薄膜晶体管基板及利用该薄膜晶体管基板的显示装置制造方法及图纸

本申请涉及一种在相同基板上具有两种不同类型的薄膜晶体管的薄膜晶体管基板及利用该薄膜晶体管基板的显示装置。本申请提出了一种薄膜晶体管基板，其包括：基板；设置在所述基板上的第一薄膜晶体管，包括多晶半导体层、在所述多晶半导体层上的第一栅极电极、第一源极电极以及第一漏极电极；设置在所述基板上的第二薄膜晶体管，包括第二栅极电极、在所述第二栅极电极上的氧化物半导体层、第二源极电极以及第二漏极电极；以及包括氮化物层及在所述氮化物层上的氧化物层的中间绝缘层，所述中间绝缘层设置在所述第一栅极电极和第二栅极电极之上并在所述氧化物半导体层之下。

【技术实现步骤摘要】
薄膜晶体管基板及利用该薄膜晶体管基板的显示装置
本申请涉及一种在相同基板上具有两种不同类型的薄膜晶体管的薄膜晶体管基板及利用该薄膜晶体管基板的显示装置。
技术介绍
如今，随着信息化社会的发展，针对用以显示信息的显示装置的需求正在增加。因此，开发了多种平板显示装置(或FPD)以克服阴极射线管(或CRT)的缺点，例如重量高及体积大。平板显示装置包括液晶显示装置(或LCD)、等离子显示面板(或PDP)、有机发光显示装置(或OLED)以及电泳显示装置(或ED)。平板显示装置的显示面板可以包括在以矩阵方式排列的像素区域内设置有薄膜晶体管的薄膜晶体管基板。例如，液晶显示装置(或LCD)通过利用电场控制液晶层的光透射率以表现视频数据。有机发光二极管显示装置的以矩阵方式设置的每一像素中形成了有机发光二极管，因此有机发光二极管显示装置通过产生正确受控的光以表现视频数据。作为自发光显示装置，有机发光二极管显示装置具有响应速度非常快、亮度非常高及视角大的优点。利用了能量效率优异的有机发光二极管的有机发光二极管显示装置(或OLED)可分为无源矩阵型的有机发光二极管显示装置(或PMOLED)和有源矩阵型的有机本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种薄膜晶体管基板，包括：基板；设置在所述基板上的第一薄膜晶体管，包括多晶半导体层、在所述多晶半导体层上的第一栅极电极、第一源极电极以及第一漏极电极；设置在所述基板上的第二薄膜晶体管，包括第二栅极电极、在所述第二栅极电极上的氧化物半导体层、第二源极电极以及第二漏极电极；以及包括氮化物层及在所述氮化物层上的氧化物层的中间绝缘层，所述中间绝缘层设置在第一栅极电极和第二栅极电极之上并在所述氧化物半导体层之下。

【技术特征摘要】
2014.02.24 US 61/943，628;2015.02.23 US 14/628，3781.一种薄膜晶体管基板，包括：基板；设置在所述基板上的第一薄膜晶体管，包括多晶半导体层、在所述多晶半导体层上的第一栅极电极、第一源极电极以及第一漏极电极；设置在所述基板上的第二薄膜晶体管，包括第二栅极电极、在所述第二栅极电极上的氧化物半导体层、第二源极电极以及第二漏极电极；以及包括氮化物层及在所述氮化物层上的氧化物层的中间绝缘层，所述中间绝缘层设置在第一栅极电极和第二栅极电极之上并在第一栅极电极、第二栅极电极与所述氧化物半导体层之间，其中氮化物层覆盖第一薄膜晶体管的第一栅极电极和第二薄膜晶体管的第二栅极电极，以在多晶半导体层的氢化工艺中将来自氮化物层的氢粒子扩散到多晶半导体层中，其中氧化物层覆盖氮化物层以防止氮化物层中的氢粒子扩散到氧化物半导体层。2.根据权利要求1所述的薄膜晶体管基板，还包括覆盖所述多晶半导体层的栅极绝缘层。3.根据权利要求2所述的薄膜晶体管基板，其中所述第一栅极电极和第二栅极电极形成在所述栅极绝缘层上。4.根据权利要求2所述的薄膜晶体管基板，其中所述第一源极电极设置在中间绝缘层上，并通过贯穿中间绝缘层和栅极绝缘层的源极接触孔连接到多晶半导体层的一部分，其中所述第一漏极电极设置在中间绝缘层上，并通过贯穿中间绝缘层和栅极绝缘层的漏极接触孔连接到多晶半导体层的另一部分，其中所述第二源极电极接触所述中间绝缘层上的氧化物半导体层的一部分，以及其中所述第二漏极电极接触所述中间绝缘层上的氧化物半导体层的另一部分。5.根据权...

【专利技术属性】
技术研发人员：李瑛长，孙庚模，李昭珩，朴文镐，李成秦，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR