【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】闪烁器面板和放射线检测器
本专利技术的一个侧面涉及闪烁器面板和放射线检测器。
技术介绍
在专利文献1中记载有制造放射线检测器的方法。在专利文献1所记载的方法中,首先,在排列于元件基底上的光电转换元件的前级配置掩模,通过使用该掩模的闪烁器材料的蒸镀在光电转换元件上形成闪烁器元件。接着,在全体涂布或蒸镀光反射材料。此时,在将闪烁器元件分离的槽填充光反射材料。然后,利用铝箔等实施遮光处理而得到放射线检测器。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开平9-325185号公报
技术实现思路
专利技术所要解决的问题但是,当如上述的方法那样试图在将闪烁器元件分离的槽填充光反射材料(或光吸收材料)而形成光遮蔽层时,则存在该光反射材料(或光吸收材料)中所含的溶剂等渗透到构成闪烁器元件的多个柱状晶体间的情况。在这种情况下,存在具有潮解性的闪烁器元件的特性发生劣化的问题。特别是在将柱状晶体增厚(例如膜厚500μm左右)的情况下,存在柱状晶体间的间隙变宽的趋势,从而成为问题。本专利技术的一个侧面是有鉴于那样的情况而完成的专利技术,以提供能够防止伴随着光遮蔽层的形成的特性的劣化的闪烁器面板和放射线检测器为课题。解决问题的技术手段为了解决上述课题,本专利技术的一个侧面所涉及的闪烁器面板是用于将放射线转换为闪烁光的闪烁器面板,包括:具有表面和背面的基板;以相互分离的方式在基板的表面上形成且具有上表面和从上表面向基板的表面延伸的侧面的多个闪烁器部;以覆盖闪烁器部的上表面和侧面的方式在闪烁器部的上表面和侧面上形成的溶剂渗透阻止膜;和在溶剂渗透阻止膜上形成且用于遮蔽闪烁光的光遮蔽层,闪烁器部由闪烁 ...
【技术保护点】
一种闪烁器面板,其特征在于,是用于将放射线转换为闪烁光的闪烁器面板,包括:具有表面和背面的基板;以相互分离的方式在所述基板的所述表面上形成且具有上表面和从所述上表面向所述基板的所述表面延伸的侧面的多个闪烁器部;以覆盖所述闪烁器部的所述上表面和所述侧面的方式在所述闪烁器部的所述上表面和所述侧面上形成的溶剂渗透阻止膜;和在所述溶剂渗透阻止膜上形成且用于遮蔽所述闪烁光的光遮蔽层,所述闪烁器部由闪烁器材料的多个柱状晶体构成,所述溶剂渗透阻止膜以不填满彼此相邻的闪烁器部的所述侧面彼此的间隙的方式形成,所述光遮蔽层以填充所述间隙的方式在所述闪烁器部的所述侧面上的所述溶剂渗透阻止膜上形成。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2012.09.14 JP 2012-2031961.一种闪烁器面板,其特征在于,是用于将放射线转换为闪烁光的闪烁器面板,包括:具有表面和背面的基板;以相互分离的方式在所述基板的所述表面上形成且具有上表面和从所述上表面向所述基板的所述表面延伸的侧面的多个闪烁器部;以覆盖所述闪烁器部的所述上表面和所述侧面的方式在所述闪烁器部的所述上表面和所述侧面上一体地形成的溶剂渗透阻止膜;和在所述溶剂渗透阻止膜上形成且用于遮蔽所述闪烁光的光遮蔽层,所述闪烁器部由闪烁器材料的多个柱状晶体构成,所述溶剂渗透阻止膜以不填满彼此相邻的所述闪烁器部的所述侧面彼此的间隙的方式形成,所述光遮蔽层以填充所述间隙的方式在所述闪烁器部的所述侧面上的所述溶剂渗透阻止膜上形成,所述溶剂渗透阻止膜从所述闪烁器部的基端部朝向上端部逐渐变厚。2.如权利要求1所述的闪烁器面板,其特征在于,所述光遮蔽层以覆盖所述闪烁器部的所述侧面的方式在所述闪烁器部的所述侧面上的所述溶剂渗透阻止膜上形成。3.如权利要求1或2所述的闪烁器面板,其特征在于,所述光遮蔽层以覆盖所述闪烁器部的所述上表面的方式在所述闪烁器部的所述上表面上的所述溶剂渗透阻止膜上形成。4.如权利要求1或2所述的闪烁器面板,其特征在于,在所述基板,形成有在从所述基板的所述背面朝向所述表面的方向上从所述表面突出的多个凸部和由所述凸部规定的凹部,所述闪烁器部分别在所述凸部的上表面上形成。5.如权利要求3所述的闪烁器面板,其特征在于,在所述基板,形成有在从所述基板的所述背面朝向所述表面的方向上从所述表面突出的多个凸部和由所述凸部规定的凹部,所述闪烁器部分别在所述凸部的上表面上形成。6.如权利要求4所述的闪烁器面板,其特征在于,所述溶剂渗透阻止膜还以覆盖所述凸部的侧面的方式在所述凸部的所述侧面上形成。7.如权利要求5所述的闪烁器面板,其特征在于,所述溶剂渗透阻止膜还以覆盖所述凸部的侧面的方式在所述凸部的所述侧面上形成。8.如权利要求4所述的闪烁器面板,其特征在于,所述溶剂渗透阻止膜还以覆盖所述凹部的底面的方式在所述凹部的所述底面上形成。9.如权利要求5所述的闪烁器面板,其特征在于,所述溶剂渗透阻止膜还以覆盖所述凹部的底面的方式在所述凹部的所述底面上形成。10.如权利要求6所述的闪烁器面板,其特征在于,所述溶剂渗透阻止膜还以覆盖所述凹部的底面的方式在所述凹部的所述底面上形成。11.如权利要求7所述的闪烁器面板,其特征在于,所述溶剂渗透阻止膜还以覆盖所述凹部的底面的方式在所述凹部的所述底面上形成。12.一种放射线检测器,其特征在...
【专利技术属性】
技术研发人员:外山真太郎,楠山泰,山下雅典,大泽弘武,铃木克彦,
申请(专利权)人:浜松光子学株式会社,
类型:发明
国别省市:日本;JP
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。