【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种提高传片速度的机械手移动方法，其特征在于，包括以下步骤：第一步，将机械手移动到晶圆承载位置，机械手三个自由度中T、Z两个自由度参与移动；第二步，机械手将晶圆取出，机械手三个自由度中R、Z两个自由度参与移动；第三步，机械手移动到晶圆所需要传送到的位置，机械手三个自由度中T、Z两个自由度参与移动；第四步，机械手将晶圆放到传送位置，机械手三个自由度中R、Z两个自由度参与移动；所述相邻两步之间有动作重叠。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：郑春海，王阳，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁;21
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。