一种砂浆线切割单/多晶硅片用砂浆添加剂制造技术

技术编号:15320397 阅读:105 留言:0更新日期:2017-05-16 03:08
本发明专利技术涉及一种砂浆线切割单/多晶硅片用砂浆添加剂,该一种砂浆线切割单/多晶硅片用砂浆添加剂包括:渗透剂0.1~0.5重量份,分散剂10~25重量份,润滑剂1~10重量份,粘度调节剂0.1~0.5重量份,悬浮剂65~85重量份。实施本发明专利技术实施例,具有如下有益效果:本发明专利技术在砂浆添加剂中加入了分散剂、润滑剂、粘度调节剂以及悬浮剂,因此能够很好的解决砂浆发粘以及黏片脏片的问题,切割后的硅片不会发粘发脏。

Mortar additive for mortar line cutting single / polycrystalline silicon sheet

The present invention relates to a mono / poly mortar additive for mortar cutting line, single / poly mortar additive comprises a mortar line cutting: the penetrating agent 0.1 to 0.5 parts by weight, dispersing agent 10 to 25 parts by weight of a lubricant, 1 to 10 parts by weight, 0.1 to 0.5 parts by weight of a viscosity modifier, suspending agent 65 to 85 parts by weight. The embodiment of the invention has the advantages that the invention in mortar additive added dispersant, lubricant, viscosity modifier and suspending agent, so it could solve the sticky sticky dirty and mortar tablets tablets, wafers not after cutting sticky dirty.

【技术实现步骤摘要】
一种砂浆线切割单/多晶硅片用砂浆添加剂
本专利技术涉及一种添加剂,尤其涉及一种砂浆线切割单/多晶硅片用砂浆添加剂。
技术介绍
目前单(多)晶硅片砂浆线切割工艺过程主要是采用悬浮液分散碳化硅刃料颗粒,喷淋至钢线线网上,进行线切割。为了降低硅片的生产成本,将成本中占主要份额的砂浆体系进行分离回收,由于悬浮液吸水性极强,回收后的砂浆由于循环次数增加,造成回收后的悬浮液水分含量增大,导致切割过程中砂浆发黏和切割后的硅片发生黏片脏片现象。致使这些现象的原因是由于切割产生的硅粉表面是带有一定电荷的,在水分存在的环境里,使砂浆中切割产生的硅粉颗粒发生静电吸附作用,产生缔合现象,也会包裹部分碳化硅颗粒,砂浆的流变性能发生改变,即表观现象就是砂浆发黏。同时切割过程中,硅粉浓度越来越高,砂浆中水分的作用,也会是硅粉在硅片上发生静电吸附,造成在硅片上的粘度,从而切出来的硅片发生黏片现象。
技术实现思路
本专利技术实施例所要解决的技术问题在于,现有的切割过程中砂浆发黏和切割后的硅片发生黏片脏片现象的问题,提出了一种砂浆线切割单/多晶硅片用砂浆添加剂。本专利技术实施例提供了一种砂浆线切割单/多晶硅片用砂浆添加剂,该一种砂浆线切割单/多晶硅片用砂浆添加剂包括:渗透剂0.1~0.5重量份,分散剂10~25重量份,润滑剂1~10重量份,粘度调节剂0.1~0.5重量份,悬浮剂65~85重量份。其中,渗透剂为氟碳类低表面张力表面活性剂和有机硅类低表面张力表面活性剂中一种或几种的组合。氟碳类低表面张力表面活性剂为TividaFL2200、TividaFL2300、TividaFL2500、FS-3100、CapstoneFS-10、Zonyl8867L;有机硅类低表面张力表面活性剂为BYK-347、TEGOWET270、TEGO5840、SilokWet8008、SilokWet8035、SilokDispers7455。其中,分散剂为聚乙烯吡咯烷酮、马来酸酐-丙烯酸钠盐共聚物、水解聚马来酸钠盐、丙烯酸-2-甲基-2-丙烯酰胺基丙磺酸钠盐共聚物、丙烯酸-丙烯酸羟丙酯钠盐共聚物中一种或几种的混合,优选分散剂的重量份为10~15。其中,润滑剂为氢化蓖麻油聚氧乙烯醚、脂肪醇聚氧乙烯醚、聚乙二醇200月桂酸双酯、聚乙二醇200月桂酸单酯、聚乙二醇200油酸单酯、聚乙二醇200油酸双酯中一种或几种的混合,优选润滑剂的重量份为3~7。其中,粘度调节剂为羟乙基纤维素、聚乙烯醇1799、聚乙烯醇1788、聚丙烯酰胺中一种过几种的混合,优选粘度调节剂的重量份为0.1~0.3。其中,悬浮剂为聚乙二醇200、聚乙二醇400、聚乙二醇600、聚乙二醇800、聚丙二醇200、聚乙二醇400、二甘醇、三甘醇、甘油、丙二醇、一缩二丙二醇中一种或几种的混合。实施本专利技术实施例,具有如下有益效果:本专利技术在砂浆添加剂中加入了分散剂、润滑剂、粘度调节剂以及悬浮剂,可提高碳化硅颗粒的切割能力及循环使用次数,并能增强碳化硅颗粒的悬浮分散性能,也可以避免碳化硅和硅粉颗粒在硅片表面上的吸附,可直接有效地解决砂浆发黏、硅棒黏片、胀片等问题,从而更容易的进行后续脱胶和清洗工序。具体实施方式下面将对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本专利技术一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本专利技术中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本专利技术保护的范围。本专利技术的砂浆线切割单/多晶硅片用砂浆添加剂包括:渗透剂0.1~0.5重量份,分散剂10~25重量份,润滑剂1~10重量份,粘度调节剂0.1~0.5重量份,悬浮剂65~85重量份。其中,渗透剂为氟碳类低表面张力表面活性剂和有机硅类低表面张力表面活性剂中的一种或几种的组合。氟碳类低表面张力表面活性剂为TividaFL2200、TividaFL2300、TividaFL2500、FS-3100、CapstoneFS-10、Zonyl8867L;有机硅类低表面张力表面活性剂为BYK-347、TEGOWET270、TEGO5840、SilokWet8008、SilokWet8035、SilokDispers7455。其中,分散剂为聚乙烯吡咯烷酮、马来酸酐-丙烯酸钠盐共聚物、水解聚马来酸钠盐、丙烯酸-2-甲基-2-丙烯酰胺基丙磺酸钠盐共聚物、丙烯酸-丙烯酸羟丙酯钠盐共聚物中一种或几种的混合,优选分散剂的重量份为10~15。其中,润滑剂为氢化蓖麻油聚氧乙烯醚、脂肪醇聚氧乙烯醚、聚乙二醇200月桂酸双酯、聚乙二醇200月桂酸单酯、聚乙二醇200油酸单酯、聚乙二醇200油酸双酯中一种或几种的混合,优选润滑剂的重量份为3~7。其中,粘度调节剂为羟乙基纤维素、聚乙烯醇1799、聚乙烯醇1788、聚丙烯酰胺中一种过几种的混合,优选粘度调节剂的重量份为0.1~0.3。其中,悬浮剂为聚乙二醇200、聚乙二醇400、聚乙二醇600、聚乙二醇800、聚丙二醇200、聚乙二醇400、二甘醇、三甘醇、甘油、丙二醇、一缩二丙二醇中一种或几种的混合。实施例1配方的重量份如下(总重量份为100):TividaFL22000.2丙烯酸-2-甲基-2-丙烯酰胺基丙磺酸类共聚物钠盐12。氢化蓖麻油聚氧乙烯醚3。聚乙烯醇17880.2。聚乙二醇200余量实施例2配方的重量份如下(总重量份为100):TEGOWET2700.3马来酸酐-丙烯酸共聚物钠盐11。聚乙二醇200月桂酸双酯5。羟乙基纤维素0.1。甘油余量实施例3配方的重量份如下(总重量份为100):TividaFL25000.15。丙烯酸-2-甲基-2-丙烯酰胺基丙磺酸类共聚物钠盐14脂肪醇聚氧乙烯醚4聚丙烯酰胺0.1聚乙二醇600余量实施例4配方的重量份如下(总重量份为100):SilokWet80080.25水解聚马来酸钠盐15聚乙二醇200油酸单酯3聚乙烯醇17990.2聚乙二醇400余量实施例5配方的重量份如下(总重量份为100):BYK-3470.15SilokWet80350.1聚乙烯吡咯烷酮10聚乙二醇200月桂酸单酯5聚乙烯醇17990.2二甘醇余量实施例6配方的重量份如下(总重量份为100):TEGO58400.15马来酸酐-丙烯酸共聚物钠盐6丙烯酸-丙烯酸羟丙酯共聚物钠盐5聚乙二醇200油酸单酯6羟乙基纤维素0.3聚丙二醇200余量实施例7配方的重量份如下(总重量份为100):SilokDispers74550.2丙烯酸-2-甲基-2-丙烯酰胺基丙磺酸类共聚物钠盐12氢化蓖麻油聚氧乙烯醚4聚乙烯醇17990.15三甘醇余量实施例8配方的重量份如下(总重量份为100):SilokWet80350.3马来酸酐-丙烯酸共聚物钠盐14聚乙二醇200油酸单酯4羟乙基纤维素0.15一缩二丙二醇余量实施本专利技术实施例,具有如下有益效果:本专利技术在砂浆添加剂中加入了分散剂、润滑剂、粘度调节剂以及悬浮剂,可提高碳化硅颗粒的切割能力及循环使用次数,并能增强碳化硅颗粒的悬浮分散性能,也可以避免碳化硅和硅粉颗粒在硅片表面上的吸附,可直接有效地解决砂浆发黏、硅棒黏片、胀片等问题,从而更容易的进行后续脱胶和清洗工序。以上仅为本专利技术的较佳实施例而已,并不用以限制本专利技术,凡在本专利技术的精本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种砂浆线切割单/多晶硅片用砂浆添加剂,其特征在于,所述砂浆线切割单/多晶硅片用砂浆添加剂包括:渗透剂0.1~0.5重量份,分散剂10~25重量份,润滑剂1~10重量份,粘度调节剂0.1~0.5重量份,悬浮剂65~85重量份。

【技术特征摘要】
1.一种砂浆线切割单/多晶硅片用砂浆添加剂,其特征在于,所述砂浆线切割单/多晶硅片用砂浆添加剂包括:渗透剂0.1~0.5重量份,分散剂10~25重量份,润滑剂1~10重量份,粘度调节剂0.1~0.5重量份,悬浮剂65~85重量份。2.根据权利要求1所述的砂浆线切割单/多晶硅片用砂浆添加剂,其特征在于,所述渗透剂为氟碳类低表面张力表面活性剂和有机硅类低表面张力表面活性剂。3.根据权利要求2所述的砂浆线切割单/多晶硅片用砂浆添加剂,其特征在于,所述渗透剂为氟碳类低表面张力表面活性剂和有机硅类低表面张力表面活性剂中一种或几种的组合;所述氟碳类低表面张力表面活性剂为TividaFL2200、TividaFL2300、TividaFL2500、FS-3100、CapstoneFS-10、Zonyl8867L中的一种或多种;有机硅类低表面张力表面活性剂为BYK-347、TEGOWET270、TEGO5840、SilokWet8008、SilokWet8035、SilokDispers7455中的一种或...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨文勇洪育林张震安冠宇张旭印士权
申请(专利权)人:武汉宜田科技发展有限公司
类型:发明
国别省市:湖北,42

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