【技术实现步骤摘要】
混合颗粒形貌ITO粉体的制备方法
本专利技术属于ITO粉体的制备领域,具体涉及一种混合颗粒形貌ITO粉体的制备方法。
技术介绍
ITO(IndiumTinOxide,又称氧化铟-氧化锡)薄膜由于具有优异的导电、耐磨、化学蚀刻性能和对可见光透明、对红外光反射性强等光学特性,被广泛应用于平面液晶显示器件、有机电致发光显示器、太阳能电池等领域。制备ITO薄膜的方法主要包括磁控溅射法、化学气相沉积法、电子束蒸发法、喷雾热解法、溶胶-凝胶法等,其中采用ITO靶材并通过真空溅射镀膜制备ITO薄膜的方法在目前工业生产中最适用。为了制备高性能的ITO薄膜,必须具备综合性能优异的ITO靶材。而作为ITO靶材的原料即ITO粉体是影响ITO靶材性能的决定性因素,粉体的性能如物相、粒径、粒径分布及颗粒形貌等均对ITO靶材的性能有较大影响,因此提高ITO粉体的性能是关键。ITO粉体是SnO2掺杂于体心立方铁锰矿晶体结构的In2O3后形成的固溶体,其中In3+被Sn4+取代且Sn4+占据原In3+的位置后,在氧化物空间晶格中形成大量点缺陷同时还产生了大量自由电子e-,在电场的作用下点缺陷和自 ...
【技术保护点】
一种混合颗粒形貌ITO粉体的制备方法,其特征在于:它是将氨水和碳酸铵溶液两种不同沉淀剂先后加入配制好的InCl3和SnCl4混合盐溶液中,通过沉淀反应制得金属氢氧化物,再将该氢氧化物洗涤、干燥、研磨、过筛和高温煅烧后得到混合颗粒形貌ITO粉体;具体包括以下步骤:(1)混合盐溶液制备:根据重量比In2O3:SnO2=8.5∶1,量取质量浓度为150‑300g/L的InCl3溶液和质量浓度为150‑300g/L的SnCl4溶液置于反应釜中,搅拌混合均匀;(2)共沉淀反应:前期以摩尔浓度为5‑8mol/L的氨水溶液为沉淀剂,常温下搅拌的同时向步骤(1)所得的混合盐溶液滴加一定量的 ...
【技术特征摘要】
1.一种混合颗粒形貌ITO粉体的制备方法,其特征在于:它是将氨水和碳酸铵溶液两种不同沉淀剂先后加入配制好的InCl3和SnCl4混合盐溶液中,通过沉淀反应制得金属氢氧化物,再将该氢氧化物洗涤、干燥、研磨、过筛和高温煅烧后得到混合颗粒形貌ITO粉体;具体包括以下步骤:(1)混合盐溶液制备:根据重量比In2O3:SnO2=8.5∶1,量取质量浓度为150-300g/L的InCl3溶液和质量浓度为150-300g/L的SnCl4溶液置于反应釜中,搅拌混合均匀;(2)共沉淀反应:前期以摩尔浓度为5-8mol/L的氨水溶液为沉淀剂,常温下搅拌的同时向步骤(1)所得的混合盐溶液滴加一定量的氨水溶液;随后升温,当温度升至55-80℃时开始滴加摩尔浓度为5-8mol/L的碳酸铵溶液,当反应液中无In3+存在时停止滴加,继续搅拌并陈化8-24h,得金属氢氧化物;(3)洗涤:将步骤(2)所得的金属氢氧化物用纯水洗涤直至滤液中无Cl-且滤液的电导率低于150μS/cm;(4)干燥、研磨和过筛:将洗涤后的金属氢氧化物抽真空干燥,经研磨、过筛制得ITO前驱体;(5)高温煅烧:将ITO前驱体放入煅烧炉中以30-50℃/h升温至100-250℃保温20-60min,随后以80-100℃/h快速升温至250-700...
【专利技术属性】
技术研发人员:谭翠,叶有明,熊爱臣,赵明勇,张元松,韦成果,樊繁,徐灿辉,叶仿建,
申请(专利权)人:柳州华锡铟锡材料有限公司,
类型:发明
国别省市:广西;45
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