【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及真空镀膜，尤其涉及一种承载治具、镀膜用承载装置及真空镀膜机。
技术介绍
1、由于智能手机和ar/vr等产业的发展，市场对非平面的异形工件的镀膜需求增加。现有技术中，对于异形工件的镀膜，一般采用承载治具作为装载工件的载体。搬送机构可将承载治具搬入和搬出真空镀膜室，以完成自动化上下料。不过，目前镀膜护板的维护往往是在真空镀膜等工艺处理完成后进行的，需要打开腔体取出护板，以进行更换和维护。另外，对于异形工件的镀膜，一般需要利用公自转实现更佳的镀膜均匀性。因此，承载治具往往是具有旋转轴的可自转结构。现有技术中，对于具有旋转轴的承载治具，在镀膜或搬送过程中，较易因抖动而产生掉膜，从而导致真空腔内部环境被污染，造成产品良率下降。
2、所以，亟需一种承载治具、镀膜用承载装置及真空镀膜机，以解决上问题。
技术实现思路
1、基于以上所述，本专利技术的目的在于提供一种承载治具、镀膜用承载装置及真空镀膜机，便于维护，镀膜效果更好，减少对镀膜室中部件的维护频率。
2、为达上述目的，本专利技术采用以下技术方案：
3、承载治具，包括：
4、承载部，用于承载待镀膜工件；
5、连接部，所述连接部能与安装载具选择性连接；
6、防护部，设置于所述连接部，且位于所述待镀膜工件的一侧。
7、作为一种承载治具的优选方案，所述连接部包括平行设置的顶板、底板和设置于所述顶板和底板之间的侧板。
8、作为一种承载治具的优选
9、作为一种承载治具的优选方案，所述安装梁包括第一安装部和至少一个第二安装部，所述侧板与所述第一安装部连接，所述第二安装部用于连接所述第一安装部与所述顶板；或，
10、所述第二安装部用于连接所述第一安装部与底板。
11、作为一种承载治具的优选方案，所述安装梁设置有两个，两个所述安装梁平行间隔设置，所述侧板设置于两个所述安装梁之间。
12、作为一种承载治具的优选方案，所述侧板可拆卸连接。
13、作为一种承载治具的优选方案，所述连接部设置有第一连接端，所述安装载具上设置有第一对接端，所述第一连接端能选择性连接于所述第一对接端。
14、作为一种承载治具的优选方案，所述第一连接端与所述安装载具的连接面位于所述承载部的周向外侧。
15、作为一种承载治具的优选方案，所述安装载具包括公转安装板和自转安装板，所述第一对接端的连接面位于所述公转安装板的周向外侧。
16、作为一种承载治具的优选方案，所述第一连接端设置于所述防护部。
17、作为一种承载治具的优选方案，所述承载部包括承载轴和底座，所述待镀膜工件设置于所述承载轴，所述安装载具上设置有第二对接端，所述底座能选择性连接于所述第二对接端。
18、作为一种承载治具的优选方案，所述安装载具包括公转安装板和自转安装板，所述底座与所述自转安装板呈夹角设置。
19、作为一种承载治具的优选方案，所述承载部能相对于所述连接部转动。
20、真空镀膜机，包括以上任一方案所述的承载治具，还包括安装载具，所述安装载具包括载具本体，所述连接部能选择性与所述载具本体连接，所述防护部置于所述安装载具和所述待镀膜工件之间。
21、作为一种镀膜用承载装置的优选方案，所述安装载具还设置有公转驱动组件，所述公转驱动组件用于驱动所述载具本体转动；和/或，所述安装载具还设置有自转驱动组件，所述自转驱动组件能驱动所述承载部相对于所述连接部转动。
22、真空镀膜机，包括镀膜室，以及设置于所述镀膜室内的镀膜源和如以上任一方案所述的镀膜用承载装置；所述真空镀膜机还包括搬运装置，所述搬运装置能将所述承载治具安装或拆下所述安装载具。
23、本专利技术的有益效果为：
24、本专利技术通过设置能与安装载具可拆卸连接的承载治具，便于向安装载具上放置待镀膜工件以及将镀膜后的工件取出。具体地，承载治具设置有用于与安装载具可拆卸连接的连接部，以及用于承载待镀膜工件的承载部。另外，通过在安装载具和待镀膜工件之间设置防护部，能有效在镀膜或搬运过程中防止膜屑污染载具本体等部件，减少对镀膜室搬运室中部件的维护频率。
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1.承载治具，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的承载治具，其特征在于，所述防护部(13)包括顶板(131)、底板(132)和设置于所述顶板(131)和所述底板(132)之间的侧板(133)。
3.根据权利要求2所述的承载治具，其特征在于，所述侧板(133)可拆卸设置。
4.根据权利要求1所述的承载治具，其特征在于，所述连接部(11)设置有第一连接端(111)，所述安装载具(2)上设置有第一对接端(211)，所述第一连接端(111)能选择性连接于所述第一对接端(211)。
5.根据权利要求4所述的承载治具，其特征在于，所述第一连接端(111)与所述安装载具(2)的连接面位于所述承载部(12)的周向外侧。
6.根据权利要求4所述的承载治具，其特征在于，所述安装载具(2)包括公转安装板(212)和自转安装板(213)，所述第一对接端(211)的连接面位于所述公转安装板(212)的周向外侧。
7.根据权利要求1所述的承载治具，其特征在于，所述承载部(12)包括承载轴(121)和底座(122)，所述待镀膜工件
8.根据权利要求7所述的承载治具，其特征在于，所述安装载具(2)包括公转安装板(212)和自转安装板(213)，所述底座(122)与所述自转安装板(213)呈夹角设置。
9.根据权利要求1-8任一项所述的承载治具，其特征在于，所述承载部(12)能相对于所述连接部(11)转动。
10.一种镀膜用承载装置，其特征在于，包括如权利要求1-9任一项所述的承载治具，还包括：
11.真空镀膜机，其特征在于，包括镀膜室，以及设置于所述镀膜室内的镀膜源和如权利要求10所述的镀膜用承载装置；所述真空镀膜机还包括搬运装置，所述搬运装置能将所述承载治具安装或拆下所述安装载具(2)。
...【技术特征摘要】
1.承载治具，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的承载治具，其特征在于，所述防护部(13)包括顶板(131)、底板(132)和设置于所述顶板(131)和所述底板(132)之间的侧板(133)。
3.根据权利要求2所述的承载治具，其特征在于，所述侧板(133)可拆卸设置。
4.根据权利要求1所述的承载治具，其特征在于，所述连接部(11)设置有第一连接端(111)，所述安装载具(2)上设置有第一对接端(211)，所述第一连接端(111)能选择性连接于所述第一对接端(211)。
5.根据权利要求4所述的承载治具，其特征在于，所述第一连接端(111)与所述安装载具(2)的连接面位于所述承载部(12)的周向外侧。
6.根据权利要求4所述的承载治具，其特征在于，所述安装载具(2)包括公转安装板(212)和自转安装板(213)，所述第一对接端(211)的连接面位于所述公转安装板(212)的周向外侧...
【专利技术属性】
技术研发人员：马淑莹，卢鹏，陈韶华，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：
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