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本实用新型提供了一种晶圆存储货架，包括承载部以及位于所述承载部四周的止挡部，用以从四个方向固定承载晶圆的晶圆盒。此晶圆存储货架通过止挡部的可移动设计，能够承载不同大小的晶圆盒，由于可转动因而方便操作人员查看晶圆盒的各个面。相比于现有技术更为...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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