【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片加工，尤其涉及支撑装置及镀膜设备。
技术介绍
1、随着pvd单机产能的扩大，一方面需提高设备生产节拍，另一方面需使用大尺寸载板，以加快硅片生产效率。
2、目前随着载板尺寸的加大，载板跨度也随之增加，造成载板的变形量增加，载板变形量的加大会直接影响镀膜品质及增加碎片率。现有技术中通常通过增加载板上横梁的强度以减小载板的变形量，但是这种方式会使得载板的重量增加，相关配套零部件的成本也随之增加。
3、因此，亟需一种支撑装置及镀膜设备以解决上述问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种支撑装置及镀膜设备，能够对载板具有较好的支撑效果，有效避免载板变形，避免硅片碎片及确保镀膜品质。
2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：
3、支撑装置，用于支撑载板，支撑装置包括第一安装件、第二安装件和支撑件，第一安装件包括相对设置的第一表面和第二表面，第一表面面向载板，第二安装件设于所述第一表面，支撑件可转动安装在第二安装件远离第一安装件的一端，支撑件用于支撑载板。
4、作为一种可选的技术方案，支撑件与载板之间为滚动摩擦。
5、作为一种可选的技术方案，支撑件为具有一定形变能力的结构件。
6、作为一种可选的技术方案，第二安装件能沿第一方向往复移动地靠近或远离第一表面，其中，第一方向为载板的厚度方向。
7、作为一种可选的技术方案，支撑装置还包括减震组件，减震组件设置于第一安装件和第二安装件之间
8、作为一种可选的技术方案，减震组件包括连接件和套设于连接件外周的弹性件，连接件的一端固定设置于第一安装件，第二安装件沿第一方向可滑动设于连接件的另一端，弹性件两端分别抵接于第一安装件和第二安装件，以使第二安装件能沿第一方向往复移动地靠近或远离第一表面，弹性件用于吸收载板在沿支撑件移动过程中发生的震动。
9、作为一种可选的技术方案，第二安装件开设有第一滑槽；连接件包括在第一方向上相对设置的第一端和第二端，第一端固定设置于第一安装件，第二端沿第一方向可滑动设置于第一滑槽中，且第二端形成有第一限位部，第一限位部用于防止第二端从第一滑槽中脱离。
10、作为一种可选的技术方案，支撑装置还包括导向件，导向件的一端设于第一安装件，第二安装件沿第一方向可滑动设于导向件的另一端，以使第二安装件能沿第一方向往复移动地靠近或远离第一表面。
11、作为一种可选的技术方案，第二安装件开设有第二滑槽；导向件包括在第一方向上相对设置的第三端和第四端，第三端固定设置于第一安装件，第四端沿第一方向可滑动设于第二滑槽中，且所述第四端形成有第二限位部，第二限位部用于限制第四端从第二滑槽中脱离。
12、作为一种可选的技术方案，导向件包括两个，两个导向件分别设于减震组件两侧。
13、本技术还公开一种镀膜设备，该镀膜设备包括腔体，还包括上述的支撑装置，腔体用于收纳载板；支撑装置安装于腔体，支撑装置用于支撑载板。
14、作为一种可选的技术方案，支撑装置设置有多个，多个支撑装置沿第二方向和/或第三方向间隔设置；第二方向为载板的宽度方向，第三方向为载板的长度方向。
15、本技术的有益效果：
16、本技术实施例的支撑装置，通过设置支撑件和第二安装件，支撑件可转动设于第二支撑件，在载板移动时，支撑件与载板相接触，支撑件能够对载板提供支撑，用于防止载板出现变形问题，与现有技术相比，无需采用加粗载板上横梁的方式来减小载板的形变量，进而无需增加载板的重量，从而降低相关配套零部件的成本。
17、相对于现有技术，本技术所述的镀膜设备具有的优势与支撑装置相同，这里不再赘述。
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1.支撑装置，用于支撑载板(2)，其特征在于，所述支撑装置(1)包括：
2.根据权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑件(30)与所述载板(2)之间为滚动摩擦。
3.根据权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑件(30)为具有一定形变能力的结构件。
4.根据权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述第二安装件(20)能沿第一方向往复移动地靠近或远离所述第一表面(11)，其中，第一方向为所述载板(2)的厚度方向。
5.根据权利要求4所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑装置(1)还包括减震组件(40)，所述减震组件(40)设置于所述第一安装件(10)和所述第二安装件(20)之间，所述减震组件(40)能够发生弹性形变以吸收所述载板(2)在沿所述支撑件(30)移动过程中发生的震动。
6.根据权利要求5所述的支撑装置，其特征在于，所述减震组件(40)包括连接件(41)和套设于所述连接件(41)外周的弹性件(42)，所述连接件(41)的一端固定设置于所述第一安装件(10)，所述第二安装件(20)沿所述第一方向可滑动设于
7.根据权利要求6所述的支撑装置，其特征在于，所述第二安装件(20)开设有第一滑槽(21)；所述连接件(41)包括在所述第一方向上相对设置的第一端(411)和第二端(412)，所述第一端(411)固定设置于所述第一安装件(10)，所述第二端(412)沿所述第一方向可滑动设置于所述第一滑槽(21)中，且所述第二端(412)形成有第一限位部，所述第一限位部用于防止所述第二端(412)从所述第一滑槽(21)中脱离。
8.根据权利要求5所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑装置(1)还包括导向件(43)，所述导向件(43)的一端设于所述第一安装件(10)，所述第二安装件(20)沿所述第一方向可滑动设于所述导向件(43)的另一端，以使所述第二安装件能沿所述第一方向往复移动地靠近或远离所述第一表面。
9.根据权利要求8所述的支撑装置，其特征在于，所述第二安装件(20)开设有第二滑槽(22)；所述导向件(43)包括在所述第一方向上相对设置的第三端(431)和第四端(432)，所述第三端(431)固定设置于所述第一安装件(10)，所述第四端(432)沿所述第一方向可滑动设于所述第二滑槽(22)中，且所述第四端(432)形成有第二限位部(433)，所述第二限位部(433)用于防止所述第四端(432)从所述第二滑槽(22)中脱离。
10.根据权利要求8所述的支撑装置，其特征在于，所述导向件(43)包括两个，两个所述导向件(43)分别设于所述减震组件(40)两侧。
11.镀膜设备，包括腔体，其特征在于，所述镀膜设备还包括如权利要求1-9任一项所述的支撑装置(1)，所述腔体用于收纳所述载板(2)；所述支撑装置(1)安装于所述腔体，所述支撑装置(1)用于支撑所述载板(2)。
12.根据权利要求11所述的镀膜设备，其特征在于，所述支撑装置(1)设置有多个，多个所述支撑装置(1)沿第二方向和/或第三方向间隔设置；所述第二方向为所述载板(2)的宽度方向，所述第三方向为所述载板(2)的长度方向。
...【技术特征摘要】
1.支撑装置，用于支撑载板(2)，其特征在于，所述支撑装置(1)包括：
2.根据权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑件(30)与所述载板(2)之间为滚动摩擦。
3.根据权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑件(30)为具有一定形变能力的结构件。
4.根据权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述第二安装件(20)能沿第一方向往复移动地靠近或远离所述第一表面(11)，其中，第一方向为所述载板(2)的厚度方向。
5.根据权利要求4所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑装置(1)还包括减震组件(40)，所述减震组件(40)设置于所述第一安装件(10)和所述第二安装件(20)之间，所述减震组件(40)能够发生弹性形变以吸收所述载板(2)在沿所述支撑件(30)移动过程中发生的震动。
6.根据权利要求5所述的支撑装置，其特征在于，所述减震组件(40)包括连接件(41)和套设于所述连接件(41)外周的弹性件(42)，所述连接件(41)的一端固定设置于所述第一安装件(10)，所述第二安装件(20)沿所述第一方向可滑动设于所述连接件(41)的另一端，所述弹性件(42)两端分别抵接于所述第一安装件(10)和所述第二安装件(20)，以使所述第二安装件(20)能沿所述第一方向往复移动地靠近或远离所述第一表面(11)，所述弹性件(42)用于吸收所述载板(2)在沿所述支撑件(30)移动过程中发生的震动。
7.根据权利要求6所述的支撑装置，其特征在于，所述第二安装件(20)开设有第一滑槽(21)；所述连接件(41)包括在所述第一方向上相对设置的第一端(411)和第二端(412)，所述第一端(411)固定设置于所述第一安装件(10)，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：祁文杰，张武，刘群，
申请(专利权)人：拉普拉斯西安科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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