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本实用新型属于半导体处理系统中对光阻处理的领域，具体的说是一种更换光阻瓶时防止光阻回流的装置，包括光阻管路、光阻瓶盖、光阻瓶、防空管堵、光阻瓶托板及称重传感器，光阻瓶放置在光阻瓶托板上，光阻瓶托板上安装有称重传感器；光阻管路安装在光阻瓶盖上...
该专利属于沈阳芯源微电子设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过沈阳芯源微电子设备有限公司授权不得商用。

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