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本技术属于真空镀膜技术领域，公开了镀膜室及镀膜设备。该镀膜室包括镀膜腔、第一驱动件、第二驱动件和镀膜源；第一驱动件与第一旋转盘传动连接，第一旋转盘设于镀膜腔内，第一驱动件能使第一旋转盘自转；第二驱动件与多个第二旋转盘传动连接，第二驱动件能使...
该专利属于光驰科技（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过光驰科技（上海）有限公司授权不得商用。

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