【技术实现步骤摘要】
一种解决高透光率晶圆在光刻对位中无法识别的方法
本专利技术属于芯片制造领域,具体涉及一种解决高透光率晶圆在光刻对位中无法识别的方法。
技术介绍
光刻技术是半导体芯片制造工艺中的关键性技术之一。曝光是光刻工序中很重要的一个环节。在晶圆开始曝光之前,有4个对准步骤:1、精确光罩对准(FineReticalAlignment);2、机械预对准(MechanicalPre-alignment);3、电视预对准(TVPre-alignment);4、高级全局对准(AdvancedGlobleAlignment);其中,机械预对准是晶圆在送到曝光平台之前的粗略对准,寻找晶圆缺口和计算晶圆中心位置,以便能够准确的送到曝光台。具体的,机械预对准单元通过判断电压差分析晶圆的边缘位置,系统在晶圆进入曝光机之前将该电压差值初始化为0.2V,之后系统自动控制LED的输出光以增减CCD的进光量,CCD将感应光量转换成电压值,对于高透光率晶圆,会出现电压值远超过0.2V而无法识别的问题,导致光刻无法实现,从而为芯片制造带来极大的困扰。目前,透光率高的晶圆,以SiC晶圆为例,第一种技术路线是通过在衬底和外延工艺中调整平坦度、翘曲度、导角等参数,与光刻机匹配,该技术存在的问题是:极大的局限性,主要是因为需要反复验证适用于特定型号光刻机的平坦度、翘曲度、导角,需要投入大量的时间、人力和物力,开发周期较长,不能解决眼前的问题,严重影响芯片的制造日程,开发成本太高;第二种技术路线是通过在曝光机的CCD上加Filter型透镜,该技术存在的问题是依然存在光电杂讯,干扰系统判断的功能,导致SiC晶圆 ...
【技术保护点】
1.一种解决高透光率晶圆在光刻对位中无法识别的方法,其特征在于包括以下步骤:1)于高透光率晶圆背面形成低透光率膜;2)进行光刻过程;3)去除所述低透光率膜。
【技术特征摘要】
1.一种解决高透光率晶圆在光刻对位中无法识别的方法,其特征在于包括以下步骤:1)于高透光率晶圆背面形成低透光率膜;2)进行光刻过程;3)去除所述低透光率膜。2.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:所述低透光率膜通过溅射、蒸镀、物理气相淀积或化学气相淀积工艺形成。3.根据权利要求1所述的方法,其特征在于:所述低透光率膜是碳膜。4.根据权利要求3所述的方法,其特征在于:所述碳膜厚度为0.05μm~0.08μm。5.根据权利要求3所述的方法,其特征在于:步骤3)中,所述碳膜通过...
【专利技术属性】
技术研发人员:陶永洪,高秀秀,高建宁,蔡文必,
申请(专利权)人:厦门市三安集成电路有限公司,
类型:发明
国别省市:福建,35
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