【技术实现步骤摘要】
本技术涉及真空镀膜，尤其涉及搬送装置及真空镀膜设备。
技术介绍
1、真空镀膜是在真空条件下采用物理或化学方法，使物体表面获得沉积薄膜的一种技术。真空镀膜可使物体表面具有独特性能，例如，能够大幅度提高材料的光学、电学和机械等方面的性能，从而获得明显的经济效益。
2、在进行真空镀膜过程中，通常在镀膜过程之前利用机械泵对镀膜室进行初抽真空，再由分子泵获得高真空，其后在高真空坏境下进行的镀膜。为实现更佳的薄膜品质和镀膜效率，往往需要对镀膜基板进行自动化搬送。不过，目前的自动化搬送装置难以灵活调整基板位置，且结构较复杂，难以适应高效率的镀膜生产。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供搬送装置及真空镀膜设备，能够灵活调整基板位置，且自动化程度高，利于高效率的镀膜生产。
2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：
3、搬送装置，用于搬运载具，所述载具用于承载基板，包括：
4、升降台，所述升降台上穿设有驱动轴；
5、机械臂，所述机械臂的第一端设有挂接部，所述挂接部能与所述载具选择性挂接，所述机械臂的第二端连接所述驱动轴的第一端；
6、第一驱动件，设于所述升降台，所述第一驱动件与所述驱动轴驱动连接，
7、第二驱动件，与所述升降台驱动连接，所述第二驱动件能驱动所述升降台沿所述驱动轴的轴向升降。
8、作为一种搬送装置的可选方案，所述升降台开设有第一安装孔，所述驱动轴穿设于所述第一安装孔。
9、作为
10、作为一种搬送装置的可选方案，所述搬送装置还包括机架，所述机架包括顶板和底板，所述顶板和所述底板分别位于所述升降台的两侧，所述底板与所述顶板之间通过多根立柱连接，所述底板设于镀膜室的外壁。
11、作为一种搬送装置的可选方案，所述升降台上设有导孔，所述立柱滑动穿设于所述导孔。
12、作为一种搬送装置的可选方案，所述底板上设有第二安装孔，所述驱动轴穿过所述第二安装孔。
13、作为一种搬送装置的可选方案，所述搬送装置还包括套设于所述驱动轴的波纹管，所述波纹管一端与所述升降台的底部连接，另一端与所述底板连接。
14、作为一种搬送装置的可选方案，所述第二驱动件设于所述顶板，所述顶板与所述底板之间设有传动组件，所述传动组件与所述升降台传动连接。
15、作为一种搬送装置的可选方案，所述传动组件包括丝杠和设于所述升降台底部的顶升件，所述顶升件与所述丝杠螺纹连接。
16、作为一种搬送装置的可选方案，两个所述第二驱动件对称设于所述驱动轴的两侧，所述第二驱动件的驱动端与所述丝杠之间通过皮带传动连接。
17、作为一种搬送装置的可选方案，所述底板上螺接有多个调节螺栓，所述调节螺栓用于调整所述底板至水平位。
18、作为一种搬送装置的可选方案，所述挂接部包括主体和设于所述主体上的挂钩，所述载具上设有能与所述挂钩挂接配合的挂孔。
19、作为一种搬送装置的可选方案，所述搬送装置还包括原点检测组件，所述原点检测组件包括设于所述顶板上的检测盘和检测杆，所述检测盘固定在所述驱动轴的第二端，所述检测杆的顶部设有传感器，所述传感器用于检测所述检测盘的识别部。
20、真空镀膜设备，包括镀膜室，还包括以上任一方案所述的搬送装置。
21、有益效果：
22、本技术的第一方面中，载具用于对基板传递和承载，通过机械臂上的挂接部与载具挂接，完成对载具的搬送，同时，挂接部能与载具挂接配合，以使机械臂能够完整提起载具，另外也能使挂接部与载具脱钩，以使机械臂完成与载具的分离，通过第一驱动件驱动驱动轴，因为驱动轴的第一端与机械臂相连接，能带动机械臂绕着驱动轴的轴向转动，进一步地，通过第二驱动件带动升降台沿着竖直方向移动，进而能使驱动轴沿着设置方向移动，以保证挂接部能准确完成挂接和脱扣的动作，此时，第一驱动件也会随着升降台沿着竖直方向移动。本装置能同时使载具具备沿着驱动轴的轴向移动和周向转动两个自由度，提升了搬送装置对于基板的位置调整的灵活性，进一步提升自动化程度，有利于高效率的镀膜生产。
23、本技术的第二方面中，配置有以上的搬送装置的真空镀膜设备，提升了镀膜生产的自动化程度和效率。
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1.搬送装置，用于搬运载具(100)，所述载具(100)用于承载基板(200)，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，所述升降台(1)开设有第一安装孔，所述驱动轴(11)穿设于所述第一安装孔。
3.根据权利要求2所述的搬送装置，其特征在于，所述驱动轴(11)上套设有磁流体(12)，所述磁流体(12)的固定在所述升降台(1)。
4.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，所述搬送装置还包括机架(5)，所述机架(5)包括顶板(51)和底板(52)，所述顶板(51)和所述底板(52)分别位于所述升降台(1)的两侧，所述底板(52)与所述顶板(51)之间通过多根立柱(53)连接，所述底板(52)设于镀膜室的外壁。
5.根据权利要求4所述的搬送装置，其特征在于，所述升降台(1)上设有导孔，所述立柱(53)滑动穿设于所述导孔。
6.根据权利要求5所述的搬送装置，其特征在于，所述底板(52)上设有第二安装孔，所述驱动轴(11)穿过所述第二安装孔。
7.根据权利要求6所述的搬送装置，其特征在于，
8.根据权利要求4所述的搬送装置，其特征在于，所述第二驱动件(4)设于所述顶板(51)，所述顶板(51)与所述底板(52)之间设有传动组件(54)，所述传动组件(54)与所述升降台(1)传动连接。
9.根据权利要求8所述的搬送装置，其特征在于，所述传动组件(54)包括丝杠(541)和设于所述升降台(1)底部的顶升件(542)，所述顶升件(542)与所述丝杠(541)螺纹连接。
10.根据权利要求9所述的搬送装置，其特征在于，两个所述第二驱动件(4)对称设于所述驱动轴(11)的两侧，所述第二驱动件(4)的驱动端与所述丝杠(541)之间通过皮带(41)传动连接。
11.根据权利要求4所述的搬送装置，其特征在于，所述底板(52)上螺接有多个调节螺栓(55)，所述调节螺栓(55)用于调整所述底板(52)至水平位。
12.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，所述挂接部(21)包括主体(211)和设于所述主体(211)上的挂钩(212)，所述载具(100)上设有能与所述挂钩(212)挂接配合的挂孔(110)。
13.根据权利要求4所述的搬送装置，其特征在于，所述搬送装置还包括原点检测组件(6)，所述原点检测组件(6)包括设于所述顶板(51)上的检测盘(61)和检测杆(62)，所述检测盘(61)固定在所述驱动轴(11)的第二端，所述检测杆(62)的顶部设有传感器，所述传感器用于检测所述检测盘(61)的识别部。
14.真空镀膜设备，包括镀膜室，其特征在于，还包括如权利要求1-13任一项所述的搬送装置。
...【技术特征摘要】
1.搬送装置，用于搬运载具(100)，所述载具(100)用于承载基板(200)，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，所述升降台(1)开设有第一安装孔，所述驱动轴(11)穿设于所述第一安装孔。
3.根据权利要求2所述的搬送装置，其特征在于，所述驱动轴(11)上套设有磁流体(12)，所述磁流体(12)的固定在所述升降台(1)。
4.根据权利要求1所述的搬送装置，其特征在于，所述搬送装置还包括机架(5)，所述机架(5)包括顶板(51)和底板(52)，所述顶板(51)和所述底板(52)分别位于所述升降台(1)的两侧，所述底板(52)与所述顶板(51)之间通过多根立柱(53)连接，所述底板(52)设于镀膜室的外壁。
5.根据权利要求4所述的搬送装置，其特征在于，所述升降台(1)上设有导孔，所述立柱(53)滑动穿设于所述导孔。
6.根据权利要求5所述的搬送装置，其特征在于，所述底板(52)上设有第二安装孔，所述驱动轴(11)穿过所述第二安装孔。
7.根据权利要求6所述的搬送装置，其特征在于，所述搬送装置还包括套设于所述驱动轴(11)的波纹管(13)，所述波纹管(13)一端与所述升降台(1)的底部连接，另一端与所述底板(52)连接。
8.根据权利要求4所述的搬送装置，其特征在于，所述第二驱动件(4)设于所述顶板(51)，所述顶板(51)与所述底板(5...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘大承，龙汝磊，邵鑫，吴萍，
申请(专利权)人：光驰科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：
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