本技术属于真空镀膜技术领域，公开了镀膜室及镀膜设备。该镀膜室包括镀膜腔、第一驱动件、第二驱动件和镀膜源；第一驱动件与第一旋转盘传动连接，第一旋转盘设于镀膜腔内，第一驱动件能使第一旋转盘自转；第二驱动件与多个第二旋转盘传动连接，第二驱动件能使第二旋转盘自转，多个第二旋转盘设于第一旋转盘上，第二旋转盘用以放置基板；两组镀膜源设于镀膜腔内并分居于第二旋转盘的上下两侧；遮挡件设于两个镀膜源之间，在镀膜作业时，遮挡件用于阻挡两侧的镀膜源产生的镀膜粒子穿过。通过本技术，能够实现双面镀膜的同时，兼顾镀膜设备的适应性和镀膜质量提升。
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空镀膜，尤其涉及镀膜室及镀膜设备。
技术介绍
1、为实现在各种光学元件上镀制多种膜系，优化镀膜工艺时间，可在真空镀膜室中设置具有公自转机构的基板转架，从而使基板镀膜更加均匀。
2、常规的真空镀设备，镀膜源通常设置在基板的同一侧。若基板需双面镀膜，通常会在镀制完基板的一面后执行翻面操作，其后再继续镀制基板的另外一面。在这种情况下，镀膜时间较长；尤其在对0.1mm厚度及以下的大基板镀制多层光学膜时，基板翻面容易翘曲，严重影响镀膜质量。
3、另外，现有技术中，基板自转往往受到公转机构的制约，传动比相对固定，难以实现基板自转转速的自由调节，造成设备的适应性降低。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供镀膜室及镀膜设备，用以实现双面镀膜的同时，提升镀膜设备的适应性和镀膜质量。
2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：
3、镀膜室，包括镀膜腔，包括：
4、第一驱动件，与第一旋转盘传动连接，所述第一旋转盘设于所述镀膜腔内，所述第一驱动件能使所述第一旋转盘自转；
5、第二驱动件，与多个第二旋转盘传动连接，所述第二驱动件能使所述第二旋转盘自转，多个所述第二旋转盘设于所述第一旋转盘，所述第二旋转盘用以放置基板；
6、两组镀膜源，设于所述镀膜腔并分居于所述第二旋转盘所在平面的两侧；
7、遮挡件，设于两个所述镀膜源之间，在镀膜作业时，所述遮挡件用于阻挡两侧的所述镀膜源产生的镀膜粒子穿过。
>8、作为一种镀膜室的可选方案，所述第一驱动件设于所述镀膜腔的外部，所述第一驱动件与第一转轴的一端驱动连接，所述第一转轴另一端与所述第一旋转盘驱动连接。9、作为一种镀膜室的可选方案，所述第一转轴的中心穿设有第二转轴，所述第二转轴远离所述第一旋转盘的一端与所述第二驱动件驱动连接，所述第二转轴的另一端通过传动组件与所述第二旋转盘传动连接。
10、作为一种镀膜室的可选方案，所述第一转轴和所述第二转轴之间设有第一轴承。
11、作为一种镀膜室的可选方案，所述传动组件包括第一齿轮、第一双联齿轮和执行齿轮，所述第一齿轮与所述第一双联齿轮的一层齿轮啮合，所述第一双联齿轮的二层齿轮与所述执行齿轮啮合，所述执行齿轮设有定位孔，所述第二旋转盘嵌设于所述定位孔内。
12、作为一种镀膜室的可选方案，所述第一双联齿轮的二层齿轮与所述执行齿轮之间通过齿轮组啮合传动，所述齿轮组包括多个依次啮合的调整齿轮。
13、作为一种镀膜室的可选方案，所述镀膜室还包括冷却管，所述冷却管嵌设于所述第一旋转盘的底部，并环设于所述第二旋转盘的外周；所述冷却管的进水口设于所述第一转轴的外壁，所述进水口设于所述镀膜腔外侧。
14、作为一种镀膜室的可选方案，所述第二旋转盘的外壁上套设有定位套，所述定位套与所述执行齿轮并排设置，所述定位套的外壁套设有第二轴承，所述第二轴承外壁与所述第一旋转盘的安装孔内壁连接。
15、作为一种镀膜室的可选方案，所述第一旋转盘的安装孔内设有支撑块，所述支撑块环设于所述第二轴承的外壁，所述支撑块靠近所述执行齿轮的轮齿一端环设有磁铁，所述磁铁能吸附所述执行齿轮的轮齿掉落的含铁磁性物质铁屑的颗粒。
16、作为一种镀膜室的可选方案，所述第二旋转盘的外壁环设有迷宫组件，所述迷宫组件靠设于所述第二轴承远离所述执行齿轮的一端，用以对所述第二轴承进行密封。
17、作为一种镀膜室的可选方案，所述迷宫组件包括两个环设于所述第二旋转盘外壁的呈l型的迷宫护板，两个所述迷宫护板组合围设形成迷宫型密封。
18、作为一种镀膜室的可选方案，所述迷宫组件还包括顶部护板，所述顶部护板盖设于所述执行齿轮的轮齿。
19、镀膜设备，包括装卸片室、搬送室和以上任一方案所述镀膜室，所述搬送室设于所述装卸片室与所述镀膜室之间。
20、作为一种镀膜设备的可选方案，所述装卸片室放置所述基板，所述搬送室内设有机械手，所述机械手能在所述装卸片室与所述镀膜室之间对所述基板选择性装卸。
21、有益效果：
22、在本技术的第一方面中，第一驱动件带动第一旋转盘自转，第二驱动件带动多个第二旋转盘自转，多个第二旋转盘置于第一旋转盘，保证了第二旋转盘的自转运动不会受到第一旋转盘的转动影响，第二旋转盘的速度可以进行方便调节，并根据第二驱动件可以实现无极调速；同时，位于第二旋转盘的上下两侧的镀膜源同时工作，既能够实现均匀的转动镀膜，同时也能实现基板的双面镀膜，提升镀膜效率和镀膜质量，在双侧镀膜作业中，有时需要在同一基板的两侧的相对表面采用不同膜料进行镀膜，遮挡件能有效避免两侧的膜料粒子交叉污染，提升基板两侧的镀膜质量，通过使遮挡件相对于基板在竖直方向上错位设置，能使遮挡件在镀膜作业时，不会阻挡同侧的镀膜粒子正常镀制在基板的同侧表面上。
23、在本技术的第二方面中，通过装卸片室和搬送室，能方便实现搬送过程和镀膜过程的连续，提升生产效率。
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【技术保护点】
1.镀膜室，包括镀膜腔(100)，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的镀膜室，其特征在于，所述第一驱动件(10)设于所述镀膜腔(100)的外部，所述第一驱动件(10)与第一转轴(12)的一端驱动连接，所述第一转轴(12)另一端与所述第一旋转盘(11)驱动连接。
3.根据权利要求2所述的镀膜室，其特征在于，所述第一转轴(12)的中心穿设有第二转轴(23)，所述第二转轴(23)远离所述第一旋转盘(11)的一端与所述第二驱动件(20)驱动连接，所述第二转轴(23)的另一端通过传动组件(22)与所述第二旋转盘(21)传动连接。
4.根据权利要求3所述的镀膜室，其特征在于，所述第一转轴(12)和所述第二转轴(23)之间设有第一轴承(25)。
5.根据权利要求3所述的镀膜室，其特征在于，所述传动组件(22)包括第一齿轮(221)、第一双联齿轮(222)和执行齿轮(223)，所述第一齿轮(221)与所述第一双联齿轮(222)的一层齿轮啮合，所述第一双联齿轮(222)的二层齿轮与所述执行齿轮(223)啮合，所述执行齿轮(223)设有定位孔(2231)，所述第二旋转盘(21)嵌设于所述定位孔(2231)内。
6.根据权利要求5所述的镀膜室，其特征在于，所述第一双联齿轮(222)的二层齿轮与所述执行齿轮(223)之间通过齿轮组(224)啮合传动，所述齿轮组(224)包括多个依次啮合的调整齿轮。
7.根据权利要求2所述的镀膜室，其特征在于，所述镀膜室还包括冷却管(40)，所述冷却管(40)嵌设于所述第一旋转盘(11)的底部，并环设于所述第二旋转盘(21)的外周；所述冷却管(40)的进水口(41)设于所述第一转轴(12)的外壁，所述进水口(41)设于所述镀膜腔(100)外侧。
8.根据权利要求5所述的镀膜室，其特征在于，所述第二旋转盘(21)的外壁上套设有定位套(211)，所述定位套(211)与所述执行齿轮(223)并排设置，所述定位套(211)的外壁套设有第二轴承(212)，所述第二轴承(212)外壁与所述第一旋转盘(11)的安装孔(111)内壁连接。
9.根据权利要求8所述的镀膜室，其特征在于，所述第一旋转盘(11)的安装孔(111)内设有支撑块(112)，所述支撑块(112)环设于所述第二轴承(212)的外壁，所述支撑块(112)靠近所述执行齿轮(223)的轮齿一端环设有磁铁(113)，所述磁铁(113)能吸附所述执行齿轮(223)的轮齿掉落的含铁磁性物质铁屑的颗粒。
10.根据权利要求9所述的镀膜室，其特征在于，所述第二旋转盘(21)的外壁环设有迷宫组件(24)，所述迷宫组件(24)靠设于所述第二轴承(212)远离所述执行齿轮(223)的一端，用以对所述第二轴承(212)进行密封。
11.根据权利要求10所述的镀膜室，其特征在于，所述迷宫组件(24)包括两个环设于所述第二旋转盘(21)外壁的呈L型的迷宫护板(241)，两个所述迷宫护板(241)组合围设形成迷宫型密封。
12.根据权利要求11所述的镀膜室，其特征在于，所述迷宫组件(24)还包括顶部护板(242)，所述顶部护板(242)盖设于所述执行齿轮(223)的轮齿。
13.镀膜设备，其特征在于，包括装卸片室(200)、搬送室(300)和如权利要求1-12任一项所述镀膜室，所述搬送室(300)设于所述装卸片室(200)与所述镀膜室之间。
14.根据权利要求13所述的镀膜设备，其特征在于，所述装卸片室(200)放置所述基板(400)，所述搬送室(300)内设有机械手(310)，所述机械手(310)能在所述装卸片室(200)与所述镀膜室之间对所述基板(400)选择性装卸。
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【技术特征摘要】
1.镀膜室，包括镀膜腔(100)，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的镀膜室，其特征在于，所述第一驱动件(10)设于所述镀膜腔(100)的外部，所述第一驱动件(10)与第一转轴(12)的一端驱动连接，所述第一转轴(12)另一端与所述第一旋转盘(11)驱动连接。
3.根据权利要求2所述的镀膜室，其特征在于，所述第一转轴(12)的中心穿设有第二转轴(23)，所述第二转轴(23)远离所述第一旋转盘(11)的一端与所述第二驱动件(20)驱动连接，所述第二转轴(23)的另一端通过传动组件(22)与所述第二旋转盘(21)传动连接。
4.根据权利要求3所述的镀膜室，其特征在于，所述第一转轴(12)和所述第二转轴(23)之间设有第一轴承(25)。
5.根据权利要求3所述的镀膜室，其特征在于，所述传动组件(22)包括第一齿轮(221)、第一双联齿轮(222)和执行齿轮(223)，所述第一齿轮(221)与所述第一双联齿轮(222)的一层齿轮啮合，所述第一双联齿轮(222)的二层齿轮与所述执行齿轮(223)啮合，所述执行齿轮(223)设有定位孔(2231)，所述第二旋转盘(21)嵌设于所述定位孔(2231)内。
6.根据权利要求5所述的镀膜室，其特征在于，所述第一双联齿轮(222)的二层齿轮与所述执行齿轮(223)之间通过齿轮组(224)啮合传动，所述齿轮组(224)包括多个依次啮合的调整齿轮。
7.根据权利要求2所述的镀膜室，其特征在于，所述镀膜室还包括冷却管(40)，所述冷却管(40)嵌设于所述第一旋转盘(11)的底部，并环设于所述第二旋转盘(21)的外周；所述冷却管(40)的进水口(41)设于所述第一转轴(12)的外壁，所述进水口(41)设于所述镀膜腔(100)外侧。
8.根据权利要求5所述的镀膜室，其特征在于...
【专利技术属性】
技术研发人员：裴蓓，吕启蒙，余龙，曹永军，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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