【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空镀膜，尤其是一种真空用板式阀门及真空室、真空镀膜设备。
技术介绍
1、在真空镀膜等真空处理设备中，往往在真空泵与真空腔室之间设置真空阀门以控制真空泵与真空腔室之间的连通状态，进而控制真空泵对真空腔室的排气过程；另外，在不同真空腔室之间也可设置真空阀门来控制不同真空腔室之间的连通状态，从而实现特定真空处理流程。
2、现有技术中，真空阀门通常结构复杂，成本较高，占用空间较大；并且，真空阀门内部精密旋转零件在长期旋转摩擦后易产生颗粒，进而可能导致真空环境劣化。
技术实现思路
1、本技术的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种真空用板式阀门及真空室、真空镀膜设备，采用气缸通过滑动机构直接驱动阀板动作，并且加装限位后可以控制阀板的极限开度，实现简单、灵活、紧凑的阀门控制。
2、本技术目的实现由以下技术方案完成：
3、一种真空用板式阀门，包括阀体，所述阀体设置在高真空泵的一侧，其特征在于：所述阀体的内部设置有铰接的阀板，所述阀板连接驱动机构，所述驱动机构通过滑动机构连接所述阀板并可驱动所述阀板绕其与所述阀体的铰接点旋转打开或旋转关闭。
4、所述驱动机构为气缸，所述气缸的活塞杆连接所述滑动机构。
5、所述气缸的活塞杆上设置有位置可调的可调限位器。
6、所述可调限位器的触发可控制所述气缸的工作状态和/或阀板的打开角度。
7、所述滑动机构由滑块和轨道构成，所述轨道设置在所述阀板的侧面，所述滑块设置在所
8、所述阀板与所述阀体之间设置有两个或两个以上的所述铰接点且同时设置有两个或两个以上的所述驱动机构及匹配的所述滑动机构。
9、各所述铰接点之间、各所述驱动机构以及所述滑动机构之间均间隔布置。
10、所述真空用板式阀门设置于所述真空泵与所述真空室内部空间之间，所述真空泵的排气口可通过所述真空用板式阀门的所述阀板与所述真空室内部空间选择性连通。
11、本技术的优点是：
12、1）避免过多复杂的机械机构，从而降低机构长期摩擦时产生颗粒的可能性，保证真空镀膜的质量；
13、2）安装方向更灵活，排气效率高，可以使用一个阀门控制多个高真空泵，集约性强；
14、3）结构紧凑，阀体外仅有气缸组件，节约空间；
15、4）结构简单合理，安拆方便，适于推广。
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1.一种真空用板式阀门，包括阀体，所述阀体设置在真空泵的一侧，其特征在于：所述阀体设置有铰接的阀板，所述阀板连接驱动机构，所述驱动机构通过滑动机构连接所述阀板并可驱动所述阀板绕其与所述阀体的铰接点旋转打开或旋转关闭。
2.根据权利要求1所述的一种真空用板式阀门，其特征在于：所述驱动机构为气缸，所述气缸的活塞杆连接所述滑动机构。
3.根据权利要求2所述的一种真空用板式阀门，其特征在于：所述气缸的活塞杆上设置有位置可调的可调限位器。
4.根据权利要求3所述的一种真空用板式阀门，其特征在于：所述可调限位器的触发可控制所述气缸的工作状态和/或阀板的打开角度。
5.根据权利要求1或2所述的一种真空用板式阀门，其特征在于：所述滑动机构由滑块和轨道构成，所述轨道设置在所述阀板的侧面，所述滑块设置在所述轨道上并构成滑动配合，所述滑块与所述驱动机构连接。
6.根据权利要求1所述的一种真空用板式阀门，其特征在于：所述阀板与所述阀体之间设置有两个或两个以上的所述铰接点且同时设置有两个或两个以上的所述驱动机构及匹配的所述滑动机构。
8.一种真空室，包含真空泵和权利要求1-7中任意一种真空用板式阀门，其特征在于：所述真空用板式阀门设置于所述真空泵与所述真空室内部空间之间，所述真空泵的排气口可通过所述真空用板式阀门的所述阀板与所述真空室内部空间选择性连通。
9.一种真空镀膜设备，其特征在于：包含权利要求8中的所述真空室。
...【技术特征摘要】
1.一种真空用板式阀门，包括阀体，所述阀体设置在真空泵的一侧，其特征在于：所述阀体设置有铰接的阀板，所述阀板连接驱动机构，所述驱动机构通过滑动机构连接所述阀板并可驱动所述阀板绕其与所述阀体的铰接点旋转打开或旋转关闭。
2.根据权利要求1所述的一种真空用板式阀门，其特征在于：所述驱动机构为气缸，所述气缸的活塞杆连接所述滑动机构。
3.根据权利要求2所述的一种真空用板式阀门，其特征在于：所述气缸的活塞杆上设置有位置可调的可调限位器。
4.根据权利要求3所述的一种真空用板式阀门，其特征在于：所述可调限位器的触发可控制所述气缸的工作状态和/或阀板的打开角度。
5.根据权利要求1或2所述的一种真空用板式阀门，其特征在于：所述滑动机构由滑块和轨道构成，所述轨道设置在所述阀...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘畅，龙汝磊，王德智，吴萍，龙世泽，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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