基板搬送小车的控制系统技术方案

本实用新型专利技术涉及真空镀膜领域，尤其是基板搬送小车的控制系统，其特征在于：所述系统包括光纤传感器和控制器，所述光纤传感器固定设置于所述机械臂的抓取位置之前，所述控制器与所述光纤传感器之间构成数据连接，所述控制器连接控制所述机械臂。本实用新型专利技术的优点是：能自动修正基板搬送小车的搬送位置，以保证后续设备的正常运行，避免设备过载报警及硬件损伤；提高了设备自动化效率；结构简单合理，实用性强，适于推广。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及真空镀膜领域，尤其是基板搬送小车的控制系统。
技术介绍
目前，通常采用搬送小车来将基板搬送至真空镀膜室内以进行后续镀膜作业，但搬送小车会因为损坏、陈旧或其他一些设备问题而需要更替或换用。此时，由于每辆搬送小车的零件在加工和组装时的误差不同，因此小车的搬送精度也就带来了一定的偏差，该偏差会对后续设备的运行产生不良影响，容易造成设备过载报警及硬件损伤，大大降低了设备自动化效率。
技术实现思路
本技术的目的是根据上述现有技术的不足，提供了基板搬送小车的控制系统，通过对基板搬送小车的前后位置进行检测并依此对基板搬送位置进行补偿，从而解决搬送小车共用性问题。本技术目的实现由以下技术方案完成:一种基板搬送小车的控制系统，所述基板搬送小车用于将基板搬送到机械臂的抓取位置处，其特征在于:所述系统包括光纤传感器和控制器，所述光纤传感器固定设置于所述机械臂的抓取位置之前，所述控制器与所述光纤传感器之间构成数据连接，所述控制器连接控制所述机械臂。所述控制器连接控制所述基板搬送小车的驱动装置。所述基板搬送小车的驱动装置指的是，可控制所述基板搬送小车运行速度的变速驱动装置。本技术的优点是:能自动修正基板搬送小车的搬送位置，以保证后续设备的正常运行，避免设备过载报警及硬件损伤；提高了设备自动化效率；结构简单合理，实用性强，适于推广。【附图说明】图1为本技术的使用结构示意图。【具体实施方式】以下结合附图通过实施例对本技术特征及其它相关特征作进一步详细说明，以便于同行业技术人员的理解:如图1所示，图中标记1-6分别为:基板搬送小车1、基板2、基板搬送小车原点3、光纤传感器4、导轨5、机械臂6。实施例:如图1所示，本实施例中基板搬送小车控制系统通过对基板搬送小车的前后位置进行检测并依此对基板搬送位置进行补偿。基板搬送小车1可通过驱动装置在导轨5上运行以将其承载的若干基板2搬送到机械臂6的抓取位置处。基板搬送控制系统包括光纤传感器4和控制器，两者之间构成数据连接。光纤传感器4设置在机械臂6的前方。通过将光纤传感器4与基板搬送小车1的马达的位置结合作为测距装置使用；当基板搬送小车1从其原点位置到光纤传感器4的设置位置时，光纤传感器4传送开关量信号给控制器，控制器对当前基板搬送小车1的马达行驶坐标进行记录并与原点位置的基板搬送小车1的马达坐标进行比较，从而计算出基板搬送小车1的行驶距离。控制器用于接收光纤传感器4的开关量信号，并将测量数据与基准数据相比较，得到的差值补偿修正基板搬送位置的实际坐标，从而解决搬送小车的共用性问题。本实施例在具体使用时具有如下过程:(1)计算作为基准的基板搬送小车1从基板搬送小车原点3位置到光纤传感器4位置之间的距离，并以坐标形式对其进行记录，并记录保存基准坐标设定值。作为基准的基板搬送小车1符合设计图纸要求尺寸误差，并在当前机台搬送正常。(2):对其他基板搬送小车从基板搬送小车原点3到光纤传感器4位置之间的距离进行测量并记录，同样以坐标形式进行记录，并将当前数据与基准坐标进行比较。(3)将比较的差值对搬送数据进行自动补偿基板坐标位置，即对基板搬送坐标进行修正，得到实际的基板搬送坐标。本实施例在具体实施时:为提高效率，在基板搬送小车1的偏差检测过程中实现了变速运动，才得以同时满足了对补偿过程的时间要求及对光纤传感器4测量精度的双重要求。具体过程为，利用控制器连接控制基板搬送小车1的驱动装置以对其在导轨5上的运行速度进行调控。例如，基板搬送小车1在接近光纤传感器4之前以50mm/s的速度高速运行，经过光纤传感器4时以lmm/s的速度低速运行，之后再次以50mm/s的速度高速运行至机械臂6的抓取位置并高速返回至基板搬送小车原点3。上述运动过程避免了基板搬送小车1为保证检测精度而以单一低速运行的弊病，同时实现了本实施例对时间和测量精度的双重要求。基板搬送小车50mm/s的高速和lmm/s的低速都是根据小车本身的性能以及实际工作中的各因素所进行的选择；在具体使用时，高速和低速都可根据实际设计进行选择。虽然以上实施例已经参照附图对本技术目的的构思和实施例做了详细说明，但本领域普通技术人员可以认识到，在没有脱离权利要求限定范围的前提条件下，仍然可以对本技术作出各种改进和变换，如:光纤传感器的种类、基板搬送小车1的结构、大小等，故在此不--赘述。【主权项】1.一种基板搬送小车的控制系统，所述基板搬送小车用于将基板搬送到机械臂的抓取位置处，其特征在于:所述系统包括光纤传感器和控制器，所述光纤传感器固定设置于所述机械臂的抓取位置之前，所述控制器与所述光纤传感器之间构成数据连接，所述控制器连接控制所述机械臂。2.根据权利要求1所述的一种基板搬送小车的控制系统，其特征在于:所述控制器连接控制所述基板搬送小车的驱动装置。3.根据权利要求2所述的一种基板搬送小车的控制系统，其特征在于:所述基板搬送小车的驱动装置指的是，可控制所述基板搬送小车运行速度的变速驱动装置。【专利摘要】本技术涉及真空镀膜领域，尤其是基板搬送小车的控制系统，其特征在于：所述系统包括光纤传感器和控制器，所述光纤传感器固定设置于所述机械臂的抓取位置之前，所述控制器与所述光纤传感器之间构成数据连接，所述控制器连接控制所述机械臂。本技术的优点是：能自动修正基板搬送小车的搬送位置，以保证后续设备的正常运行，避免设备过载报警及硬件损伤；提高了设备自动化效率；结构简单合理，实用性强，适于推广。【IPC分类】B65G43/00, B65G47/90【公开号】CN204713967【申请号】CN201520356856【专利技术人】王德智, 余正权, 余海春, 张奇, 展大伟 【申请人】光驰科技(上海)有限公司【公开日】2015年10月21日【申请日】2015年5月29日本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种基板搬送小车的控制系统，所述基板搬送小车用于将基板搬送到机械臂的抓取位置处，其特征在于：所述系统包括光纤传感器和控制器，所述光纤传感器固定设置于所述机械臂的抓取位置之前，所述控制器与所述光纤传感器之间构成数据连接，所述控制器连接控制所述机械臂。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王德智，余正权，余海春，张奇，展大伟，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31