承载治具、镀膜用承载装置及真空镀膜机制造方法及图纸

本发明专利技术涉及真空镀膜技术领域，公开一种承载治具、镀膜用承载装置及真空镀膜机。其中承载治具包括承载部、连接部和防护部，承载部用于承载待镀膜工件；连接部能与安装载具选择性连接；防护部设置于所述连接部，且位于待镀膜工件的一侧。本发明专利技术的承载治具能便于向安装载具上放置待镀膜工件以及将镀膜后的工件取出。在承载治具设置于安装载具时，安装载具和待镀膜工件之间设置防护部，能有效地在镀膜过程中防止膜屑污染载具本体等部件，减少对镀膜机部件的维护频率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及真空镀膜，尤其涉及一种承载治具、镀膜用承载装置及真空镀膜机。

技术介绍

1、由于智能手机和ar/vr等产业的发展，市场对非平面的异形工件的镀膜需求增加。现有技术中，对于异形工件的镀膜，一般采用承载治具作为装载工件的载体。搬送机构可将承载治具搬入和搬出真空镀膜室，以完成自动化上下料。不过，目前镀膜护板的维护往往是在真空镀膜等工艺处理完成后进行的，需要打开腔体取出护板，以进行更换和维护。另外，对于异形工件的镀膜，一般需要利用公自转实现更佳的镀膜均匀性。因此，承载治具往往是具有旋转轴的可自转结构。现有技术中，对于具有旋转轴的承载治具，在镀膜或搬送过程中，较易因抖动而产生掉膜，从而导致真空腔内部环境被污染，造成产品良率下降。

2、所以，亟需一种承载治具、镀膜用承载装置及真空镀膜机，以解决上问题。

技术实现思路

1、基于以上所述，本专利技术的目的在于提供一种承载治具、镀膜用承载装置及真空镀膜机，便于维护，镀膜效果更好，减少对镀膜室中部件的维护频率。

2、为达上述目的，本专利技术采用本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.承载治具，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的承载治具，其特征在于，所述防护部(13)包括顶板(131)、底板(132)和设置于所述顶板(131)和所述底板(132)之间的侧板(133)。

3.根据权利要求2所述的承载治具，其特征在于，所述侧板(133)可拆卸设置。

4.根据权利要求1所述的承载治具，其特征在于，所述连接部(11)设置有第一连接端(111)，所述安装载具(2)上设置有第一对接端(211)，所述第一连接端(111)能选择性连接于所述第一对接端(211)。

5.根据权利要求4所述的承载治具，其特征在于，所述第一连接端...

【技术特征摘要】

1.承载治具，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的承载治具，其特征在于，所述防护部(13)包括顶板(131)、底板(132)和设置于所述顶板(131)和所述底板(132)之间的侧板(133)。

3.根据权利要求2所述的承载治具，其特征在于，所述侧板(133)可拆卸设置。

4.根据权利要求1所述的承载治具，其特征在于，所述连接部(11)设置有第一连接端(111)，所述安装载具(2)上设置有第一对接端(211)，所述第一连接端(111)能选择性连接于所述第一对接端(211)。

5.根据权利要求4所述的承载治具，其特征在于，所述第一连接端(111)与所述安装载具(2)的连接面位于所述承载部(12)的周向外侧。

6.根据权利要求4所述的承载治具，其特征在于，所述安装载具(2)包括公转安装板(212)和自转安装板(213)，所述第一对接端(211)的连接面位于所述公转安装板(212)的周向外侧...

【专利技术属性】
技术研发人员：马淑莹，卢鹏，陈韶华，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：