晶圆存储货架制造技术

本实用新型专利技术提供了一种晶圆存储货架，包括承载部以及位于所述承载部四周的止挡部，用以从四个方向固定承载晶圆的晶圆盒。此晶圆存储货架通过止挡部的可移动设计，能够承载不同大小的晶圆盒，由于可转动因而方便操作人员查看晶圆盒的各个面。相比于现有技术更为方便，也保证了晶圆盒的安全。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体领域，尤其涉及一种晶圆存储货架。
技术介绍
晶圆(Wafer)是生产集成电路所用的载体，一般意义晶圆多指单晶硅圆片。晶圆按其直径分为4英寸、5英寸、6英寸、8英寸等规格，近来发展出12英寸甚至研发更大规格(14英寸、15英寸、16英寸、……20英寸以上等)。晶圆越大，同一圆片上可生产的IC就越多，可降低成本；但对材料技术和生产技术的要求更高。一般会将晶圆存储于晶圆盒中，再使用货架进行晶圆盒存储，此货架对产线中的晶圆存储足够使用，但对于晶圆成品仓库中做好真空包装的晶圆盒存储，却有如下不足:1.货架上的用于消防安全的孔洞设计，使人员在操作时容易对真空包装袋造成摩擦损坏，从而导致真空泄露；2.成品仓库中的晶圆数量巨大，且很多要存储很长时间，因此在操作人员需要盘点及搬运晶圆盒，晶圆盒在货架上频繁的摩擦甚至不当的操作很容易造成真空包装的损坏。对于真空包装损坏的晶圆，如发现及时，则需要重新进行包装，浪费人力物力；如发现不及时，则对晶圆的良品率产生严重影响。
技术实现思路
为解决现有技术存在的问题，本技术提供了一种晶圆存储货架，包括承载部以及位于所述承载部四周的止挡部，用以从四个方向固定承载晶圆的晶圆盒。可选的，所述晶圆存储货架还包括两个相互垂直的滑轨，所述承载部固定于两个所述滑轨的交叉处，所述止挡部可在所述滑轨上滑动，以靠近或远离所述晶圆盒。可选的，所述止挡部上具有第一锁固件，用于在所述止挡部滑动至所述滑轨的特定位置时锁固所述止挡部。可选的，每个所述滑轨由两根平行的滑竿构成，两滑竿的距离不大于所述止挡部的宽度。可选的，所述晶圆存储货架还包括设置于所述止挡部两侧的固定件，所述止挡部通过所述固定件滑动连接两根所述滑竿。可选的，所述承载部位于4根所述滑竿围成的矩形上。可选的，所述晶圆存储货架还包括环绕所述承载部和所述止挡部的圆形导轨，所述滑轨于所述圆形导轨的直径方向连接所述圆形导轨的两侧，且能围绕所述圆形导轨的中心转动。可选的，所述圆形导轨呈中空的管状，所述滑轨的两端伸入并通过球状端点卡合于所述管状内部。可选的，所述滑轨的两端包含第二锁固件，用于在所述滑轨转动至所述圆形导轨的特定位置时锁固所述滑轨。可选的，所述第二锁固件位于所述球状端点上，通过卡住所述球状端点与所述圆形导轨之间的孔隙以锁固所述滑竿。本技术提供了一种货架，包括承载部以及位于所述承载部四周的止挡部，用以从四个方向固定承载晶圆的晶圆盒。此晶圆存储货架通过止挡部的可移动设计，能够承载不同大小的晶圆盒，由于可转动而方便操作人员查看晶圆盒的各个面。相比于现有技术更为方便，也保证了晶圆盒的安全。【附图说明】图1为本技术一实施例所述晶圆存储货架的俯视图；图2为本技术一实施例所述晶圆存储货架中止挡部的结构示意图；图3为本技术一实施例所述晶圆存储货架中圆形导轨及球状端点的剖面图；图4为本技术一实施例所述晶圆存储货架承载晶圆盒的立体图。【具体实施方式】以下结合附图和具体实施例对本技术作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本技术的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比率，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。如图1所示，本技术提供了一种晶圆存储货架，包括承载部10以及位于所述承载部10四周的止挡部20，止挡部20用以从四个方向固定晶圆盒。在本实施例中，晶圆存储货架还包括两个相互垂直的滑轨，所述承载部10固定于两个所述滑轨的交叉处，所述止挡部20可在所述滑轨上滑动，以靠近或远离所述晶圆盒(图1中箭头I方向)。每个所述滑轨由两根平行的滑竿30构成，两滑竿30的距离不大于所述止挡部20的宽度，止挡部20的两端分别可滑动固定于所述两根滑竿30上。具体的，每两根平行滑竿30的距离可以等于止挡部20的宽度，也可以小于止挡部20的宽度，使得止挡部20的两端能够分别连接到所述两根滑竿30上。每个止挡部20均包含第一锁固件21，用于在所述止挡部滑动至所述滑轨的特定位置时锁固所述止挡部20。优选方案中，每个止挡部20的第一锁固件21分别位于止挡部20的两端，当止挡部20滑动到所需的位置时，利用两端的第一锁固件21固定住止挡部20，使得止挡部20不能够相对于滑竿30滑动。利用此结构，本技术的货架可以适应不同晶圆盒的大小。将晶圆盒放置于承载部10上以后，再将周围的止挡部20滑向晶圆盒，以从四个方向将晶圆盒夹住，以稳稳地将晶圆盒固定在承载部上。由于本实施例中共有两个滑轨，即4跟两两平行的滑竿组成，因此所述承载部固定于4根所述滑竿30围成的矩形上。在本实施例中，承载部10的大小可以大于4根滑竿30围成的矩形，也可以等于4根滑竿30围成的矩形，对于承载部10的大小，本技术不作限制。如图2所示，止挡部20的两端具有固定件22，止挡部20通过所述固定件22可滑动连接两根所述滑竿30。具体的，固定件22固定连接于止挡部20的两侧，固定件22的下方呈环状，用于套设于滑竿30上以在滑竿30上滑动。继续参见图1，本技术的晶圆存储货架还包括环绕所述承载部10和所述止挡部20的圆形导轨40，所述滑竿30于所述圆形导轨40的直径方向连接所述圆形导轨40的两侧，且能围绕所述圆形导轨40的中心转动(图1中箭头2方向)。如图3所示，图3为圆形导轨40的剖面图。在本实施例中，圆形导轨40呈中空的管状，所述滑竿30的两端伸入并通过球状端点31卡合于所述管状的内部。优选方案中，环绕所述滑竿30的周围具有一个圆环，所述圆环上连接多个球状端点31，均伸入圆形导轨40的内部，使得承载部10能够通过滑竿30而围绕圆形导轨40的中心点转动。所述球状端点31的数量至少为3个，以将4根滑竿托起，也可以为多个，用以更好地将4跟滑竿与圆形导轨40固定。对于球状端点31的具体数量，本技术不作限制。继续参见图3，滑竿30的两端还包含第二锁固件32，用于在所述滑竿30转动至所述圆形导轨40的特定位置时锁固所述滑竿30。本实施例中，第二锁固件32位于球状端点31上，通过卡住球状端点31与圆形导轨40之间的孔隙，以固定滑竿30，使得滑竿30相对圆形导轨40静止。通过上述可转动的结构，操作人员可以在不取下晶圆盒的情况下，通过转动晶圆盒来查看晶圆盒的情况。在存储真空包装后的晶圆上，本技术的优势明显。下面以一实施例详细说明本技术所述晶圆存储货架在晶圆盒存储上的使用过程。如图4所示，使用者将晶圆盒100放置于承载部10上，并将周围的止挡部20向已放置的晶圆盒滑动，以从4个方向夹住所述晶圆盒100 ;之后，利用止挡部20的第一所固件21将止挡部20固定于滑竿30上，以免止挡部20相对于滑竿30滑动。如此一来，即可牢固地将晶圆盒100固定在承载部10上。由于止挡部20可以在滑竿30上滑动且能在滑竿30的任意位置固定，因此本技术的货架可以用于承载不同大小和尺寸的晶圆盒。晶圆盒100放置并固定于承载部10上以后，若操作人员需要检查或盘点晶圆盒，只需用手转动所述晶圆盒100，晶圆盒100即可带动滑竿30—起围绕圆形导轨40转动。如此一来，操作人员能够在不取下晶圆盒100的情况下查看晶圆盒100各个面的情况。本技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种晶圆存储货架，其特征在于，包括承载部以及位于所述承载部四周的止挡部，用以从四个方向固定承载晶圆的晶圆盒。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张学良，高海林，
申请(专利权)人：中芯国际集成电路制造北京有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11