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本发明是一种提高传片速度的机械手移动方法，运用到半导体实际晶圆传送过程当中去，可以缩短机械手一个单周期晶圆传送的时间，使得晶圆在传送过程中消耗的时间缩短，对于多单元堆叠式加工工艺设备的产能提高有明显的积极作用。...
该专利属于沈阳芯源微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯源微电子设备有限公司授权不得商用。

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