【技术实现步骤摘要】
一种防止光阻回流的装置
本技术属于半导体处理系统中对光阻处理的领域，具体的说是一种更换光阻瓶时防止光阻回流的装置。
技术介绍
在半导体处理系统中，光阻是光刻阶段涂胶工艺必不可少的材料，通常来说半导体生产企业购买的光阻都是通过光阻瓶来盛放，在涂胶工艺过程中光阻瓶的更换十分频繁。在更换光阻瓶时，光阻管路中的光阻通常会回流到光阻瓶中，这样一方面光阻管路中就形成一段空管，后续再进行工艺时需要将空管中的气泡排出，耗费人力时间；另一方面，因为光阻是价格昂贵的耗材，回流的光阻无法继续使用就造成较大的浪费。
技术实现思路
为了解决光阻回流的问题，本技术的目的在于提供一种防止光阻回流的装置。该装置可防止光阻回流形成空管，节约了人力成本和时间成本，同时减少了光阻的浪费。本技术的目的是通过以下技术方案来实现的：本技术包括光阻管路、光阻瓶盖、光阻瓶、防空管堵、光阻瓶托板及称重传感器，其中光阻瓶放置在光阻瓶托板上，该光阻瓶托板上安装有称重传感器；所述光阻管路安装在光阻瓶盖上，并伸入光阻瓶中，该光阻管路位于所述光阻瓶内的末端安装有防空管堵，所述防空管堵的上表面高于光阻管路末端出口的端面；其中：所述防空管堵为上端开口的内部中空结构，与所述光阻管路的末端螺纹连接或过盈配合连接；所述防空管堵的内侧壁上开设有凹槽，该凹槽的下边缘沿径向向内延伸，所述光阻管路的末端抵接于凹槽向内延伸的部分；所述光阻瓶内的光阻重量通过称重传感器检测，该称重传感器的设定重量值需保证光阻瓶内剩余光阻的液面高过防空管堵的上表面；所述光阻管路在更换光阻瓶时与光阻瓶盖共同取下；所述光阻管路伸入光阻瓶内的长度可调。本技术的优点与积极...
【技术保护点】
1.一种防止光阻回流的装置，其特征在于：包括光阻管路(1)、光阻瓶盖(2)、光阻瓶(3)、防空管堵(4)、光阻瓶托板(5)及称重传感器(6)，其中光阻瓶(3)放置在光阻瓶托板(5)上，该光阻瓶托板(5)上安装有称重传感器(6)；所述光阻管路(1)安装在光阻瓶盖(2)上，并伸入光阻瓶(3)中，该光阻管路(1)位于所述光阻瓶(3)内的末端安装有防空管堵(4)，所述防空管堵(4)的上表面(8)高于光阻管路(1)末端出口的端面。
【技术特征摘要】
1.一种防止光阻回流的装置，其特征在于：包括光阻管路(1)、光阻瓶盖(2)、光阻瓶(3)、防空管堵(4)、光阻瓶托板(5)及称重传感器(6)，其中光阻瓶(3)放置在光阻瓶托板(5)上，该光阻瓶托板(5)上安装有称重传感器(6)；所述光阻管路(1)安装在光阻瓶盖(2)上，并伸入光阻瓶(3)中，该光阻管路(1)位于所述光阻瓶(3)内的末端安装有防空管堵(4)，所述防空管堵(4)的上表面(8)高于光阻管路(1)末端出口的端面。2.根据权利要求1所述防止光阻回流的装置，其特征在于：所述防空管堵(4)为上端开口的内部中空结构，与所述光阻管路(1)的末端螺纹连接或过盈配合连接。3.根据权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：王玉政，程虎，
申请(专利权)人：沈阳芯源微电子设备有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁,21
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