薄膜晶体管基板和使用该薄膜晶体管基板的显示装置制造方法及图纸

本文涉及一种在同一基板上具备两种不同类型薄膜晶体管的薄膜晶体管基板和使用该薄膜晶体管基板的显示装置。本文提出的显示装置包括：包括多晶半导体层、多晶半导体层上方的第一栅极电极、第一源极电极和第一漏极电极的第一薄膜晶体管；包括第二栅极电极、第二栅极电极上方的氧化物半导体层、第二源极电极和第二漏极电极的第二薄膜晶体管；包括氮化物层并且设置在第一栅极电极上的中间绝缘层；和覆盖第二栅极电极并且设置在中间绝缘层上的氧化物层，其中氧化物半导体层设置在氧化物层上并且与第二栅极电极重叠，第一源极电极、第一漏极电极和第二栅极电极设置于中间绝缘层与氧化物层之间，并且第二源极电极和第二漏极电极设置在氧化物半导体层上。

【技术实现步骤摘要】
本申请要求享有于2014年2月24日提出的韩国专利申请第10-2014-0021500号和于2015年2月23日提出的韩国专利申请第10-2015-0025174号的权益，为所有目的通过引用将该申请结合在此，如同在此全部阐述一样。
本文涉及一种在同一基板上具有两种不同类型的薄膜晶体管的薄膜晶体管基板及利用这种薄膜晶体管基板的显示装置。
技术介绍
如今随着信息化社会的发展，针对用以显示信息的显示装置的要求也在增加。因此，开发了各种平板显示装置(或者“FPD”)来克服阴极射线管(或者“CRT”)的许多缺陷，例如重量重和体积大。平板显示装置包括液晶显示装置(或者“LCD”)、等离子显示面板(或者“PDP”)、有机发光显示装置(或者“OLED”)以及电泳显示装置(或者“ED”)。平板显示装置的显示面板可以包括薄膜晶体管基板，该薄膜晶体管基板具有以矩阵方式排列的各像素区域内分配的薄膜晶体管。例如，液晶显示装置(或者“LCD”)通过利用电场来控制液晶层的光透射率而呈现视频数据。有机发光二极管显示装置通过在以矩阵方式设置的各像素处由于其中形成有机发光二极管来适当产生受控光而显示视频数据。作为自发光显示装置，有机发光二极管显示装置具有响应速度非常快、亮度非常高且视角大的优点。利用了能量效率优异的有机发光二极管的有机发光二极管显示装置(或者“OLED”)能被分为无源矩阵型有机发光二极管显示装置(或者“PMOLED”)和有源矩阵型有机发光二极管显示装置(或“AMOLED”)。随着个人用具更加盛行，便携式和/或可穿戴装置也被积极地开发。为了采用至目前为止已开发的技术，获得具有优异低功耗特性的显示装置还是有所限制。
技术实现思路
为了克服上述缺陷，本文的目的在于提出一种用于平板显示装置的薄膜晶体管基板，这种薄膜晶体管基板在同一基板上具有在特性方面相互不同的至少两种薄膜晶体管。本文的另一目的在于提出一种通过优化的制造工艺及最少化的掩模工艺而制造的具有两种不同类型薄膜晶体管的用于平板显示装置的薄膜晶体管基板。为了达到上述目的，本文提出一种显示装置，该显示装置包括：第一薄膜晶体管，所述第一薄膜晶体管包括多晶半导体层、所述多晶半导体层上方的第一栅极电极、第一源极电极和第一漏极电极；第二薄膜晶体管，所述第二薄膜晶体管包括第二栅极电极、所述第二栅极电极上方的氧化物半导体层、第二源极电极和第二漏极电极；中间绝缘层，所述中间绝缘层包括氮化物层并且设置在所述第一栅极电极上；和氧化物层，所述氧化物层覆盖所述第二栅极电极并且设置在所述中间绝缘层上，其中所述氧化物半导体层设置在所述氧化物层上并且与所述第二栅极电极重叠，其中所述第一源极电极、所述第一漏极电极和所述第二栅极电极设置于所述中间绝缘层与所述氧化物层之间，并且其中所述第二源极电极和所述第二漏极电极设置在所述氧化物半导体层上。在一个实施方式中，显示装置还包括：驱动器，其中所述第一薄膜晶体管和所述第二薄膜晶体管至少之一设置在像素中，并且其中所述第一薄膜晶体管和所述第二薄膜晶体管至少之一设置在所述驱动器处。在一个实施方式中，显示装置还包括：栅极绝缘层，所述栅极绝缘层覆盖所述多晶半导体层，其中所述第一栅极电极设置在所述栅极绝缘层上并且与所述多晶半导体层重叠。在一个实施方式中，所述第二薄膜晶体管是用于选择像素的开关元件，并且所述第一薄膜晶体管是驱动元件，所述驱动元件用于驱动所述第二薄膜晶体管所选择的所述像素的有机发光二极管。在一个实施方式中，所述驱动器包括：数据驱动器，所述数据驱动器输出数据电压；多工器，所述多工器把来自所述数据驱动器的所述数据电压分配给数据线；和栅极驱动器，所述栅极驱动器把扫描脉冲输出给栅极线，其中所述第一薄膜晶体管和所述第二薄膜晶体管至少之一设置在所述多工器和所述栅极驱动器任何一个处。在一个实施方式中，所述第一源极电极通过贯通所述中间绝缘层和所述栅极绝缘层的源极接触孔而连接至所述多晶半导体层的一个部分，所述第一漏极电极通过贯通所述中间绝缘层和所述栅极绝缘层的漏极接触孔而连接至所述多晶半导体层的另一个部分，所述第二源极电极接触所述氧化物半导体层的一个部分，并且所述第二漏极电极接触所述氧化物半导体层的另一个部分。在一个实施方式中，所述第一源极电极和所述第一漏极电极包括与所述第二栅极电极相同的材料。在一个实施方式中，所述第二栅极电极通过贯通所述中间绝缘层的栅极接触孔而连接至栅极线，所述栅极线包括与所述第一栅极电极相同的材料。在一个实施方式中，所述第二源极电极通过数据接触孔而连接至数据线，所述数据线包括与所述第二栅极电极相同的材料。在一个实施方式中，所述中间绝缘层还包括下氧化物层。在一个实施方式中，所述氮化物层设置在所述下氧化物层上。另外，本文提出一种显示装置，该显示装置包括：第一半导体层，所述第一半导体层包括多晶半导体材料；栅极绝缘层，所述栅极绝缘层覆盖所述第一半导体层；第一栅极电极，所述第一栅极电极设置在所述栅极绝缘层上并且与所述第一半导体层重叠；中间绝缘层，所述中间绝缘层包括氮化物层并且覆盖所述第一栅极电极；第二栅极电极、第一源极电极和第一漏极电极，所述第二栅极电极、所述第一源极电极和所述第一漏极电极设置在所述中间绝缘层上；氧化物层，所述氧化物层覆盖所述第一源极电极、所述第一漏极电极和所述第二栅极电极；包括氧化物半导体材料的第二半导体层，所述第二半导体层设置在所述氧化物层上并且与所述第二栅极电极重叠；和第二源极电极和第二漏极电极，所述第二源极电极和所述第二漏极电极设置在所述第二半导体层上。在一个实施方式中，所述第一半导体层、所述第一栅极电极、所述第一源极电极和所述第一漏极电极被包含在第一薄膜晶体管中；并且所述第二半导体层、所述第二栅极电极、所述第二源极电极和所述第二漏极电极被包含在第二薄膜晶体管中。在一个实施方式中，显示装置还包括：驱动器，其中所述第一薄膜晶体管和所述第二薄膜晶体管至少之一设置在像素中，并且其中所述第一薄膜晶体管和所述第二薄膜晶体管至少之一设置在所述驱动器处。在一个实施方式中，所述第二薄膜晶体管是用于选择像素的开关元件，并且所述第一薄膜晶体管是驱动元件，所述驱动元件用于驱动所述第二薄膜晶体管所选择的所述像素的有机发光二极管。在一个实施方式中，所述驱动器包括：数据驱动器，所述数据驱动器输出数据电压；多工器，所述多工器把来自所述数据驱动器本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种显示装置，包括：第一薄膜晶体管，所述第一薄膜晶体管包括多晶半导体层、所述多晶半导体层上方的第一栅极电极、第一源极电极和第一漏极电极；第二薄膜晶体管，所述第二薄膜晶体管包括第二栅极电极、所述第二栅极电极上方的氧化物半导体层、第二源极电极和第二漏极电极；中间绝缘层，所述中间绝缘层包括氮化物层并且设置在所述第一栅极电极上；和氧化物层，所述氧化物层覆盖所述第二栅极电极并且设置在所述中间绝缘层上，其中所述氧化物半导体层设置在所述氧化物层上并且与所述第二栅极电极重叠，其中所述第一源极电极、所述第一漏极电极和所述第二栅极电极设置于所述中间绝缘层与所述氧化物层之间，并且其中所述第二源极电极和所述第二漏极电极设置在所述氧化物半导体层上。

【技术特征摘要】
2014.02.24 KR 10-2014-0021500;2015.02.23 KR 10-2011.一种显示装置，包括：
第一薄膜晶体管，所述第一薄膜晶体管包括多晶半导体层、所述多晶半导
体层上方的第一栅极电极、第一源极电极和第一漏极电极；
第二薄膜晶体管，所述第二薄膜晶体管包括第二栅极电极、所述第二栅极
电极上方的氧化物半导体层、第二源极电极和第二漏极电极；
中间绝缘层，所述中间绝缘层包括氮化物层并且设置在所述第一栅极电极
上；和
氧化物层，所述氧化物层覆盖所述第二栅极电极并且设置在所述中间绝缘
层上，
其中所述氧化物半导体层设置在所述氧化物层上并且与所述第二栅极电
极重叠，
其中所述第一源极电极、所述第一漏极电极和所述第二栅极电极设置于所
述中间绝缘层与所述氧化物层之间，并且
其中所述第二源极电极和所述第二漏极电极设置在所述氧化物半导体层
上。
2.根据权利要求1所述的显示装置，还包括驱动器，
其中所述第一薄膜晶体管和所述第二薄膜晶体管至少之一设置在像素中，
并且
其中所述第一薄膜晶体管和所述第二薄膜晶体管至少之一设置在所述驱
动器处。
3.根据权利要求1所述的显示装置，还包括：栅极绝缘层，所述栅极绝
缘层覆盖所述多晶半导体层，其中所述第一栅极电极设置在所述栅极绝缘层上
并且与所述多晶半导体层重叠。
4.根据权利要求1所述的显示装置，其中所述第二薄膜晶体管是用于选
择像素的开关元件，并且
其中所述第一薄膜晶体管是驱动元件，所述驱动元件用于驱动所述第二薄
膜晶体管所选择的所述像素的有机发光二极管。
5.根据权利要求2所述的显示装置，其中所述驱动器包括：
数据驱动器，所述数据驱动器输出数据电压；
多工器，所述多工器把来自所述数据驱动器的所述数据电压分配给数据
线；和
栅极驱动器，所述栅极驱动器把扫描脉冲输出给栅极线，
其中所述第一薄膜晶体管和所述第二薄膜晶体管至少之一设置在所述多
工器和所述栅极驱动器任何一个处。
6.根据权利要求3所述的显示装置，其中所述第一源极电极通过贯通所
述中间绝缘层和所述栅极绝缘层的源极接触孔而连接至所述多晶半导体层的
一个部分，
其中所述第一漏极电极通过贯通所述中间绝缘层和所述栅极绝缘层的漏
极接触孔而连接至所述多晶半导体层的另一个部分，
其中所述第二源极电极接触所述氧化物半导体层的一个部分，并且
其中所述第二漏极电极接触所述氧化物半导体层的另一个部分。
7.根据权利要求6所述的显示装置，其中所述第一源极电极和所述第一
漏极电极包括与所述第二栅极电极相同的材料。
8.根据权利要求7所述的显示装置，其中所述第二栅极电极通过贯通所
述中间绝缘层的栅极接触孔而连接至栅极线，所述栅极线包括与所述第一栅极
电极相同的材料。
9.根据权利要求7所述的显示装置，其中所述第二源极电极通过数据接
触孔而连接至数据线，所述数据线包括与所述第二栅极电极相同的材料。
10.根据权利要求1所述的显示装置，其中所述中间绝缘层还包括下氧化

\t物层。
11.根据权利要求10所述的显示装置，其中所述氮化物层设置在...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵圣弼，金容一，
申请(专利权)人：乐金显示有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR