低温多晶硅阵列基板及其制造方法、显示装置制造方法及图纸

本发明专利技术提出了一种低温多晶硅阵列基板及其制造方法、显示装置。该方法包括在电极上形成平坦层，平坦层依次经过清洗、去水烘烤、疏水化处理、光阻涂布、真空干燥、预烘烤、曝光、显影、烘烤、灰化工序而形成，其中，烘烤的工序中包括至少两次烘烤温度不同的烘烤。通过上述方法能起到对平坦层的有机膜初步固化作用，从而改善过孔处因光阻流动性而导致的Taper角过小的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及液晶显示面板生产
，尤其是涉及一种低温多晶硅阵列基板及其制造方法、显示装置。
技术介绍
薄膜晶体管液晶显示器可分为多晶硅阵列基板和非晶硅阵列基板，两者的差异在于电晶体特性不同。多晶硅的分子结构在一颗晶粒中的排列状态是整齐而有方向性的，因此电子移动率比排列杂乱的非晶硅快了很多倍。而多晶硅产品则包括高温多晶硅(HTPS)和低温多晶硅(LTPS)两种产品。低温多晶硅薄膜晶体管液晶显示器是在封装过程中，利用准分子镭射作为热源，镭射光经过折射系统后，会产生能量均匀分布的镭射光束，投射于非晶硅结构的玻璃基板上，当非晶硅结构玻璃基板吸收准分子镭射的能量后，会转变为多晶硅结构，因整个处理过程都是在600度以下完成，故一般玻璃基板均可适用。低温多晶硅液晶显示器具有高分辨率、反应速度快、高亮度、高开口率等优点，加上由于低温多晶硅液晶显示器的硅结晶排量较a-si有次序，使得电子移动率相对于高100倍之上，可以将外围驱动电路同时制作在玻璃基板上，达到系统整合的目标，节省空间及驱动IC的成本，能更好的提高阵列基板的性能，大大改善器件性能。但是，低温多晶硅阵列基板的制备工艺复杂，有可能造成其表面并不平整，以使得在彩膜基板组立后，间隔柱(PS)在按压后出现偏移，造成漏光风险。
技术实现思路
针对现有技术中所存在的上述技术问题，本专利技术提出了一种低温多晶硅阵列基板及其制造方法、显示装置。该方法通过设置平坦层，并且在形成平坦层过程中，经过至少两次烘烤温度不同的烘烤，避免设置在平坦层处的锥度角(Taper角)过小，从而保证低温多晶硅阵列基板的表面的平整。由此，通过本专利技术降低了间隔柱(PS)在按压后出现偏移，造成漏光的风险。根据本专利技术的一方面，提出了一种低温多晶硅阵列基板的制造方法，包括在电极上形成平坦层，平坦层依次经过清洗、去水烘烤、疏水化处理、光阻涂布、真空干燥、预烘烤、曝光、显影、烘烤、灰化工序而形成，其中，烘烤的工序中包括至少两次烘烤温度不同的烘烤。通过这种设置能起到对平坦层的有机膜形成初步固化作用，有助于避免锥度角过小的问题。在一个实施例中，在烘烤的工序中依次包括后烘烤和烤箱烘烤两步，并且后烘烤的温度低于烤箱烘烤的温度。通过上述方法，在烘烤的工序中设置至少两道烘烤工序，也就是在烤箱烘烤之前至少有一次烘烤，以对平坦层的有机膜形成初步固化作用，从而改善只进行一次烤箱烘烤，过孔因平坦层的光阻流动性而导致的锥度角过小的问题。同时，这种工艺相对简单，不需要添加额外的设备。在一个实施例中，后烘烤的温度在110-130度之间。优选地，后烘烤的温度为120度。在一个实施例中，后烘烤的时间为2-4分钟。在一个实施例中，烤箱烘烤的温度为210-230度。在一个实施例中，预烘烤的温度为80-100度，并预烘烤的时间为1.5-2分钟。在一个实施例中，在曝光的工序中依次包括中间曝光和边缘曝光两步。根据本专利技术的第二方面，提供一种低温多晶硅阵列基板，低温多晶硅阵列基板采用上述的制造方法制造。根据本专利技术的第三方面，提供一种显示装置，包括上述的低温多晶硅阵列基板。与现有技术相比，本专利技术的优点在于，在制造低温多晶硅阵列基板时，形成平坦层的过程中，在烘烤的工序中设置至少两道烘烤工序，也就是在烤箱烘烤之前至少具有一次烘烤，以对平坦层的有机膜形成初步固化作用，从而避免只是设置一次烤箱烘烤时，过孔因光阻流动性而导致的锥度角过小的问题。并且由于改善了锥度角过小的问题，则通过这种方法制成的阵列基板在与彩膜基板组装过程中，降低了 PS位置偏移的问题，并减少了漏光的风险。【附图说明】下面将结合附图来对本专利技术的优选实施例进行详细地描述，在图中:图1显示了根据本专利技术的一种低温多晶硅阵列基板的结构；图2显示了根据本专利技术的低温多晶硅阵列基板的制作方法；附图并未按照实际的比例绘制。【具体实施方式】下面将结合附图对本专利技术做进一步说明。图1显示了低温多晶硅阵列基板100。如图1所示，在制造低温多晶硅阵列基板100过程中，在设置电极I后，需要在整个低温多晶硅阵列基板100的电极I的表面上形成平坦层2。为实现平坦层2的有助于平坦化的目的，其由有机材料制成，例如由聚酰亚胺制成。并且为了信号线的导通，在电极I区域处的平坦层2上设计有过孔3。过孔3的截面大体为梯形，并且过孔3的倾斜面与电极I的表面形成了锥度角(也就是Taper角，即图1中所标示的角α )。当此低温多晶硅阵列基板100与彩膜基板(图中未示出)贴合后，间隔柱(PS)处于平坦层2的过孔3之间。由于现有技术中，在生产低温多晶硅阵列基板100时，在进行显影工序后，直接进行高温烘烤。而在高温烘烤过程中，由于平坦层2的光阻流动性，常出现Taper角α过小的问题。而由于Taper角α过小，容易使得两过孔3之间的平坦层2并不平整而为弧形。由此在生产低温多晶硅阵列基板100与彩膜基板组立后，PS设置在低温多晶硅阵列基板100的两过孔3之间，如果两过孔3之间的平坦层2并不平整，在PS受压后容易发生偏移，造成漏光风险。因此，在生产低温多晶硅阵列基板100的时候，在烘烤工序中可以包括两次烘烤温度不同的烘烤，也就是在对低温多晶硅阵列基板100进行烤箱烘烤之前，可对其进行后烘烤，并且后烘烤的温度低于烤箱烘烤。而后烘烤可以对平坦层2起到固化作用，以防止在烤箱烘烤过程中，由于平坦层2的光阻流动性严重而导致的过孔3处的Taper角α过小。从而，该生产低温多晶硅阵列基板100的制造方法避免过孔3过小，使得过孔3之间的平坦层2平整，以保证包含该低温多晶硅阵列基板100的显示装置的显示效果。下面参照图2详细地论述平坦层2的形成工艺。在形成电极I之后，对低温多晶硅阵列基板100进行清洗。在低温多晶硅阵列基板100经过制程的每道工序以及传送等，其表面都会受到一定程度的污染。这些污染微粒会引发电路的图形缺陷，使得组件的特性变差。为了清除这些污染，需要采取清洗工序。在此清洗工序中，可以采用水、紫外线或者超音波等方式进行。在清洗低温多晶硅阵列基板100之后，可利用去水烘烤进行干燥处理，以防止低温多晶硅阵列基板100表面留下残留水痕或者杂质。例如可以采用气刀干燥、甩干干燥等方式进行。在进行光阻涂布之前，对低温多晶硅阵列基板100进行疏水化处理，以使其表面能更好的与后续设置的平坦层2相粘附。然后，进行光阻涂布，即在多晶硅阵列基板100的电极I的表面上涂布有机膜层以形成平坦层2。可以采用旋转涂布或者毛细管现象涂布等方式进行。为使涂布的有机溶剂挥发出来，需要对多晶硅阵列基板100进行真空干燥。接下来，还要进行预烘烤。即将多晶硅阵列基板100设置在80-100度的范围内，预烘烤1.5-2分钟。优选地，预烘烤温度可设置为90度。接着，进行曝光处理，而为了控制所需要的电路图形及显示图像用的像素图形，根据曝光的部位不同，曝光工序依次包括中间曝光和边缘曝光。为了形成曝光后的图形，要选择性地去除部分有机膜层，因此在曝光工序之后需要进行显影工序。例如，可以选用喷淋显影、浸渍显影或者旋转显影等方式进行。再次，进行烘烤工序。根据本专利技术，烘烤的工序中包括至少两次烘烤温度不同的烘烤。也就是在烤箱烘烤之前，增加至少一次后烘烤，对有机膜层进行初步固化，以防止Taper角α过小的问题。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种低温多晶硅阵列基板的制造方法，其特征在于，包括在电极上形成平坦层，所述平坦层依次经过清洗、去水烘烤、疏水化处理、光阻涂布、真空干燥、预烘烤、曝光、显影、烘烤、灰化工序而形成，其中，所述烘烤的工序中包括至少两次烘烤温度不同的烘烤。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：蒋亚茹，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44