题是针对上述现有技术的不足，提供一种双单向切割多晶硅棒的方法，方法简单，容易操作，节约材料，节省成本，提高了工作效率，使现代工艺得到优化。为解决上述技术问题，本专利技术所采取的技术方案是：包括如下步骤：（1）更换新钢线，安装硅棒；（2）设定切割参数，并设定钢线运行周期为0，设定第一刀切割钢线运行方向；（3）更换砂浆；（4）切割第一刀；（5）第一刀切割完毕，清理；（6）进行第二刀切割：常规操作与第一刀一致，需调整的有三方面：将工作台进给速度降低，将进线张力调低，使钢线运行方向与第一刀切割钢线运行方向相反；更换砂浆，切割第二刀；以后往复进行。作为优选，设定切割参数，依次为工作台速度、钢线速度、新线进给量、砂浆温度设定、张力设定，砂浆流量。作为优选，第一刀切割钢线运行方向为由左至右，则第二刀切割钢线运行方向为由右至左。作为优选，张力设定，第一刀切割进线张力为18N，出线张力为10N；第二刀切割进线张力17N，出线张力10N。作为优选，第二刀切割时工作台进给速度降低，降低速度后用时较第一刀切割用时延长20分钟。作为优选，机床为NTC442DM机床，第二刀的反向切割操作是由操作工手动操作完成的。采用上述技术方案所产生的有益效果在于：本专利技术方法简单，操作方便，使用一卷钢线，单向连续切割两刀硅棒，第一刀和第二刀的交替进行，使得切割时材料能得到充分利用，节约材料，节省成本，满足并优化了现代工艺，提高了工作效率。具体实施方式下面结合具体实施方式对本专利技术作进一步详细的说明。以下为本专利技术一种机床双单向切割多晶硅棒的方法的一个实施例，包括如下步骤：（1）更换新钢线，安装上硅棒，降下工作台到硅棒接触线网时，将工作台位置清零；按需求及时更换钢线，可以保证切割工艺的质量；安装上准备好的两根硅棒，工作台下降至硅棒接触线网的位置时，按下工作台复位按钮，将工作台位置清零，保证工作台不受上一个切割工艺的影响，保证完整准确的完成切割任务；（2）设定切割参数，并设定钢线运行周期为0，设定第一刀切割钢线运行方向，打开钢线运行页面，有一钢线运行方向设定按钮，选择需要运行的方向，即完成了钢线运行方向设定；NTC442DM机床的运行是靠人为设定的，人为设定可以按照需求进行切割，能达到理想切割方式，满足人们的需求；由于是单向切割，因此，钢线运行周期设定为0，钢线只有新线进给量，没有钢线返回量；（3）更换砂浆，砂浆对切割工作中有降温的作用，及时更换砂浆可以保证降温效果，同时也保证了切割质量；（4）切割第一刀；（5）第一刀切割完毕取下后，完成清理工作，保证接下来工作顺利、高效、高质量的进行；（6）第二刀切割的常规操作与第一刀一致，需调整的有三方面，一是在参数设定页面，将工作台速度降低；二是在参数设定页面内，改变张力设定，将进线张力调低；三是在钢线运行页面，钢线运行方向与第一刀切割钢线运行方向相反；更换砂浆，切割第二刀；以后往复进行。第二刀切割时降低进线张力和延长切割时间，主要是因为，钢线在切割第一刀后，直径将会有8um左右的磨损，其破断拉力和抗拉强度都会有所降低，如果按照第一刀的速度和张力设定，势必会增加第二刀钢线的断线几率，因此做了降低进线张力和延长切割时间的调整；改变第二刀的钢线运行方向，不更换钢线，即用第一刀的旧线再反向切割一刀，完成双单向切割工艺。打开切割参数页面，按参数要求设定、检查切割工艺，依次为工作台速度、钢线速度、新线进给量、砂浆温度设定、张力设定，砂浆流量，参数的设定保证机床能按照人的意愿和需要工作。第一刀切割钢线运行方向为由左至右，则第二刀切割钢线运行方向为由右至左，第一刀和第二刀的交替进行，就是本专利技术所说的双单向切割；第二刀的反向切割操作是由操作工手动操作完成的，NTC442DM机床尚未实现自动转换；本方法改变了钢线只能单向使用一次的固定模式，开始一种新的切割方法，实现了双单向切割，钢线可以使用两次，节约了成本，节省了材料。张力设定，第一刀切割进线张力为18N，出线张力为10N；第二刀切割进线张力17N，出线张力10N，满足硅棒切割的要求，保证钢线不断损。第二刀切割时工作台进给速度降低，降低速度后用时较第一刀切割用时延长20分钟，保证钢线不断损。机床为NTC442DM机床，第二刀的反向切割操作是由操作工手动操作完成的，NTC442DM机床按照上述方法切割多晶硅棒，节约成本，提高工作效率。采用上述方法后，442机床在切割多晶硅棒时，同样使用一卷钢线，单向连续切割两刀硅棒，改变了钢线只能单向使用一次的固定模式，通过改变钢线进线方向，实现双单向切割，同时第二刀切割时延长切割时间、降低进线张力保证了钢线不被损坏拉断，使用上述方法，操作简单，优化现有切割工艺，降低生产成本，提高工作效率。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种机床双单向切割多晶硅棒的方法，其特征在于：包括如下步骤：（1）更换新钢线，安装硅棒；（2）设定切割参数，并设定钢线运行周期为0，设定第一刀切割钢线运行方向；（3）更换砂浆；（4）切割第一刀；（5）第一刀切割完毕，清理；（6）进行第二刀切割：常规操作与第一刀一致，需调整的有三方面：将工作台进给速度降低，将进线张力调低，使钢线运行方向与第一刀切割钢线运行方向相反；更换砂浆，切割第二刀；以后往复进行。

【技术特征摘要】
1.一种机床双单向切割多晶硅棒的方法，其特征在于：包括如下步骤：
（1）更换新钢线，安装硅棒；
（2）设定切割参数，并设定钢线运行周期为0，设定第一刀切割钢线运行方向；
（3）更换砂浆；
（4）切割第一刀；
（5）第一刀切割完毕，清理；
（6）进行第二刀切割：常规操作与第一刀一致，需调整的有三方面：将工作台进给速度降低，将进线张力调低，使钢线运行方向与第一刀切割钢线运行方向相反；更换砂浆，切割第二刀；以后往复进行。
2.根据权利要求１所述的一种机床双单向切割多晶硅棒的方法，其特征在于所述设定切割参数，依次为工作台速度、钢线速度、新线进给量、砂浆温度设定、张力设定，砂浆流量。
3.根据...

【专利技术属性】
技术研发人员：王会敏，何京辉，李立伟，张立涛，菅书勇，李会刚，
申请(专利权)人：邢台晶龙电子材料有限公司，
类型：发明
国别省市：河北;13