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本技术属于硅片加工技术领域，公开了支撑装置及镀膜设备。该支撑装置包括第一安装件、第二安装件和支撑件，第二安装件设置于第一安装件上方，支撑件转动设置于第二安装件远离第一安装件的一端，用于支撑载板。在载板移动的过程中，支撑件能够对载板提供支撑，...
该专利属于拉普拉斯（西安）科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过拉普拉斯（西安）科技有限责任公司授权不得商用。

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