【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种晶圆处理工艺,其特征在于,晶圆包括P面和N面,包括:对激光切割后的晶圆进行裂片,以形成分散的多个晶粒;在裂片后的晶圆的P面覆盖粘贴紫外固化胶带,及在所述N面覆盖粘贴蓝膜胶带;对覆盖所述紫外固化胶带的P面进行曝光,以减小所述紫外固化胶带的粘性;去除所述紫外固化胶带,以使所述多个晶粒转移至所述蓝膜胶带上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:汪良恩,张小明,熊永平,
申请(专利权)人:安徽安芯电子科技有限公司,
类型:发明
国别省市:安徽;34
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。