【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片加工，尤其涉及支撑装置及镀膜设备。
技术介绍
1、随着pvd单机产能的扩大，一方面需提高设备生产节拍，另一方面需使用大尺寸载板，以加快硅片生产效率。
2、目前随着载板尺寸的加大，载板跨度也随之增加，造成载板的变形量增加，载板变形量的加大会直接影响镀膜品质及增加碎片率。现有技术中通常通过增加载板上横梁的强度以减小载板的变形量，但是这种方式会使得载板的重量增加，相关配套零部件的成本也随之增加。
3、因此，亟需一种支撑装置及镀膜设备以解决上述问题。
技术实现思路
1、本技术的目的在于提供一种支撑装置及镀膜设备，能够对载板具有较好的支撑效果，有效避免载板变形，避免硅片碎片及确保镀膜品质。
2、为达此目的，本技术采用以下技术方案：
3、支撑装置，用于支撑载板，支撑装置包括第一安装件、第二安装件和支撑件，第一安装件包括相对设置的第一表面和第二表面，第一表面面向载板，第二安装件设于所述第一表面，支撑件可转动安装在第二安装件远离第一安装件的一端...
【技术保护点】
1.支撑装置，用于支撑载板(2)，其特征在于，所述支撑装置(1)包括：
2.根据权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑件(30)与所述载板(2)之间为滚动摩擦。
3.根据权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑件(30)为具有一定形变能力的结构件。
4.根据权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述第二安装件(20)能沿第一方向往复移动地靠近或远离所述第一表面(11)，其中，第一方向为所述载板(2)的厚度方向。
5.根据权利要求4所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑装置(1)还包括减震组件(40)，所述减震...
【技术特征摘要】
1.支撑装置，用于支撑载板(2)，其特征在于，所述支撑装置(1)包括：
2.根据权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑件(30)与所述载板(2)之间为滚动摩擦。
3.根据权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑件(30)为具有一定形变能力的结构件。
4.根据权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述第二安装件(20)能沿第一方向往复移动地靠近或远离所述第一表面(11)，其中，第一方向为所述载板(2)的厚度方向。
5.根据权利要求4所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑装置(1)还包括减震组件(40)，所述减震组件(40)设置于所述第一安装件(10)和所述第二安装件(20)之间，所述减震组件(40)能够发生弹性形变以吸收所述载板(2)在沿所述支撑件(30)移动过程中发生的震动。
6.根据权利要求5所述的支撑装置，其特征在于，所述减震组件(40)包括连接件(41)和套设于所述连接件(41)外周的弹性件(42)，所述连接件(41)的一端固定设置于所述第一安装件(10)，所述第二安装件(20)沿所述第一方向可滑动设于所述连接件(41)的另一端，所述弹性件(42)两端分别抵接于所述第一安装件(10)和所述第二安装件(20)，以使所述第二安装件(20)能沿所述第一方向往复移动地靠近或远离所述第一表面(11)，所述弹性件(42)用于吸收所述载板(2)在沿所述支撑件(30)移动过程中发生的震动。
7.根据权利要求6所述的支撑装置，其特征在于，所述第二安装件(20)开设有第一滑槽(21)；所述连接件(41)包括在所述第一方向上相对设置的第一端(411)和第二端(412)，所述第一端(411)固定设置于所述第一安装件(10)，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：祁文杰，张武，刘群，
申请(专利权)人：拉普拉斯西安科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：
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