镀膜材料的加热方法及加热设备技术

本发明专利技术属于蒸镀工艺技术领域，公开了一种镀膜材料的加热方法及加热设备。镀膜材料的加热方法包括提供一膜料容器、一固定装置和一加热装置，膜料容器用于盛放镀膜材料，固定装置用于固定膜料容器，加热装置用于加热固定装置；在加热装置的初始加热功率为Pa的情况下，获取固定装置在设定时间t内的实际温度变化值ΔTa；获取初始加热功率为Pa情况下，固定装置的实际温度变化值ΔT与补偿功率ΔP的对应关系；根据温度变化值ΔT与补偿功率ΔP的对应关系，获取实际温度变化值为ΔTa时，固定装置的实际补偿功率ΔPa；加热装置以Pa+ΔPa对固定装置进行加热，使得固定装置加热膜料容器，进行真空镀膜，能够有效改善镀膜材料蒸发效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及蒸镀工艺，尤其涉及一种镀膜材料的加热方法及加热设备。

技术介绍

1、在蒸镀工艺中，可以利用加热装置对坩埚进行加热，从而使得坩埚内的材料汽化。现有技术中，通常采用温度控制方法对坩埚进行加热。例如，首先将坩埚搬送至被加热器加热的夹爪上，其后夹爪的温度将从初始的恒定温度开始下降，经过一定时间后，夹爪的温度恢复至初始温度；与此同时，在热传导作用下，坩埚被加热至预设温度。

2、然而，因受坩埚表面氧化或加工精度影响，坩埚和夹爪之间往往接触不充分，影响了热传导效率，导致坩埚无法在预定时间内被加热至预设温度，进而影响镀膜材料蒸发效果。例如，正常状态下，坩埚被搬送到被加热器加热的夹爪后，夹爪的温度先从305℃恒温下降(h1幅度)，其后再上升至初始温度305℃，此时，坩埚被加热至约190℃；在坩埚表面氧化或接触面不平时，坩埚被搬送到被加热器加热的夹爪后，夹爪的温度先从305℃恒温下降(h2幅度)，其后再上升至初始温度305℃，但h2小于h1，此时，坩埚被加热至约100℃，该温度低于预设温度190℃，不满足蒸发镀膜的温度要求。>

3、因此，亟本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种镀膜材料的加热方法，其特征在于，所述加热方法包括：

2.根据权利要求1所述的镀膜材料的加热方法，其特征在于，所述获取初始加热功率为Pa情况下，所述固定装置(400)的温度变化值ΔT与补偿功率ΔP的对应关系包括：

3.根据权利要求1所述的镀膜材料的加热方法，其特征在于，在所述加热装置的初始加热功率为Pa的情况下，针对所述膜料容器(300)，获取所述固定装置(400)在设定时间t内的实际温度变化值ΔTa，包括：

4.根据权利要求2所述的镀膜材料的加热方法，其特征在于，在所述加热装置的初始加热功率为Pa的情况下，针对N个所述测试膜料容器，获取所述固定...

【技术特征摘要】

1.一种镀膜材料的加热方法，其特征在于，所述加热方法包括：

2.根据权利要求1所述的镀膜材料的加热方法，其特征在于，所述获取初始加热功率为pa情况下，所述固定装置(400)的温度变化值δt与补偿功率δp的对应关系包括：

3.根据权利要求1所述的镀膜材料的加热方法，其特征在于，在所述加热装置的初始加热功率为pa的情况下，针对所述膜料容器(300)，获取所述固定装置(400)在设定时间t内的实际温度变化值δta，包括：

4.根据权利要求2所述的镀膜材料的加热方法，其特征在于，在所述加热装置的初始加热功率为pa的情况下，针对n个所述测试膜料容器，获取所述固定装置(400)在设定时间t内的实际温度变化值δtn，包括：

5.根据权利要求2所述的镀膜材料的加热方法，其特征在于，在所述加热装置的加热功率为pa的情况下，针对所述基准膜料容器，获取所述镀膜材料在设定时间t内的镀膜速率vs或镀膜厚度ds，包括：

6.根据权利要求2所述的镀膜材料的加热方法，其特征在于，调节所述加热装置的加热功率至pn，针对所述测试膜料容器，获取所述镀膜材料在设定时间t内的镀膜速率为vs±a或镀膜厚度为ds±b，0≤a≤vs×15％，0≤...

【专利技术属性】
技术研发人员：张波，何贤明，王德智，余龙，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：发明
国别省市：