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承载治具、镀膜用承载装置及真空镀膜机制造方法及图纸
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下载承载治具、镀膜用承载装置及真空镀膜机的技术资料
文档序号:41245090
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本发明涉及真空镀膜技术领域,公开一种承载治具、镀膜用承载装置及真空镀膜机。其中承载治具包括承载部、连接部和防护部,承载部用于承载待镀膜工件;连接部能与安装载具选择性连接;防护部设置于所述连接部,且位于待镀膜工件的一侧。本发明的承载治具能便于...
该专利属于光驰科技(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过光驰科技(上海)有限公司授权不得商用。
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